什么是被稱為現代核心產業的半導體產業???
在我們身邊的家電產品等設備中,安裝了被稱為半導體的集成電路。其中最具代表性的產品是電腦,此外,為了使之具備更加便利的功能,在汽車、智能手機以及電視機、洗衣機、冰箱等產品中也廣泛采用了半導體。 如果沒有了半導體,我們每天使用的這些產品的功能就會退化。另外,生產工業產品的機械也使用了半導體,因此,如果沒有了半導體,產品也可能無法生產。毫不夸張地說,正是因為有了半導體,我們才能過上舒適的生活。
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半導體制造裝置所必不可少的精密陶瓷
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半導體的制造工序中存在產生等離子體的惡劣環境。因此,如果構成制造裝置的零部件不具有避免被等離子體腐蝕的特性,則可能會將雜質混入半導體中,從而導致產生不良品。所以,與樹脂、玻璃、金屬相比,耐等離子體性更強的高可靠性精密陶瓷更合適。
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活躍于半導體制造裝置中的主要精密陶瓷零部件
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作為精密陶瓷的特點之一,充分利用其優良的耐等離子體性,在產生等離子體的惡劣環境中,采用了各種精密陶瓷零部件。
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隨著半導體性能的不斷提高,要求半導體制造裝置具有更好的耐久性
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半導體的性能不斷提高,半導體制造裝置也在不斷進步。例如,與過去相比,會在更高的溫度下使用更強的等離子體,構成制造裝置的零部件也要求具有更高的性能,因此,精密陶瓷零部件正逐漸取代現有的樹脂、玻璃、金屬等零部件。
來源:京瓷官網
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