聚焦環是芯片制造領域的關鍵耗材，傳統的聚焦環由硅或石英制成，隨著集成電路微型化推進，集成電路制造對于刻蝕工藝的需求量、重要性不斷增加，刻蝕用等離子體功率、能量持續提高，尤其是電容耦合（CCP）等離子體刻蝕設備中所需等離子體能量更高，因此碳化硅材料制備的聚焦環使用率越來越高。
圖 聚焦環材料的發展，來源：TCK
圖? 碳化硅聚焦環制備工藝，來源TCK
推薦活動：【邀請函】2024年半導體陶瓷產業論壇（2024年4月12日·泉州）
The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum
福建省泉州市晉江市濱江路999號
序號 | 暫定議題 | 擬邀請企業 |
1 | 半導體設備及陶瓷零部件的現狀及發展趨勢 | 擬邀請陶瓷零部件企業/高校研究所 |
2 | 半導體用高超精密陶瓷部件研制與應用 | 擬邀請陶瓷零部件企業/高校研究所 |
3 | 半導體引線鍵合用陶瓷劈刀制備技術 | 擬邀請劈刀企業/高校研究所 |
4 | 大功率電力電子器件用陶瓷封裝基板的研究進展 | 擬邀請陶瓷基板企業/高校研究所 |
5 | 第三代功率半導體封裝用AMB陶瓷覆銅基板 | 擬邀請AMB企業/高校研究所 |
6 | 多孔陶瓷的研究進展及在半導體領域的應用 | 擬邀請多孔陶瓷企業/高校研究所 |
7 | LTCC技術在半導體晶圓探針卡中的應用 | 擬邀請探針卡企業/高校研究所 |
8 | CVD用絕緣高導熱氮化鋁陶瓷加熱器的研發 | 擬邀請陶瓷加熱盤企業/高校研究所 |
9 | 耐等離子腐蝕的氧化釔陶瓷的開發與應用 | 擬邀請氧化釔陶瓷企業/高校研究所 |
10 | 高強度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的開發 | 擬邀請氮化硅陶瓷企業/高校研究所 |
11 | 碳化硅陶瓷結構件在集成電路制造關鍵裝備中的應用 | 擬邀請碳化硅陶瓷企業/高校研究所 |
12 | 半導體裝備用陶瓷靜電卡盤關鍵技術 | 擬邀請靜電卡盤企業/高校研究所 |
13 | 高純氧化鋁陶瓷制備工藝及其在半導體領域的應用 | 擬邀請氧化鋁陶瓷企業/高校研究所 |
14 | 真空釬焊設備在半導體領域的應用 | 擬邀請真空釬焊企業/高校研究所 |
15 | 高精度復雜形狀碳化硅陶瓷制備工藝研究 | 擬邀請碳化硅陶瓷企業/高校研究所 |
16 | 半導體設備用陶瓷的成型工藝技術 | 擬邀請成型設備企業/高校研究所 |
17 | 高強度氮化硅粉體制備工藝技術及產業化 | 擬邀請氮化硅粉體企業/高校研究所 |
18 | 高性能氮化鋁粉體連續式生產關鍵工藝技術 | 擬邀請氮化鋁粉體企業/高校研究所 |
19 | 覆銅陶瓷基板的失效機理分析及可靠性設計 | 擬邀請陶瓷基板企業/高校研究所 |
20 | 特種陶瓷高溫燒結工藝技術 | 擬邀請熱工裝備企業/高校研究所 |
21 | 半導體設備用陶瓷零部件表面處理技術 | 擬邀請表面處理/陶瓷零部件企業 |
原文始發于微信公眾號（艾邦陶瓷展）：16家碳化硅聚焦環相關廠商介紹
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