半導體設備零部件，國產(chǎn)替代正當時隨著國產(chǎn)半導體設備廠商的快速成長，以及在美國BIS新規(guī)半導體出口限制的背景下，國內企業(yè)在供應鏈安全、成本、服務等方面具有優(yōu)勢，半導體設備零部件國產(chǎn)替代正當時，未來成長空間巨大。半導體設備零部件是指在半導體設備制造過程中所需的零部件，并在材料、結構、工藝、 品質和精度、可靠性及穩(wěn)定性等方面能達到半導體設備的技術要求。半導體設備是半導體行業(yè)技術演進的關鍵，其絕大部分關鍵核心技術需要以精密零部件作為載體來實現(xiàn)。芯片制造工序千萬道，自然少不了“搬運工序”，將晶圓從工序A移動到工序B的過程中，如何不斷重復地把晶圓高速、清潔地搬運和處理，對晶圓成品的品質影響巨大。“高速”、“潔凈”是半導體晶圓搬運設備的核心特征，要滿足此特征，設備對所使用的零部件性能要求也極其苛刻。由于多數(shù)工序是在真空、高溫以及具有腐蝕性的氣體環(huán)境中進行，所以設備使用的搬運臂要具有優(yōu)良的物理性能，如：較高的機械強度、抗腐蝕、耐高溫、耐磨、硬度高、絕緣等。圖為圣瓷·氧化鋁陶瓷手臂
高純度的氧化鋁陶瓷具有致密性強、耐磨、耐熱、機械強度高、抗腐蝕性、絕緣等物理性能，是用于制作半導體設備機械手臂的絕佳材料。
晶圓搬運臂種類有很多，以下介紹的是“真空陶瓷手臂”。
? ? ? ?陶瓷手臂如何加工，從而形成中空？由于技術難度大，而且需要滿足加工精度、耐腐蝕性、密封性、潔凈度、真空度等指標，要保證陶瓷手臂零氣孔、零裂紋、零瑕疵，保證陶瓷手臂的產(chǎn)品性能及使用壽命，以最終實現(xiàn)真空環(huán)境下的半導體設備工藝制程的穩(wěn)定。
圣瓷采用獨特的陶瓷粘結技術，既能滿足晶圓搬運臂的尺寸精度要求，又能滿足晶圓搬運臂的嚴苛使用環(huán)境，受到海內外客戶一致好評！原文始發(fā)于微信公眾號（圣瓷）：晶圓的“搬運工”—— 陶瓷手臂
