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2025年04月08日,蘇州珂瑪材料科技股份有限公司(珂瑪科技,301611)發布2024 年年度報告,報告顯示,珂瑪科技在2024年度及 2023年度先進陶瓷材料零部件的營業收入分別為 76,819.56萬元和 39,488.53 萬元,2024年比去年同期增長94.54%。其中,半導體領域是珂瑪科技產品的主要應用方向,在 2024年度及 2023年度來自半導體設備領域的先進陶瓷材料零部件收入分別為 69,188.96萬元和 22,618.56 萬元,占先進陶瓷材料零部件收入的比例分別為90.07%和57.28%,2024年比去年同期增長205.89%。

半導體設備是半導體產業的基礎支撐,其中前道工藝主要完成晶圓制造,該等工藝設備類型繁雜,技術難度較高。半導體設備由腔室內和腔室外組成,陶瓷大部分用在更接近晶圓的腔室內,其技術要求嚴苛,須在先進陶瓷材料性能、硬脆難加工材料精密加工及新品表面處理等方面滿足客戶要求。珂瑪科技先進陶瓷主要應用于晶圓制造前道工藝設備,目前已進入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴散等多種設備,是國內半導體設備用先進陶瓷材料零部件的頭部企業。
半導體設備用先進陶瓷包括圓環圓筒、氣流導向、承重固定和手爪墊片等結構件產品,以及陶瓷加熱器、靜電卡盤以及超高純碳化硅套件等高難度“功能-結構”一體模塊化產品。珂瑪科技在半導體設備用高純度氧化鋁、高導熱氮化鋁零部件等“卡脖子”產品方面實現了國產替代,多項關鍵技術指標達到國內領先、國際主流水平。同時,公司亦是目前國內少數有多種陶瓷材料和產品通過國際頭部半導體設備廠商A公司認證且被其批量采購的先進結構陶瓷企業之一。

2024 年度,得益于中國半導體市場整體復蘇,中國半導體產業規模的快速增長以及設備關鍵零部件國產化的不斷推進,下游半導體領域客戶采購需求快速增長,帶動了珂瑪科技先進陶瓷材料結構件產品在半導體領域銷售收入規模的增長。半導體領域結構件產品,2024 年銷售收入比去年同期增長 106.52%。

2024 年,半導體設備領域收入的增加也得益于公司“功能-結構”一體模塊化產品的大規模量產。基于多年技術積累、研發及產業化布局,珂瑪科技半導體設備核心部件陶瓷加熱器實現國產替代,該“結構-功能”一體模塊化產品解決了半導體晶圓廠商 CVD 設備關鍵零部件的“卡脖子”問題。珂瑪科技為半導體晶圓廠商和國內半導體設備廠商研發生產并銷售多款陶瓷加熱器產品,裝配于 SACVD、PECVD、LPCVD 和激光退火等設備,部分陶瓷加熱器產品已量產并大量應用于晶圓的薄膜沉積生產工藝流程。同時,靜電卡盤與超高純碳化硅套件也逐步量產,并在報告期內形成了一定的收入。半導體領域“功能-結構”一體模塊化產品,2024年銷售收入比去年同期增長809.81%。2024 年,受國內消費電子行業溫和復蘇和光伏產能相對過剩影響,珂瑪科技來自顯示面板、LED和光伏等其他泛半導體的結構件產品的收入有所下降,相應的產能被轉移到用于滿足半導體領域的需求。

珂瑪科技先進陶瓷材料零部件應用的其他領域包括能源環保、汽車生產、紡織和生物醫藥等領域。

此外,珂瑪科技募投項目建設穩步推進。位于江蘇蘇州的先進材料生產基地項目、研發中心建設項目已經完成基建,建筑面積達到 8.2 萬平方米,正處于設備購置和安裝調試過程中,未來將主要用于生產陶瓷加熱器和靜電卡盤等“結構-功能”一體化模塊產品。位于四川眉山的泛半導體核心零部件加工制造項目就近服務成渝地區大客戶,于 2024 年基建完成。此外,安徽珂瑪碳化硅材料8,300平米廠區已于2024年投產。

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