2024年7月10日,安徽富樂德科技發展股份有限公司(證券代碼:301297)發布收購杭州之芯半導體有限公司 100% 股權暨關聯交易的進展公告。近日,杭州之芯已完成工商變更登記手續,并取得了杭州市錢塘區市場監督管理局核發的營業執照。本次工商變更完成后,富樂德持有杭州之芯 100% 股權,杭州之芯成為其全資子公司。
為拓展富樂德在半導體設備及零部件維修領域業務,豐富和完善產業鏈建設,為客戶提供高附加值、更加綜合性的一站式服務,增強盈利能力,提升核心競爭力,富樂德與杭州大和江東新材料科技有限公司于 2024 年 6 月 7 日在安徽銅陵簽訂了附條件生效的《股權轉讓協議》,收購江東新材料持有的杭州之芯 100% 股權。本次交易的轉讓價格為 6800 萬元,全部以現金支付。富樂德與江東新材料、杭州之芯同屬日本磁性技術控股股份有限公司間接控制。
杭州之芯經營范圍為研發、生產、維修:半導體精密零部件、真空腔體加熱器、半導體靜電吸盤、特種陶瓷、陶瓷部件;晶圓基座修復及制造;銷售自產產品并提供相關的技術咨詢服務。杭州之芯以 ALN 加熱器翻新與新品制作、靜電吸盤(ESC)的研發、生產和銷售為主營業務,是國內首家專注于ALN 加熱器陶瓷部件高精密修復及加熱器部件代加工/ESC 制造的企業。主要業務有ALN加熱器陶瓷部件高精密修復、陶瓷釬焊業務等。
ALN 加熱器陶瓷部件高精密修復業務: ALN 加熱器是半導體芯片制造過程中 CVD 制程內的關鍵設備,主要用于給 CVD 氣體加熱。使用過程中 WAFER 放置在 heater 的表面,通過 heater 對 wafer 進行加熱,CVD 氣體進入腔體內后,在 wafer 表面加熱后發生反應形成薄膜沉積在 wafer 表面。該業務來源于美國CRC公司的技術,2022 年中旬達到量產狀態并在國內 Fab 廠開始了翻新業務推廣。
陶瓷釬焊業務:該業務是基于加熱器翻新中焊接技術衍生拓展出來的一塊全新的業務。陶瓷釬焊技術包含陶瓷金屬化和陶瓷焊接技術兩大塊內容。現廣泛應用于醫療、航天、核能、半導體等領域。
其中 ALN 加熱器翻新屬于富樂德的精密洗凈衍生增值業務范疇,與主營業務具有較高的協同性,通過本次收購將有效拓展富樂德在半導體設備及其關鍵零部件維修領域的經營業務,為客戶提供高附加值、更加綜合性的一站式服務。
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