2024年11月19日,日本電氣硝子株式會社(Nippon Electric Glass Co.,Ltd.,NEG)宣布與Via Mechanics,Ltd. 簽署了聯合開發協議,旨在加速開發用于半導體封裝的玻璃或玻璃陶瓷制成的基板。
目前的半導體封裝中,以玻璃環氧基板等有機材料為基材的封裝基板仍占主流,但在未來需求量更大的生成型AI等高端半導體封裝中,核心層基板和微加工孔(通孔)需要具有電氣特性,以實現進一步小型化、更高密度和高速傳輸。由于基于有機材料的基板難以滿足這些需求,因此玻璃作為替代材料引起了人們的關注。
另一方面,普通玻璃基板在使用CO?激光打孔時容易產生裂紋,增加了基板損壞的可能性,因此使用激光改性和蝕刻形成通孔的難度較高且加工時間較長。為了能夠使用 CO2 激光器形成通孔,日本電氣硝子與Via Mechanics簽訂了聯合開發協議,將日本電氣硝子多年來積累的玻璃和玻璃陶瓷專業知識與 Via Mechanics 的激光器相結合同時引進Via Mechanics的激光加工設備,旨在快速開發半導體封裝基板。
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