新春伊始,中電科風華信息裝備股份有限公司自主研發生產的全自動激光皮秒打孔設備迎來多家客戶訂單和驗收。
全自動皮秒激光打孔設備是HTCC/LTCC制程中的關鍵設備之一,用于在生瓷片上打出直徑30μm-200μm微孔,打孔數量高達5000-100000孔/張,而依據產品材質厚度不同,激光加工效率可達300-4000孔/s。本設備打孔質量高,熱影響小,微孔圓度可達95%,適用于打微孔,開腔切割,激光打碼,金屬線蝕刻等加工工藝。

公司研發團隊經過兩年不懈努力,成功攻克了激光微加工軟件系統、激光打微孔光學系統、皮秒/飛秒激光打微孔工藝、全自動清潔產品和不間斷上下料系統等關鍵技術,在該設備上同時實現打微孔、切割開腔、打碼標記、金屬線蝕刻等工藝過程,實現一機多用,提高生產加工效率。設備在客戶現場的穩定運行也獲得了良好的口碑。同時,公司研發的系列雙頭激光打孔設備、飛秒激光打孔設備也以優異的性能獲得客戶認可,為公司激光微電子設備布局再添一枚砝碼。

在中電科電子裝備集團產業發展規劃引領下,風華公司將立足國家所需、行業所趨,繼續加大科技創新力度,不斷實現技術突破,助力微電子行業更快速發展。
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