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除了電子陶瓷,玻璃在 5G 通訊中還可以這么用

第五代無線通信技術(5G)具有最高可達10Gb/s傳輸速率、1000倍于現有技術的超大網絡容量以及毫秒級的超短時延,從而可以實現各種新穎和復雜的應用。5G技術要求所使用的器件具有更大帶寬、更高頻率和更緊湊的尺寸等特征。5G器件的特性也使其對封裝材料有了更高的要求。

除了電子陶瓷,玻璃在 5G 通訊中還可以這么用

圖 日本電氣硝子開發的5G玻璃透明天線

玻璃的軟化溫度、燒結溫度和熱膨脹系數(CTE)可調,熱力學穩定性和化學穩定性(在高溫、高濕條件下)較好,并且具有良好的電絕緣性、耐久性、高機械強度等特性,使其成為5G毫米波模塊封裝的理想候選者;此外,玻璃還具有尺寸優勢,可低成本用于大面積的基板;玻璃的極低表面粗糙度和介電損耗(tan δ)等特性也更適合高頻器件的封裝。玻璃因其優良特性與功能被廣泛應用于5G器件的生產和制造。

1、玻璃絕緣性——保護功能

隨著5G技術的發展,通信行業對功率半導體的需求激增。玻璃由于具有良好的絕緣性,能提高半導體器件的擊穿電壓、減小漏電流,對器件起到良好的保護作用,已經廣泛應用于半導體器件的生產中。

除了電子陶瓷,玻璃在 5G 通訊中還可以這么用

圖 鈍化玻璃,來源:SCHOTT

二極管、三極管等功率器件在加工過程中需要使用熔凝玻璃對晶圓進行鈍化處理,用于保護P-N結,延長使用壽命。所以,鈍化玻璃是半導體行業的關鍵材料之一。目前,主要有三種體系的鈍化玻璃即PbO-Al2O3-SiO2系,ZnO-B2O3-SiO2系和PbO-ZnO-B2O3系,均不含堿金屬與堿土金屬,玻璃結構致密,網絡連通性較好。PbO-Al2O3-SiO2玻璃作為鈍化玻璃被廣泛使用。

玻璃良好的絕緣性能也使得其能夠應用在陶瓷表面,保護5G元器件/熔體免受腐蝕或高溫高電壓的侵害,保護電路,防止起弧、燃燒等,延長使用壽命。例如,在常見的無源器件電阻器的制造與應用過程中為了保護陶瓷體,燒結端電極前通常在陶瓷表面燒結包封玻璃,常見的包封玻璃體系有B2O3-B2O3-Al2O3-SiO2系、BaO-MgO-Al2O3-SiO2系等。BaO-MgO-Al2O3-SiO2玻璃用于保護負溫度系數(NTC)熱敏電阻,在經過1000次熱沖擊循環后,電阻變化率仍就保持在10%以內。玻璃優良的保護性能也使得其能應用于熔斷器的生產中。

2、玻璃粘結性——焊接功能

焊料作為眾多5G電子元器件的關鍵材料,在部件封裝、電極和互連等方面發揮著重要的作用。玻璃焊料具有較低燒結溫度、良好的電絕緣性與潤濕性,以及高化學穩定性(抗水、耐蝕)和耐久性,被廣泛應用于金屬、玻璃、陶瓷、硅片等基材的焊接。

表 常見的電極漿料

除了電子陶瓷,玻璃在 5G 通訊中還可以這么用

由于5G毫米波器件在工作情況下的損耗主要由電極損耗產生,因此5G器件需要性能良好的厚膜金屬漿料用作電極材料(如濾波器銀漿),而玻璃是電極漿料的重要組成部分。電極漿料一般由功能相、粘結相和有機載體三部分組成。導電金屬在電極漿料中作為功能相,占組成的絕大部分。玻璃焊料常作為粘結相,含量不高只有2%~10%(質量分數),其主要作用是焊接功能相與基板。玻璃焊料的性能直接影響電子產品的質量。玻璃粘結相的燒結溫度要求與功能相匹配,并對導電金屬具有良好的潤濕性,以實現更好的燒結性能。適宜的燒結溫度還可以減少電子產品金屬部件的氧化和變形;玻璃焊料合適的膨脹系數將提升與陶瓷玻璃基板的結合性、密封性和抗拉強度;玻璃較高的電阻率則能延長電子產品的使用壽命。玻璃焊料也可直接用于陶瓷體的連接,如低熔點的B2O3-ZnO-B2O3-SiO2玻璃焊料連接微波鐵氧體與鈦酸鎂陶瓷,用于微波器件的生產。

