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據韓媒報道,半導體零部件公司LK ENGINEERING的銷售額從 2021 年的333 億韓元增加到去年的 717 億韓元,這得益于主要產品靜電吸盤(ESC)出口的大幅增長。靜電吸盤是半導體制造設備中利用靜電來固定晶圓的部件。LK ENGINEERING靜電吸盤去年出口額達486億韓元,占銷售額的67.8%,中國大陸占比最高,為72%,日本占比12%、美國占比11%、德國占比3%、新加坡和臺灣占比2%。LK ENGINEERING?2024年第一季度銷售額突破230億韓元,今年將開始向臺灣半導體公司銷售產品,因此銷售額有望將超過1000億韓元,其目標是到2030年實現年銷售額2000億韓元。

韓國LK ENGINEERING靜電卡盤修復業務大幅增長

ESC的核心技術是陶瓷,也就是與晶圓接觸的部分。燒結成高純度盤形陶瓷并按照半導體制造商所需的規格進行定制設計的技術并不容易,因此進入門檻很高。由于固定晶圓的部件的性質,在制造過程中提高產量并不容易,而且很容易磨損。
高純度ESC、帶溫度調節功能的加熱ESC等高附加值產品的售價為1~3億韓元(約52~156萬人民幣)。進行修復只需要3000~5000萬韓元左右(15.5~26.5萬人民幣)。
LK ENGINEERING的業務不僅包括維修和更換自有產品的陶瓷部件,還包括全球制造商 ESC 的陶瓷部件,是韓國第一家開展 ESC 維修業務的公司,并成為了SK海力士和三星的供應商。LK ENGINEERING高附加值產品約占銷售額的40%,將進一步將其開發成高純度ESC,使其導熱性等與半導體公司所需的材料相匹配。若韓國烏山正在建設的工廠竣工,從明年開始每月陶瓷產量將從800件增加到2400件。

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