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即燒型陶瓷基板與研磨型陶瓷基板的區別
陶瓷基板,尤其是面積大而厚度薄的基板燒結后易發生翹曲和邊緣彎曲等現象,可能導致金屬化層或加熱元件的層厚和/或形狀不均勻等問題,影響了其直接使用。
即燒型陶瓷基板與研磨型陶瓷基板的區別
圖 即燒型和研磨型陶瓷基板,攝于2023CMPE展浙江正天展臺
一般工藝需要通過修正或研磨來確保基板的平整度以滿足使用要求:
(1)采用修正工藝來保證基板的平整度,也就是進行二次燒結,雖然第二次燒結溫度較低,但二次燒結會致使陶瓷基板(氮化鋁基板)晶粒生長,導致晶粒長大,降低了產品的彎曲強度。其次,二次燒結會致使設備利用率下降,人力、能源成本上升,使陶瓷基板成本變得更高,不利于產品的規模化生產和市場推廣。
(2)大多數工廠采用研磨工藝來保證基板的平整度,這需要使燒結品預留出一定的研磨余量,因此增加了產品的生產和材料成本。當陶瓷基板尺寸較大或基板厚度較薄時,很容易在研磨過程中產生開裂、暗裂和缺損等質量缺陷。
因此,通過先進設備、先進的燒結工藝達到表面光滑平整,無需后期研磨的即燒型陶瓷基板成為了各廠家研究的重點。
(1)即燒型和研磨型有什么區別
即燒型:就是在每一道工序控制,通過先進設備等燒結工藝達到表面光滑,表面非常平整,無需研磨,性能優于研磨型。
研磨型: 燒結工藝比較簡單,燒結后表面不平整,需要研磨后才能達到客戶使用要求。
(2)即燒工藝和研磨工藝對基板質量的影響
①因研磨后破壞了晶體原本結構,強度較即燒型的強度低
即燒型陶瓷基板與研磨型陶瓷基板的區別
即燒型和研磨型氮化鋁基板,來源:浙江正天
②研磨基板對散熱切割墊片激光切割后使用過程中容易破碎,還有研磨后會有一些看不到的暗裂紋,會在產品使用過程中有破碎的風險,而即燒型基板無需后期研磨,避免了研磨過程中暗裂紋的產生,不容易破碎。

為加強陶瓷基板及其封裝行業上下游交流聯動,艾邦建有陶瓷基板產業群,歡迎產業鏈上下游企業加入。

即燒型陶瓷基板與研磨型陶瓷基板的區別

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推薦活動1:【邀請函】2024年半導體陶瓷產業論壇(2024年4月12日·泉州)

2024年半導體陶瓷產業論壇

The  Semiconductor Ceramics Industry Forum

2024年4月12日
泉州·泉商希爾頓酒店

福建省泉州市晉江市濱江路999號

主辦單位:深圳市艾邦智造資訊有限公司
協辦單位:福建華清電子材料科技有限公司
媒體支持:艾邦半導體網、艾邦陶瓷展、陶瓷科技視野

一、暫定議題




序號

暫定議題

擬邀請企業

1

半導體設備及陶瓷零部件的現狀及發展趨勢

擬邀請陶瓷零部件企業/高校研究所

2

半導體用高超精密陶瓷部件研制與應用

擬邀請陶瓷零部件企業/高校研究所

3

半導體引線鍵合用陶瓷劈刀制備技術

擬邀請劈刀企業/高校研究所

4

大功率電力電子器件用陶瓷封裝基板的研究進展

擬邀請陶瓷基板企業/高校研究所

5

第三代功率半導體封裝用AMB陶瓷覆銅基板

擬邀請AMB企業/高校研究所

6

多孔陶瓷的研究進展及在半導體領域的應用

擬邀請多孔陶瓷企業/高校研究所

7

LTCC技術在半導體晶圓探針卡中的應用

擬邀請探針卡企業/高校研究所

8

CVD用絕緣高導熱氮化鋁陶瓷加熱器的研發

擬邀請陶瓷加熱盤企業/高校研究所

9

耐等離子腐蝕的氧化釔陶瓷的開發與應用

擬邀請氧化釔陶瓷企業/高校研究所

10

高強度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的開發

擬邀請氮化硅陶瓷企業/高校研究所

11

碳化硅陶瓷結構件在集成電路制造關鍵裝備中的應用

擬邀請碳化硅陶瓷企業/高校研究所

12

半導體裝備用陶瓷靜電卡盤關鍵技術

擬邀請靜電卡盤企業/高校研究所

13

高純氧化鋁陶瓷制備工藝及其在半導體領域的應用

擬邀請氧化鋁陶瓷企業/高校研究所

14

真空釬焊設備在半導體領域的應用

擬邀請真空釬焊企業/高校研究所

15

高精度復雜形狀碳化硅陶瓷制備工藝研究

擬邀請碳化硅陶瓷企業/高校研究所

16

半導體設備用陶瓷的成型工藝技術

擬邀請成型設備企業/高校研究所

17

高強度氮化硅粉體制備工藝技術及產業化

擬邀請氮化硅粉體企業/高校研究所

18

高性能氮化鋁粉體連續式生產關鍵工藝技術

擬邀請氮化鋁粉體企業/高校研究所

19

覆銅陶瓷基板的失效機理分析及可靠性設計

擬邀請陶瓷基板企業/高校研究所

20

特種陶瓷高溫燒結工藝技術

擬邀請熱工裝備企業/高校研究所

21

半導體設備用陶瓷零部件表面處理技術

擬邀請表面處理/陶瓷零部件企業

演講及贊助請聯系李小姐:18124643204(同微信)

二、報名方式



報名方式1:加微信
李小姐:18124643204(同微信)

即燒型陶瓷基板與研磨型陶瓷基板的區別

郵箱:lirongrong@aibang.com
注意:每位參會者均需要提供信息;

報名方式2:長按二維碼掃碼在線登記報名

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或者復制網址到瀏覽器后,微信注冊報名:
https://www.aibang360.com/m/100184
點擊閱讀原文,即可在線報名!

推薦活動2:【邀請函】 2024年第六屆精密陶瓷暨功率半導體產業鏈展覽會(深圳·8月28日-30日)

即燒型陶瓷基板與研磨型陶瓷基板的區別


原文始發于微信公眾號(艾邦陶瓷展):即燒型陶瓷基板與研磨型陶瓷基板的區別

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作者 gan, lanjie

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