3、玻璃晶圓基板——高頻應用

晶圓基板是決定毫米波器件性能的關鍵,通常要求材料具有良好的剛度、化學穩定性、耐候性,以及高的電阻率與低的高頻介電損耗。在傳統解決方案中低溫共燒陶瓷和聚合物等基板材料在技術、成本以及供應上都有局限性。

表 常見的基板材料的性能對比

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常見的商用玻璃基板BOROFLOAT?33的組成為4Na2O/K2O-2Al2O3-13B2O3-81SiO2,結構致密且高溫穩定性良好。硼硅酸鹽玻璃具有比硅更高的電阻率、更低的介電損耗與介電常數,以及與器件適配的熱膨脹系數(CTE)和良好的剛性,可用于制造更薄、粗糙度更小的大尺寸品圓/面板封裝的基板。硼硅酸鹽玻璃基板已成為毫米波器件基板替代解決方案。

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圖 結構化的玻璃基板及器件制備

玻璃基板在半導體器件中的應用廣泛且多樣化,玻璃基板出色的大尺寸穩定性實現了類似于后道工藝(BEOL)的精密再分布層(RDL)基本規則,也為精確的金屬化提供了方便;玻璃可定制的熱膨脹系數(CTE),使其適用于卓越的小間距裝配技術;這使得玻璃在5G射頻(RF)前端設備制造和異質封裝應用中成為具有吸引力的材料。

表 常見的硼硅酸鹽玻璃基板與性能

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玻璃通孔技術(TGV)工藝流程簡單,不需要沉積絕緣層;大尺寸玻璃基板易獲取、機械穩定性強、翹曲小且成本低。玻璃基板因其優良的電學特性使得TGV技術在射頻組件、光電集成、微機電系統(MEMS)等方面得到廣泛運用。相比較于高成本的硅通孔技術(TSV),TGV是一個極佳的替代方案。因此帶有玻璃通孔的玻璃基板成為封裝天線(AiP)的解決方案之一。

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圖 Georgia Tech玻璃面板扇出封裝毫米波天線陣列

晶圓級扇出封裝技術(FO-WLP)是毫米波芯片封裝的重要技術。Georgia Tech在ECTC2017上首次展示了玻璃面板嵌人式封裝技術(GPE,也被稱為玻璃面板扇出封裝(GFO)),與其他扇出式封裝技術相比,GPE結構使用玻璃作為基板材料,玻璃基板的優良特性使得GPE封裝成為毫米波芯片最前沿的封裝方法之一。接著,研究人員在此基礎上發展出2.5D玻璃面板嵌人式封裝技術(GPE),并結合 TGV 技術,開發了新型嵌入式玻璃扇出封裝技術(eGFO)。

未來的通信網絡無論是由毫米波還是亞太赫茲模塊主導,其底層技術在封裝架構、材料和工藝方面有相似之處,主要挑戰均在于實現更低的介電損耗。依托先進的玻璃封裝技術,具有超低介電損耗的玻璃基板將更廣泛應用于未來通訊器件的生產中。

4、玻璃纖維——增強材料

PCB基材的重要參數是損耗角正切值(tan δ),其能更直接地反映出電路板的傳輸損耗。PCB基板是由樹脂、玻璃纖維、銅箔、填料等材料復合而成。玻璃纖維在PCB的電氣性能中起著重要作用。玻璃纖維具有優良的絕緣性能、良好的介電性能(相對低的介電常數與介電損耗)、出色的熱穩定性,并能夠提供足夠的機械強度,且對水份和化學物質具有低敏感性,常被用作制造5G天線基板、PCB等功能材料的增強材料。

