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生瓷片上的打孔制作是LTCC制作的關鍵工藝技術之一。通孔孔徑、位置精度均直接影響基板的成品率和最終電性能。對于常規的LTCC工藝,孔徑在0.1~0.3 mm 之間,根據布線密度和基板的電性能選擇不同的孔徑。一般而言,在孔徑≤0.1 mm時,打孔難度變大,成品率也會相應降低;在孔徑≥0.3 mm時,孔金屬化填充難度加大,質量難以保證,降低成品率及可靠性。


LTCC基板打孔工藝簡介

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目前生瓷片打孔方式主要有兩大類:一是使用數控沖床及定制模具進行一次性的沖孔;二是采用逐一打孔方式。前者精度和效率高,適用于大批量生產使用。后者精度及效率較低,但其優點在于加工方式可靈活,成本相當于較低,適用于研究與小量生產。

一、數控沖床帶模具沖孔

數控沖床帶模具沖孔是一種高效的生瓷帶打孔方法,對已定性大批量生產的產品來說,陣列式沖孔更有利于批量生產。用陣列式沖床模具可一次沖出幾十個孔。該方法的特點是速度快,精度較高,適用于單一品種的大批量生產。

二、逐一打孔

逐一打孔的方法主要有兩種:機械沖孔、激光打孔

機械打孔是目前常用的打孔設備。目前大多數廠家使用的是國外打孔設備。打孔機均為無框工藝、速度快、精度高,自動上下料,適合快速大批量生產。生瓷沖孔機是LTCC制備中的關鍵設備之一,而X、Y運動平臺是核心部件,可實現生瓷片高速、高精度移動,提高生產效率及可靠性。目前生產效率可達1800孔/min以上,打孔的位置精度可達±5μm。


LTCC基板打孔工藝簡介


該打孔方式由于打孔精度及效率高,是業界使用最為廣泛的打孔方式。但其孔徑受制于沖頭,在進行非標尺寸及異形方面受限制。目前國內用戶使用較多的設備為三菱電工、中電2所、美國PTC公司、日本UHT的打孔機。此類設備普遍采用計算機控制,操作靈活,定位精度高,效率高。


激光打孔在生瓷帶進行激光打孔的原理是:利用激光器發出具有聚集的激光束,沿著通孔邊緣將連續分布的光脈沖發射到生瓷帶上,激光能量將有機物及陶瓷材料進行汽化,從而形成一個通孔。目前打孔激光器使用較多的類型為UV激光器。


LTCC基板打孔工藝簡介


UV激光器的優勢在于,與PCB激光微孔加工中市場使用最多的CO2激光器相比,UV激光熱效應比CO2小很多,生瓷內的有機粘合劑和陶瓷容易被汽化,故不會出現燒焦的現象。LTCC瓷帶正面的開孔孔徑與其厚度無直接關聯。由于激光束的焦點在表面,形成的微孔呈圓錐形,導致背面的孔尺寸隨厚度增加而減少。在所需打孔的厚度增加時,需要將UV激光束進行相應的調節。

當前,我國的激光打孔技術有了一定的經驗積累和技術進步。通過激光打孔工藝的陶瓷電路板更具有陶瓷與金屬結合力高、不存在脫落、起泡等特點,達到生長在一起的效果。表面平整度高,粗糙率在0.1μm~0.3μm,激光打孔孔徑在0.15mm-0.5mm,部分精度能達到0.06mm。

激光打孔因其打孔形式可靈活多變,且打孔的精度高,可以制作各種孔徑及異形孔,是生瓷片打孔最具個性化的打孔方式,是LTCC打孔工藝運用的趨勢。

6月5日,東莞市盛雄激光高級項目總監王耀波將作為演講嘉賓出席“第二屆高端電子陶瓷產業高峰論壇”,演講議題為“如何提升LTCC激光開孔效果對后段工藝良率影響”。同時還有首鐳激光、蘇州銳濤光電科技等激光企業參會。


激光企業介紹

1、東莞市盛雄激光先進裝備股份有限公司

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2008年4月8日創建于全球著名的先進制造業科技名城——廣東省東莞市。盛雄是集研發、制造、銷售、服務于一體的激光微納加工設備高科技公司,在激光微納加工的細分領域名列前茅,曾榮獲“國家高新技術企業”、“廣東省高成長中小企業”、“廣東省微細激光制造裝備工程技術研究中心”等稱號。主要產品有激光打孔、切割、蝕刻、劃片等,應用于半導體、顯示面板、線路板、脆性蓋板等行業。


2、蘇州銳濤光電科技有限公司

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銳濤光電科技坐落于全國“百縣之首”的昆山,創立于2014年,是一家高新技術企業。多年來深耕3C電子、家電、汽車、軍工和民品等多項激光應用領域,專注于紅外、紫外、CO2等各類激光精微切割、打標和焊接領域,為客戶提供全面的激光加工系統及其自動化定制式解決方案;高端紫外激光器和各種精密運動平臺的研發制造和維修。


