在無線通信技術方面，BAW作為濾波器發揮著重要的作用。對于5G和下一代通信系統，BAW濾波器的需求進一步增長，2023年市場規模已過100億美元。同時，隨著物聯網、智能家居等應用的興起，也對BAW濾波器提出需求。
目前，隨著5G新頻段的提出，以及基站小型化趨勢，體聲波濾波器向著寬帶化，高頻化方向發展。
針對通信頻段的未來發展趨勢，杭州樹芯電子科技有限公司 聯合 杭州美迪凱光電科技股份有限公司 共同開發出9.6％摻鈧、20％摻鈧、30％摻鈧氮化鋁FBAR全流程工藝。該FBAR工藝流程基于自主研發的工藝體系，基于三種不同壓電薄膜的工藝路線于近期正式通線。
濾波器OM圖
產品FIB切片圖
目前已通線9.6％摻鈧、20％摻鈧、30％摻鈧氮化鋁產品可以分別達到10％、15％、20％的Kt2，并且實現2GHz-4GHz內不同頻率范圍，屬于業界領先水準。
??? ? ?9.6％摻鈧氮化鋁諧振器阻抗曲線@2GHz
20％摻鈧氮化鋁諧振器阻抗曲線@4GHz
30％摻鈧氮化鋁諧振器阻抗曲線@3.6GHz
目前已實現的20％機電耦合系數不是工藝的極限，我們將向著更大的機電耦合系數及更高的頻段邁進。
樹芯FBAR諧振器
機電耦合系數技術路線圖
原文始發于微信公眾號（樹芯科技）：杭州樹芯電子科技有限公司 摻鈧、摻鈧氮化鋁全流程工藝正式通線
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