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圖 覆銅板結構示意圖

為了滿足5G PCB的特殊需求,玻纖廠商開發出低介電玻璃纖維,低介電玻璃纖維的介電常數及介電損耗都小于無堿玻璃纖維,有利于降低產品的介電常數和介電損耗。為了得到介電常數與tan δ更低的玻璃纖維,往往是通過提高玻璃組分中B2O3的含量,以減少堿金屬氧化物和堿土金屬氧化物。

5、LTCC——關鍵材料

低溫共燒陶瓷技術(LTCC,Low Temperature Co-fired Ceramics)作為無源元器件集成的關鍵技術,在開發高頻、高性能、高集成度的電子元器件方面具有顯著優勢,是實現電子元件小型化、片式化的一種理想的封裝技術,對高頻通信的發展有著舉足輕重的作用,在5G甚至6G通信都將發揮重要作用。

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圖 LTCC AiP 和5G基站用LTCC射頻器件,攝于TDK展臺

玻璃粉是LTCC的關鍵材料,軟化點較低,能降低LTCC的燒結溫度和改善復合材料的燒結致密度;通過調節玻璃粉的配方和工藝,可以制備熱膨脹系數系列化的玻璃粉料,從而對玻璃陶瓷整體的復合熱膨脹系數有調控作用。LTCC三維多芯片模塊(3D-MCM)需要具有不同介電常數、不同熱導率或不同機械強度等性能特征的多層陶瓷基板。其中,玻璃將進一步充分發揮調節性能,滿足LTCC基板的不同需求。

資料來源:《玻璃在5G通訊中的應用》,陳俊偉,等.

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8月28日-30日,艾邦將在深圳國際會展中心7號館舉辦第六屆精密陶瓷暨功率半導體產業鏈展覽會,屆時佳利電子、宏科電子、深云基、浙江矽瓷、昆山永宏棋、廣州海泰克等LTCC全產業鏈材料、設備、元器件/基板公司將參展,同期還將舉辦【LTCC專場論壇】,以下是相關企業名單:

展位號

公司名

主營

7C50

成都宏科電子科技有限公司

LTCC、MLCC、HTCC等領域材料、多層元器件、基板、封裝外殼等

7C89

廣州海泰克科技有限公司

HTCC(高溫共燒陶瓷)/LTCC(低溫共燒陶瓷),生瓷帶,粉體,漿料

7F85

嘉興佳利電子有限公司

LTCC / HTCC/微波介質陶瓷元件及衛星導航組件

7G29

北京寧遠博納電子科技有限責任公司

LTCC/HTCC/MLCC 機械、激光打孔機、絲網印刷機(含卷對卷)、膜厚測試儀、疊片機(含卷對卷)、等靜壓機、生切機、燒結爐(箱式鏈式)、端銀機、劃片機

7G32

深圳市宇宸科技有限公司

PTC多層陶瓷整線設備HTCC設備LTCC設備等靜壓機切割機流延機裁片機填孔機印刷機疊層機等

7G82

上海煊廷絲印設備有限公司

AMB陶瓷基板印刷機,全自動LTCC印刷機,MLCC印刷機,厚膜印刷機,精密填孔/掛壁印刷機

7G114

常州市安視智能科技有限公司

HTCC/LTCC/MLCC生瓷片檢測、DBC/DPC/AMB視覺檢測設備、薄膜基板、電阻等生產制造過程中的外觀檢測設備

7G123

深圳市深云基新材料科技有限公司

LTCC瓷帶、LTCC瓷粉、LTCC漿料

7H29

蘇州國科測試科技有限公司

LTCC&HTCC檢測設備

7H50

天津奧峰科技有限公司

LTCC/HTCC貼膜、撕膜、倒角等工藝設備

7K91

廣州諾頂智能科技有限公司

LTCCHTCC生瓷帶全自動AOI檢測設備、薄膜電路厚膜基板全自動AOI檢測設備

7A01

廣東恒錦智能裝備有限公司

絲印機、移印機、鋼板、網板

7A51

東莞市騰科自動化設備有限公司

高速檢測機,外檢機,視覺CCD

7A66

江蘇國盛新材料有限公司

稀土氧化物及化合物

7A68

廣東匯京智能裝備有限公司

納米砂磨機、高速分散機&分散罐、研磨介質

7A69

珠海思加新材料有限公司

99瓷氧化鋁基板、半導體陶瓷工具、生物陶瓷材料、納米材料

7A91

津上智造智能科技江蘇有限公司

超聲波掃描顯微鏡

7A97

江蘇瑞邦高熱制品有限公司

高溫窯爐(氫氮氣氛爐、氮氣脫脂爐、富氧空氣燒結爐)窯具(99輕量板、承燒板、匣缽))