3、蘇州首鐳激光科技有限公司

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首鐳激光是一家集開發、制造及銷售高端光電、激光工業設備為一體的高新技術企業。公司主要產品有:FPC紫外激光切割機、PCBA激光切割機、攝像頭模組激光切割機、指紋芯片激光切割機、藍寶石激光切割機、脆性材料皮秒切割機、全自動覆蓋膜紫外激光切割機、PET膜片激光切割機,精密錫球激光焊接機、高功率連續激光焊接機、PCB激光打碼機,激光打孔系統,ITO膜刻蝕系統,UV激光固化,視覺引導定位切割、焊接、鐳雕等設備。

活動推薦:

第二屆高端電子陶瓷產業高峰論壇

2021年6月5日(周六)

深圳 觀瀾 格蘭云天酒店


時間

議題

演講單位

09:00-09:25

開場介紹

艾邦智造 江耀貴 創始人

09:25-09:50

淺談MLCC未來發展趨勢

宇陽科技 陳永學 戰略總監

9:50-10:15

MLCC高端關鍵生產裝備國產化解決方案

宏華電子 梁國衡 副總工程師

10:15-10:40

茶歇

10:40-11:05

應用于電子陶瓷領域的畢克產品介紹

畢克化學 王玉立 博士

11:05-11:30

淺談我國無源元器件的機遇與挑戰

風華高科 黃昆 LTCC事業部經理/技術總監

11:30-11:55

微波毫米波無源集成關鍵材料與技術

南方科技大學工學院黨委書記/副院長 汪宏 教授

11:55-14:00

午餐

14:00-14:25

封接玻璃作用機理及在電子元器件應用研究進展

華東理工大學 曾惠丹 教授/博導

14:25-14:50

LTCC高頻低介電常數陶瓷生料帶

上海晶材新材料 汪九山 總經理

14:50-15:15

稀土在先進電子陶瓷電容材料中的研究進展

晶世新材料 程佳吉 教授

15:15-15:40

高性能電容器材料的應用研究

上海硅酸鹽研究所 陳學鋒 研究員/博士

15:40-16:05

茶歇

16:05-16:30

MLCC產品失效分析和檢測手段

深圳納科科技 段建林 總經理

16:30-16:55

物理氣相法制備MLCC內外電極金屬粉體

江蘇博遷新材料 江益龍 總經理

16:55-17:20

如何提升LTCC激光開孔效果對后段工藝良率影響

東莞盛雄激光 王耀波  高級項目總監

17:20-17:45

MLCC在5G基站的應用及可靠性評估方法

中興 楊航 材料技術質量高級工程師

17:45-20:00

晚宴


贊助及支持企業單位:

 

中興

宇陽科技

畢克化學

風華高科

宏華電子

上海晶材新材料

晶世新材料

深圳納科科技

江蘇博遷新材料

東莞盛雄激光

上海硅酸鹽研究所

華東理工大學

南方科技大學

廣東國元行化工科技有限公司

合肥費舍羅熱工裝備有限公司

上海住榮科技有限公司

無錫晨穎機械科技有限公司

韓國賽諾-上海矽諾國際貿易有限公司

東莞市騰科視覺自動化設備有限公司

東莞市隆吉儀器有限公司

成都天大儀器股份有限公司

東莞市磨匠設備有限公司

廣東首鐳激光科技有限公司

喜而諾盛自動化科技(蘇州)有限公司

舟山市金秋機械有限公司

江蘇一六儀器有限公司

上海琥崧智能科技股份有限公司

International flavors and fragrancesinc

蘇州銳濤光電科技有限公司

廣州柏勵司研磨介質有限公司

珠海真理光學儀器有限公司

廣東振華科技股份有限公司

西美科特種陶瓷科技(蘇州)有限公司 



報名方式:

方式1:在線登記報名

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方式2:請加微信并發名片報名

艾果果: 133 1291 7301; 

郵箱:ruanjiaqi@aibang360.com


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收費標準:

參會人數

1~2個人

3個人及以上

6月3日前付款

2500元/人

2400元/人

現場付款

2800元/人

2500元/人

費用包括會議門票、全套會議資料、午餐、茶歇等,但不包括住宿。


匯款方式及賬戶:(均可開增值稅普通發票)


公對公賬戶:

名稱:深圳市艾邦智造資訊有限公司

開戶行:中國建設銀行股份有限公司深圳八卦嶺支行

賬號:4425 0100 0021 0000 0867


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注意:每位參會者均需要提供信息;


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原文始發于微信公眾號(艾邦陶瓷展):LTCC基板打孔工藝簡介

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作者 ab

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