據(jù)韓媒報道,半導(dǎo)體零部件公司LK ENGINEERING的銷售額從 2021 年的333 億韓元增加到去年的 717 億韓元,這得益于主要產(chǎn)品靜電吸盤(ESC)出口的大幅增長。靜電吸盤是半導(dǎo)體制造設(shè)備中利用靜電來固定晶圓的部件。LK ENGINEERING靜電吸盤去年出口額達486億韓元,占銷售額的67.8%,中國大陸占比最高,為72%,日本占比12%、美國占比11%、德國占比3%、新加坡和臺灣占比2%。LK ENGINEERING?2024年第一季度銷售額突破230億韓元,今年將開始向臺灣半導(dǎo)體公司銷售產(chǎn)品,因此銷售額有望將超過1000億韓元,其目標是到2030年實現(xiàn)年銷售額2000億韓元。

ESC的核心技術(shù)是陶瓷,也就是與晶圓接觸的部分。燒結(jié)成高純度盤形陶瓷并按照半導(dǎo)體制造商所需的規(guī)格進行定制設(shè)計的技術(shù)并不容易,因此進入門檻很高。由于固定晶圓的部件的性質(zhì),在制造過程中提高產(chǎn)量并不容易,而且很容易磨損。高純度ESC、帶溫度調(diào)節(jié)功能的加熱ESC等高附加值產(chǎn)品的售價為1~3億韓元(約52~156萬人民幣)。進行修復(fù)只需要3000~5000萬韓元左右(15.5~26.5萬人民幣)。LK ENGINEERING的業(yè)務(wù)不僅包括維修和更換自有產(chǎn)品的陶瓷部件,還包括全球制造商 ESC 的陶瓷部件,是韓國第一家開展 ESC 維修業(yè)務(wù)的公司,并成為了SK海力士和三星的供應(yīng)商。LK ENGINEERING高附加值產(chǎn)品約占銷售額的40%,將進一步將其開發(fā)成高純度ESC,使其導(dǎo)熱性等與半導(dǎo)體公司所需的材料相匹配。若韓國烏山正在建設(shè)的工廠竣工,從明年開始每月陶瓷產(chǎn)量將從800件增加到2400件。