7A136

南通恩普熱能技術有限公司

陶瓷纖維板、陶瓷纖維毯、陶瓷纖維異型件、陶瓷纖散棉、陶瓷纖維模

7B37

太原市衡力科技有限公司

冷等靜壓機和溫等靜壓機等

7B40

蘇州廣林達電子科技有限公司

超聲波掃描顯微鏡

7B48

福州賽瑞特新材料技術開發有限公司

特高純氮化硼陶瓷治具,堆場,承燒板

7B60

深圳市宇斯特電子有限公司

厚膜陶瓷電路

7B75

合肥高歌先進電爐裝備有限公司

實驗電爐、工業電爐

7B81

上海福訊電子有限公司

精密印刷模板

7B94

昆山可立維機電有限公司

陶瓷板自動化設備

7B116

天津市海迅科技發展有限公司

視覺自動化設備

7B203

合肥市鑫倉工業設備科技有限公司

激光打標機、切割機、氦質譜檢漏儀

7B230

寶雞志成有色金屬制造有限公司

鈦、鋯、鎢、鎳等有色金屬材料

7C09

深圳市鑫陶窯爐設備有限公司

高溫燒結爐

7C15

深圳市金岷江智能裝備有限公司

流延機

7C21

納諾奧耐(天津)科技有限公司

氧氣/氧氣/總烴分析儀及探頭,數字浮子流量計

7C29

成都先機智能科技有限公司

陶瓷片貼膜機,陶瓷片撕膜機,自動化

7C39

蘇州德龍激光股份有限公司

精密激光加工設備及激光器

7C41

太原忠睿合科技有限公司

冷等靜壓機,溫等靜壓機,干袋式等靜壓機

7C46

深圳市光道激光技術有限公司

陶瓷精密激光設備

7C51

雅馬拓科技貿易(上海)有限公司

實驗室設備

7C82

東莞市桑隅電子有限公司

金相檢測耗材、金相檢測設備

7C83

上海微譜檢測科技集團股份有限公司

材料成分分析,失效分析,安全反應評估,體系認證,專利申請,檢測報告和環境檢測

7C84

珠海市鐳登光電科技有限公司

超細金屬粉末(鎳粉、銅粉、銀粉、鎳粉)拋光粉懸浮分散劑

7C87

合肥圣達電子科技實業有限公司

陶瓷基板、HTCC、封裝

7C88

蘇州純爾凈化科技有限公司

濾芯

7C90

武漢宇昌激光科技有限公司

陶瓷激光切割打孔劃線一體機

7C103

南通眾博信智能科技有限公司

高速飛針測試機、專用測試機、自動四線專用測試機

7D09

深圳市飛仕達機械設備有限公司

水平線設備

7D15

浙江矽瓷科技有限公司

介質陶瓷材料、生瓷帶

7D19

深圳市中斯進出口有限公司

多層陶瓷整套方案,包含整套設備,材料,工藝,輔材PET,絲印漿料等,流延機,裁片機,沖孔機打孔機,印刷機填孔機卷對卷印刷機,疊片機,印刷-疊片一體機,熱壓機,溫水等靜壓機,切割機熱切機等

