據廣東省生態環境廳公開信息,惠州市芯瓷半導體有限公司擬建設年產90萬片半導體功率器件用DPC陶瓷基板項目。
該項目位于惠州市博羅縣園洲鎮,總投資1.2億元,生產產品主要為半導體功率器件用DPC(Direct Plating Copper 直接鍍銅)陶瓷封裝電路基板雙面板,其中 DPC 陶瓷封裝電路基板(氧化鋁)規模為54萬片/a,合計基板面積 7200 m2/a;DPC 陶瓷導熱電路基板(氮化鋁)規模為36萬片/a,合計基板面積4800m2/a,形成年產 90萬片,共計基板面積約12000m2的
DPC 陶瓷基板的產能,各鍍層共計電鍍面積約 11.87萬m2/a。
據介紹,陶瓷基板作為陶瓷封裝中半導體芯片的承載基板,對半導體芯片起著機械支撐保護、電互連(絕緣)、導熱散熱、輔助出光等作用。
圖 DPC陶瓷基板結構示意圖
DPC 陶瓷封裝基板是一種結合薄膜線路與電鍍制程技術,在薄膜金屬化的陶瓷板上采用影像轉移方式制作線路,再采用穿孔電鍍技術形成高密度雙面布線間的垂直互連。由于采用了半導體微加工技術,基板線寬可降低至10~30um,表面平整度高(<0.3um),線路對位精準度高(+1%),再配以高絕緣、高導熱的陶瓷基體(氧化鋁、氮化鋁),使得DPC 陶瓷基板具備了高線路精準度、高表面平整度、高絕緣及高導熱的特性,在半導體功率器件封裝領域迅速占據了重要的市場地位。
官網資料顯示,惠州市芯瓷半導體有限公司是研發與制造技術領先的DPC陶瓷基板及封裝器件的制造商。自主開發的3D成型DPC陶瓷基板產品,是以高導熱陶瓷基片為載體,創造性地整合了薄膜金屬化、黃光微影、垂直互連、3D堆疊等半導體核心技術,是第三代半導體功率器件封裝、新一代晶圓級封裝的理想基板,在高功率半導體照明(LED)、半導體激光器(VCSEL)、5G通訊模組(PA)、絕緣柵雙極二極管(IGBT)、微機電系統(MEMS)傳感器、聚焦型光伏組件制造、軍用產品等領域有廣泛的應用前景。
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