1月21日,國內領先的半導體測試方案供應商”澤豐半導體”在東方芯港核心區——臨港產業區舉辦”先進晶圓級測試材料研發基地啟動儀式”。
該項目一期計劃投資2億元,于2021年5月簽約落地,年內便高效完成約5000平方米研發基礎設施建設工作。目前,首期多層共燒超大尺寸陶瓷基板設備、薄膜工藝設備及探針卡自動化生產設備安裝調試完畢,核心研發人員全部到位,即日啟動各產品線的中試通產,將對大尺寸共燒工藝、高精密銀漿線路印刷工藝、高精密多層疊合工藝、生瓷片超微孔激光鉆孔工藝、陶瓷平整掩膜工藝等核心工藝進行大規模的壓力測試。通產后,MEMS探針微加工工藝、生瓷帶研發工藝、陶瓷基板制造工藝以及成套探針卡自動化生產技術將迅速拉升,MEMS探針卡全鏈核心部件將實現全品種的鋪開產能。
上海澤豐半導體科技有限公司深耕芯片測試領域,長期以來,以技術突破為主導,以研發創新為驅動力,推動并加快了半導體測試領域多項卡脖子環節的國產化進程。公司研制的具有國內領先優勢的60Gbps高速探針卡,在與國外同類產品對比中具有獨特創新優勢,公司持續研發的MEMS探針卡關鍵核心組件,滿足了先進半導體工藝(5nm以及以上工藝節點)對應測試方案需求;以測試類基板電學性能特性為出發點,建立自主可控的LTCC材料自研體系;推進了先進LTCC多層陶瓷基板在電子封裝領域的應用。
澤豐半導體將以本項目為切入點,著力強化先進MEMS探針卡相關各個關鍵技術要素的技術積累,開發大規模并行測試MEMS探針卡技術以滿足國內需求;完成7nm及以下先進工藝芯片晶圓級測試接口關鍵核心組件負載板、有機/陶瓷基板、MEMS探針的自主國產化,產品覆蓋滿足復雜數字類AP/HPC/RF/SOC等關鍵芯片測試需求,提高高端晶圓測試領域的產品市占率;完成存儲類芯片測試探針卡關鍵技術研發,實現存儲芯片測試探針卡國產化零的突破;同步推進陶瓷基板和陶瓷管殼的規?;慨a,解決部分關鍵器件封裝材料短缺的問題。
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