7F10

深圳市邁創力科技有限公司

飛針測試機、AOI自動光學檢測機

7F39

長沙建宇網印機電設備有限公司

厚膜印刷機、平面厚膜印刷機、圓管厚膜印刷機、CCD自動對位厚膜印刷機

7F39

常州普雷特印刷科技有限公司

NorCote感光膠、刮膠、太陽能刮膠、毛細水菲林

7F53

東莞市瑯菱機械有限公司

研磨分散設備

7F68

武漢坤元流延科技有限公司

流延機、球磨機、脫泡機、涂布機、裁片機、沖孔機、絲印機、疊片機、溫等靜壓機、熱切機等

7F69

上海住榮科技有限公司

機械沖孔機、激光打孔機、絲網印刷機、疊片機、溫水等靜壓機、生瓷片熱切機、劃片機、X-ray

7F79

昆山艾科迅真空裝備有限公司

有色金屬真空焊、覆銅板真空釬焊、陶瓷真空釬焊、二氧化硅真空釬焊

7F97

田菱精密網版科技(昆山)有限公司

精密網版

7F128

空氣化工產品(中國)投資有限公司

氬氣、二氧化碳、氧氣、氮氣

7F134

肇慶市宏華電子科技有限公司

薄膜流延機、薄膜絲印機、薄膜疊層機、等靜壓機、切割機、封端機、外觀檢測機、測試機、編帶機等

7G01

天津中環電爐股份有限公司

排膠爐、鐘罩爐、可視化熱分析、燒結爐

7G01

上海晨華科技股份有限公司

真空熱壓燒結爐、真空雙向加壓熱壓爐、排膠爐,真空氣壓燒結爐,真空無壓燒結爐等

7G10

合肥費舍羅熱工裝備有限公司

脫脂爐,燒銀爐,燒結爐,推板爐

7G10

山東宏瑞耐火材料科技有限公司

承燒板、推板、匣缽

7G20

深圳市領創精密機械有限公司

跑臺絲網印刷機

7G28

精工銳意科技(河南)有限公司

金剛石耗材

7G31

株洲瑞德爾智能裝備有限公司

高溫燒結爐、真空燒結爐

7G37

山西鴻煷機械設備股份有限公司

冷等靜壓機和溫等靜壓機、干袋式等靜壓機等

7G38

上海網誼光電科技有限責任公司

精密不銹鋼網版研發與生產, 超薄3u網版

7G40

東陽市圣柏林特種設備技術服務有限公司

流延機

7G50

福建泉州聿瑞升貿易有限公司

加拿大AEM高純鋁粉和(原日本昭和)印尼ICA煅燒氧化鋁粉、高純六水氯化鋁

7G51

北京晶芯電子有限公司

國產真空計

7G54

昆山括通絲印器材有限公司

精密網版

7G56

廣州市極志測量科技有限公司

在線視覺瑕疵檢測設備、PCB快速檢測設備、厚度測量儀

7G62

深圳市碩克網版科技有限公司

網版

7G85

西安鑫乙電子科技有限公司

流延機及其配套輔助設備

7G88

武漢賽斐爾激光技術有限公司

電子陶瓷激光劃片機、電子陶瓷高速激光精密打孔機、玻璃激光精密切割機、紫外激光精密切割機

7G90

昆山永宏棋智能科技有限公司

流延機,裁片機,印刷機,疊層機,溫水等靜壓機

7G94

SERIA CORPORATION

陶瓷印刷機

7G96

蘇州精創光學儀器有限公司

超聲波自動化設備/DBC自動缺陷檢測設備/AMB陶瓷基板終檢檢測自動化設備

7G105

深圳市德斯戈智能科技有限公司

缺陷檢測設備

7G110

陜西中電華星窯爐設備有限公司

推板爐,網帶爐,輥道爐,鐘罩爐等工業窯爐

7G116

優科華瓷(西安)電子科技有限公司

HTCC管殼、陶瓷基板

7G125

無錫市新星源機電設備制造有限公司

單/雙推板式道爐,高溫單 (雙)通道道爐,網帶爐、真空爐

7G132

廣州柏勵司研磨介質有限公司

氧化鋯珠、氮化硅珠、碳化鎢珠

7H01

德中(天津)技術發展股份有限公司

激光精密加工設備、電路板打樣設備

7H09

北京北方華創真空技術有限公司

脫脂燒結一體爐,高溫氫氣爐,釬焊爐,氣壓燒結爐,熱壓燒結爐,連續式粉體燒結爐

7H15

合肥泰絡電子裝備有限公司

網帶爐、鐘罩爐、箱式爐、推板爐、輥道爐及配套自動化設備

7H15

合肥智熱裝備有限公司

鐘罩爐、高溫氣氛箱式爐、真空氣氛罐式爐、中溫潔凈箱式爐、熱風箱式爐、熱風排膠爐、廢氣凈化爐

7H21

合肥恒力裝備有限公司

