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陶瓷機械手臂
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半導體產品要求非常潔凈,要做到無污染。在生產半導體產品時,對環境要求很高,一般都在嚴格要求的無塵車間,生產人員要穿防靜電服。
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半導體產品是非常精細的產品,有些產品厚度超薄,只有零點幾毫米,甚至更薄,所以要求輕拿輕放。在加工和各項處理中,對接觸半導體零件的各種夾持工具,裝夾工具和器皿都有很高的要求,主要是不污染半導體零件,同時這些工裝夾具也要能經受各種酸,堿和熱處理的考驗,做到經久耐用。
機械手臂材料:一般選用99氧化鋁陶瓷居多。
陶瓷機械手臂名稱來由:陶瓷機械手臂用來抓取和裝夾半導體零件,作用像手。設計成扁平的手臂和手掌,因些叫機械手臂。
陶瓷機械手臂的結構和作用:?機械手臂里面有氣孔和通氣槽,在抽氣時候,能形成真空,從而吸附半導體零件,做到輕接觸,不會夾傷,不會碰傷半導體零件薄片。
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三、與金屬手臂相比,用陶瓷手臂裝夾半導體零件的優點:
1、陶瓷機械手臂比金屬手臂更耐酸腐蝕,更耐堿腐蝕。在半導體各項處理時,使用壽命更長;
2、陶瓷機械手臂不容易跟其它物質發生反應,不會在接觸物品上留下具有污染的細小顆粒和帶電的電荷,不會產生金屬離子,不會污染半導體零件;
3、在半導體進行熱處理時,陶瓷機械手臂受熱變形也少,減少半導體零件在熱處理時的變形;
陶瓷材料的應用,不僅可以做成抓取裝夾半導體零件的機械手臂。根據陶瓷絕緣,耐高溫,不怕酸,不怕堿,性能穩定的特點,不污染接觸產品的特性,可以做成其它在嚴苛的環境中使用的零件,可以做成金屬和塑料無法勝任的地方。
原文始發于微信公眾號(深圳海德精密陶瓷):半導體機械手臂一般用什么材料?陶瓷手臂PK金屬手臂的優劣勢
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