目前，評估陶瓷材料性能主要包括外觀、內部缺陷檢測、力學性能、熱學性能、電學性能、封裝性能(工作性能)和可靠性測試等。
其中陶瓷基板外觀視覺檢測技術趨于成熟，但高端內部缺陷檢測設備技術壁壘較高，我國尤其缺乏如工業CT、X-ray、透射電子顯微鏡、超聲波掃描顯微鏡SAT等高精度檢測材料內部結構的影像設備。
Hiwave水浸超聲掃描顯微鏡
在工業中特指《水浸超聲掃描顯微鏡》也稱為超聲C—SAM或超聲SAT掃描成像技術。超聲掃描成像原理是基于超聲波的透射反射折射性質，超聲定位原理，對材料進行掃描，超聲波穿過工件遇到內部結構不同的材料的交合面會形成不同強度的回波，經過計算可以得到材料內部缺陷的高精度圖像。超聲波對于材料內部缺陷超聲波具有天生敏感性，在對于缺陷定性定量方面具有優勢。
Hiwave超聲掃描顯微鏡檢測現場
陶瓷基板正反面空洞率超聲檢測圖像
1、Hiwave超聲掃描顯微鏡檢測DBC陶瓷基板內部圖像
2、Hiwave超聲掃描顯微鏡檢測IGBT內陶瓷基板內部圖像
3、超聲檢測陶瓷覆銅板空洞
4、超聲檢測陶瓷材料與金屬結合面缺陷圖像
Hiwave利用超聲波掃描顯微鏡檢測各種陶瓷材料的內部超聲圖像中；我們可以很直觀精確的發現缺陷的所在具體位置。超聲成像優點；超聲檢測對人體無害，檢測精準，缺陷分辨力高、成像直觀。缺陷敏感度高、檢測材料范圍廣、支持分層掃描、斷層掃描，可對缺陷進行定性定量分析，如缺陷面積、占比等。適合檢測陶瓷材料種各種類型的缺陷如空洞、裂紋、氣泡、夾雜、分層、焊接、粘接、電鍍空穴等缺陷。
Hiwave超聲掃描顯微鏡檢測界面
Hiwave超聲波掃描顯微鏡支持多種掃描成像模式；A、B、C、T、批量掃描、斷層掃描。與CT類似，支持MES系統接入、并對缺陷尺寸面積進行自動統計和計算、可對檢測結果自動進行編輯并輸出報告文檔。為陶瓷復合材料內部質量檢測方面提供了可靠的檢測方案及設備。
原文始發于微信公眾號（和伍智造營）：超聲掃描顯微鏡——陶瓷材料內部缺陷檢測
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