HTCC高溫氣氛推板爐,先進陶瓷專用輥道爐,熱風箱式排膠爐,先進陶瓷專用鐘罩爐,真空回流焊爐,氣氛網帶爐,智能柔性電鍍生產線,手工精密電鍍通風柜

7H23

深圳市叁星飛榮機械有限公司

砂磨機、制漿與制粉系統工程

7H41

汕尾市索思電子封裝材料有限公司

焊料,金屬管殼及電鍍,蓋板,陶瓷底座

7H47

廈門至隆真空科技有限公司

碳化硅SiC長晶爐/外延爐、氣壓燒結爐等裝備研究與制造

7H52

揚州錦潤網帶制造有限公司

金屬絲網及網帶

7H56

中國電子科技集團公司第四十五研究所

印刷機,填孔機,整平機,疊層機

7H58

上海科歡貿易有限公司

干法和濕法的研磨機,分散機,整粒機,篩分機,粒度儀

7H65

河北東方泰陽電子科技有限公司

高精度流延機、高精度流延機、氣氛保護燒結爐、全自動料帶切片機

7H68

蘇州赫瑞特電子專用設備科技有限公司

研磨機拋光機,線切割機

7H76

創軒(南京)激光智能科技有限公司

激光打標機、激光切割機、激光焊接機

7H78

廣東首鐳激光科技有限公司

激光切割、激光焊接、激光打孔、激光打標及激光自動化

7H82

河南三特爐業科技有限公司

馬弗爐、電阻爐、管式爐、升降爐、臺車爐、工業爐、熱處理加熱爐系列產品

7H83

廣州韋斯特新材料有限公司

電阻絲

7H84

長沙西麗納米研磨科技有限公司

砂磨機、智能單機、全自動化研磨產線及相關配套研磨設備

7H89

安徽博為光電科技有限公司

先進封裝、高低溫陶瓷、半導體設備

7H90

深圳市鼎華芯泰科技有限公司

PCB、陶瓷基板、IC載板專業制造商

7H94

南通遠順耐纖有限公司

陶瓷纖維板、陶瓷纖維紙

7H104

蘇州錦業源自動化設備有限公司

東海高熱:ALN粉體連續爐、SIN粉體大型臺車爐、中大型真空高溫爐(TV爐,TP爐)

7H104

四川六方鈺成電子科技有限公司

996氧化鋁基板,生瓷帶,鎢漿

7H118

盤古光電河北有限公司

陶瓷打孔/切割;管殼打標/封焊

7H123

岳一科技有限公司

光學影像檢測解決方案

7H125

諾澤流體科技 (上海) 有限公司

微射流,做MLCC分散,陶瓷漿料分散,陶瓷粉碎

7K07

張家港市盛澳電爐科技有限公司

高溫陶瓷燒結爐、脫脂爐、推板窯

7K24

上海昶艾電子科技有限公司

氧分析儀

7K27

上海運河材料科技有限公司

代理日本積水的PVB等原材料

7K28

伊索來特(上海)貿易有限公司

陶瓷纖維、保溫磚等耐火隔熱產品

7K33

嘉興微知電子有限公司

絲網印刷機、厚膜印刷機

7K34

動力博石(廣東)智能裝備有限公司

微納尺寸測量儀、自動對焦視頻顯微鏡、圖像尺寸測量儀

7K52

森村貿易(深圳)有限公司

濾芯

7K58

綜研化學(蘇州)有限公司

高分子產品/聚丙烯酸脂類涂劑 ;功能性有機粉體/聚丙烯酸脂類超微粉體

7K66

浙江德龍科技有限公司

薄膜陶瓷,流延機,等靜壓機、沖孔機、生磁帶切割機、球磨機、分切機

7K105

廈門市欣迪美達科技有限公司

韓國大韓氧化鋁粉

展會預定:

溫小姐:18126443075(同微信)
郵箱:wenxiaoting@aibang.com

掃碼添加微信,咨詢展會詳情

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龍小姐:18318676293(同微信)
郵箱:ab036@aibang.com

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除了電子陶瓷,玻璃在 5G 通訊中還可以這么用

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原文始發于微信公眾號(艾邦陶瓷展):除了電子陶瓷,玻璃在 5G 通訊中還可以這么用

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作者 gan, lanjie

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