2024年7月15日，沈陽富創精密設備股份有限公司（富創精密，證券代碼：688409）發布公告稱，擬以現金方式收購公司實際控制人鄭廣文、公司第一大股東沈陽先進制造技術產業有限公司、北京亦芯企業管理咨詢合伙企業（有限合伙）、遼寧中德產業股權投資基金合伙企業（有限合伙）、阮琰峰、天津芯盛企業管理咨詢合伙企業（有限合伙）、中泰富力科技發展有限公司和遼寧和生中富股權投資基金合伙企業（有限合伙）8名交易對方持有的北京亦盛精密半導體有限公司100%股權。本次交易正在進行審計評估，交易金額尚未確定，預計不超過8億元。交易完成后，亦盛精密將成為富創精密的全資子公司。

亦盛精密聚焦國內主流12英寸晶圓廠客戶，可提供以硅、碳化硅、石英為基材的非金屬零部件耗材、鋁等金屬材料為基材的金屬零部件耗材和晶圓廠核心部件的維修、循環清洗和涂層再生服務，亦盛精密部分產品已通過國內主流12英寸晶圓廠客戶先進制程工藝認證，并實現量產出貨。

亦盛精密是國家高新技術企業、國家級專精特新“小巨人”企業，是中國集成電路零部件創新聯盟、北京集成電路學會、中關村芯鏈集成電路制造產業聯盟核心成員單位。目前在北京擁有15,000平方米的辦公廠房、180余名員工，具備不同產品和服務的產能專線，已申請89項專利，已獲授權專利69項。亦盛精密于2017年作為牽頭單位承擔國家“02重大專項”之“關鍵零部件研發及產業化——硅/碳化硅復合材料零件的研制與產業化”項目，并順利驗收。通過多年研發和積累，亦盛精密具備針對晶圓廠金屬零部件耗材的快速仿真設計及開發能力，針對晶圓廠非金屬零部件耗材的設計和精密機械加工、高潔凈表面處理及清潔、碳化硅燒結及化學氣相沉積等材料工藝研發與制造能力，目前已對國內主流邏輯、存儲、功率器件的12英寸晶圓廠客戶實現覆蓋，累計完成了近1,800種不同材質零部件耗材的國產化驗證配套。在后端維護及再生服務方面，亦盛精密對部分主流12英寸晶圓廠提供駐場服務，通過對晶圓廠使用后的核心零部件提供循環清洗、致密耐腐蝕陶瓷涂層再生等服務以及對晶圓廠使用的主流品牌真空泵提供維修保養，延長零部件使用壽命，降低晶圓廠運營成本。此外，亦盛精密聯合上海浦宸私募投資基金合伙企業（有限合伙）設立合資公司“上海亦富亦創半導體科技有限公司”，基于上海集成電路戰略發展需求，擬圍繞陶瓷材料研發中心及先進制程核心零部件的技術研發及產業化項目進行投資建設，投資項目已經開展規劃設計。

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