AMB工藝我們之前為大家介紹了很多,其成熟的基材為氧化鋁基片、氮化鋁基片和氮化硅基片,而在近期展會上,小編在長飛光纖的展臺上看到了一款AMB金剛石覆銅板,基材采用金剛石,雙面覆銅,形成一個三明治結構。
圖??AMB金剛石覆銅板,攝于長飛光纖展臺
在目前所知的物質中,金剛石是現存自然界中導熱率最高的材料,可達1000~2000W/(m·K),此外,它還具有高電阻率和高擊穿場強、低介電常數、低熱膨脹等特點,因此在電子封裝領域具有廣泛的應用前景。
據資料介紹,這款AMB金剛石覆銅板產品金剛石通過與具有良好機械性能的銅復合,實現了高導熱,綜合熱導率達500~1800W/(m·K)、熱膨脹系數可調(3~6×10-6/K),高強度,絕緣性好,體積電阻率(20℃)≥5×1013Ω·cm,可鍍性好,表面易鍍鎳、金,其熱膨脹系數與導熱率具有可設計性等特點。可應用于光通訊、芯片散熱、新能源汽車、5G基站、大功率電子器件、航天航空等領域。
圖??金剛石覆銅片SEM照片,來源:長飛光纖
第三代半導體(GaN和SiC等)的崛起和發展推動了功率器件尤其是半導體器件不斷走向大功率、小型化、集成化和多功能方面前進,隨著集成度的提高和體積的縮小,其單位體積內的功耗不斷增大,導致熱量增加和溫度急劇上升。散熱已成為阻礙大功率電子器件發展的瓶頸問題。在散熱基板方面,大功率元件和系統迫切需求與之配套的熱管理材料有導熱性能、與半導體芯片材料(Si或GaAs)相匹配的熱膨脹系數、足夠的剛度和強度,以及更低的成本。
早在六十年代,就已經開始了用金剛石作散熱材料的嘗試。金剛石是一種具有極高導熱性能和硬度的材料,常被用于高功率密度、高頻率電子器件的散熱,是極具發展潛力的熱管理材料。金剛石用作熱沉材料主要有兩種形式,即金剛石薄膜和將金剛石與銅、鋁等金屬復合。

圖 金剛石銅復合材料,攝于長飛光纖展臺
金剛石與銅有一些相一致的性能,例如都具有高的熱導率(銅的熱導率397W/(m·K)),相近的晶格常數,銅的晶格常數為0.361nm,金剛石為0.357nm,但也存在一些問題,例如熱膨脹系數相差很大,結合力不好(銅與碳相互不浸潤,銅不熔于金剛石)等問題,在制作時候借助中間層(Ti-Pt-Au,Ti,Mo及Ta等)解決結合力問題。
除了長飛光纖AMB工藝制作外,斯利通的金剛石封裝基板的制作工藝是:先將金剛石表面清洗干凈后烘干,再在其表面先用磁控濺射鍍膜一層金屬鈦,再鍍膜一層金屬銅,保證金剛石基板與金屬的結合力,然后經過線路曝光、顯影、電鍍、蝕刻,形成電路圖形,其中還要克服了加工過程中金剛石高硬度的負面影響,保障金剛石封裝基板的性能。
當然,金剛石也具有價格高和加工難度大的缺點。不過,隨著未來技術的不斷突破,金剛石的潛力將有望逐漸得到釋放,并在半導體封裝材料中占據一席之地。
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序 號 | 暫定議題 | 擬邀請企業 |
1 | 半導體陶瓷封裝外殼仿真設計 | 擬邀請仿真設計專家 |
2 | 多層陶瓷集成電路封裝外殼技術發展趨勢 | 擬邀請陶瓷封裝企業 |
3 | 光通信技術的發展及陶瓷封裝外殼的應用趨勢 | 擬邀請光通信企業 |
4 | 多層陶瓷封裝外殼的生產工藝和可靠性設計 | 擬邀請陶瓷封裝企業 |
5 | 多層陶瓷高溫共燒關鍵技術介紹 | 擬邀請HTCC企業 |
6 | 電子封裝用陶瓷材料研究現狀 | 擬邀請材料企業 |
7 | 多層共燒金屬化氮化鋁陶瓷工藝研究 | 擬邀請氮化鋁企業 |
8 | HTCC陶瓷封裝用電子漿料的開發 | 擬邀請導電漿料企業 |
9 | 多層共燒陶瓷燒結關鍵技術探討 | 擬邀請燒結設備企業 |
10 | 陶瓷封裝外殼的焊料開發 | 擬邀請焊材企業 |
11 | 電子封裝異質材料高可靠連接研究進展 | 擬邀請陶瓷封裝企業 |
12 | 厚膜印刷技術在陶瓷封裝外殼的應用 | 擬邀請印刷相關企業 |
13 | 高精密疊層機應用于多層陶瓷基板 | 擬邀請疊層設備 |
14 | 陶瓷封裝管殼表面處理工藝技術 | 擬邀請表面處理企業 |
15 | 激光技術在陶瓷封裝管殼領域的應用 | 擬邀請激光企業 |
16 | 陶瓷封裝釬焊工藝介紹 | 擬邀請釬焊設備企業 |
17 | 半導體芯片管殼封裝及設備介紹 | 擬邀請封焊設備企業 |
18 | 全自動高速氦檢漏系統在陶瓷封裝領域的應用 | 擬邀請氦氣檢測設備企業 |
19 | 芯片封裝殼體自動化測量方案 | 擬邀請檢測設備企業 |
20 | 等離子清洗在高密度陶瓷封裝外殼上的應用 | 擬邀請等離子清洗企業 |
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