低溫共燒陶瓷(Low Temperature Co-Fired Ceramics, LTCC)封裝能將不同種類(lèi)的芯片等元器件組裝集成于同一封裝體內(nèi)以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的某些功能,是實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)小型化、集成化、多功能化和高可靠性的重要手段。

圖 射頻模塊用LTCC封裝,來(lái)源:京瓷

一、LTCC封裝的類(lèi)型
LTCC 基板可進(jìn)行不同形式的封裝。選擇熱膨脹系數(shù)與 LTCC 基板相近和密度適當(dāng)?shù)慕饘偻鈿づc LTCC 基板焊接可實(shí)現(xiàn) LTCC 金屬外殼封裝,LTCC 金屬外殼封裝氣密性好、通用性強(qiáng)。LTCC 基板與金屬?lài)蚪Y(jié)合可實(shí)現(xiàn)具有不同引腳形式的針柵陣列(Pin Grid Array, PGA)封裝、焊球陣列(Ball Grid Array, BGA)封裝、穿墻無(wú)引腳封裝、四面引腳扁平(Quad Flat Package, QFP)封裝、無(wú)引腳片式載體(Leadless Chip Carrier, LCC)封裝和三維多芯片模塊(Three-Dimensional Multichip Module, 3D-MCM)封裝等氣密性 LTCC 一體化封裝。
(1)LTCC 金屬外殼封裝
LTCC 金屬外殼封裝與傳統(tǒng)厚膜多層氧化鋁基板金屬外殼封裝相似,是將 LTCC ?基板焊接或粘接在金屬外殼內(nèi)部底面上,通過(guò)金屬外殼上鑲嵌的絕緣子或連接器實(shí)現(xiàn)外殼內(nèi)外電連接的一種封裝,通常用于高可靠性的電子產(chǎn)品或定制的有特殊性能要求的軍事或航空航天產(chǎn)品中。
(2)LTCC 針柵陣列封裝
LTCC 針柵陣列封裝是在LTCC 基板表面焊接金屬?lài)蜃鳛榉庋b框體、底面焊接金屬 PGA 作為 I/O 端的一種封裝。將 LTCC 電路基板作為封裝載體在基板上直接引出封裝的 I/O 端子,使基板與圍框和蓋板成為一個(gè)整體的封裝也稱(chēng)為 LTCC(/金屬)一體化封裝。在 LTCC 基板上焊接圍框后再組裝元器件,即可通過(guò)平行縫焊等封上蓋板實(shí)現(xiàn)氣密性封裝。

圖 LTCC PGA封裝示意圖
(3)LTCC 焊球陣列封裝
LTCC 焊球陣列封裝是 LTCC 基板表面焊接金屬?lài)蜃鳛榉庋b框體、底面焊接焊球作為 I/O 端的一種封裝。LTCC BGA氣密性封裝也屬于 LTCC 一體化封裝。

圖 LTCC BGA封裝示意圖
(4)LTCC 穿墻無(wú)引腳封裝
LTCC 穿墻無(wú)引腳封裝是 LTCC 基板表面焊接金屬?lài)蜃鳛榉庋b框體、I/O 端頭為從 LTCC 基板內(nèi)部引出到圍框外側(cè)的金屬化導(dǎo)帶的一種封裝形式。穿墻是金屬化導(dǎo)帶從框內(nèi)穿過(guò)金屬?lài)蛳虏康拇审w而出現(xiàn)在圍框外部,該導(dǎo)帶與 LTCC 基板共燒而成。通過(guò)穿墻導(dǎo)帶可以將組件的引出線(xiàn)從密封的腔體內(nèi)部引出來(lái)。LTCC 穿墻無(wú)引腳封裝也是一種 LTCC 一體化封裝。

圖 LTCC 穿墻無(wú)引腳封裝示意圖
(5)LTCC 四面引腳扁平封裝
LTCC 四面引腳扁平封裝是 LTCC 基板表面焊接金屬?lài)蜃鳛榉庋b框體、基板底面邊緣焊接引線(xiàn)作為 I/O 端的一種封裝,LTCC QFP 封裝也屬于 LTCC 一體化封裝。

圖 LTCC 四面引腳扁平封裝示意圖
(6)LTCC 無(wú)引腳片式載體封裝
LTCC 無(wú)引腳片式載體封裝是 LTCC 基板表面焊接金屬?lài)蜃鳛榉庋b框體、 I/O 端頭為從 LTCC 基板內(nèi)部引出到基板底部的導(dǎo)體膜層的一種封裝形式,屬于 LTCC 一體化封裝。

圖 LTCC無(wú)引腳片式載體封裝示意圖
(7)LTCC 3D-MCM 封裝
LTCC 三維多芯片模塊封裝是將多塊(不少于2塊)二維板級(jí) LTCC 模塊(2D-MCMD垂直疊裝并實(shí)現(xiàn)電連接和機(jī)械連接所形成組件的封裝。采用垂直互連制作的 LTCC 3D-MCM 不僅模塊所占投影表面積和體積縮小,重量減輕,而且由于垂直互連線(xiàn)縮短,互連線(xiàn)阻值、寄生電容和電感減小,信號(hào)延遲縮短,噪聲和損耗將下降,可以進(jìn)一步提高信號(hào)傳輸速度。LTCC 3D-MCM 封裝可以是氣密性封裝,獨(dú)立形成多功能模塊或子系統(tǒng);也可以是非氣密性封裝,構(gòu)成 3D-MCM 后再組裝到系統(tǒng)(或子系統(tǒng))載板上,成為載板上的一部分。

圖 LTCC 3D-MCM 結(jié)構(gòu)示意圖
二、LTCC 封裝用材料
完整的LTCC封裝應(yīng)是所有有源器件和無(wú)源元件均組裝到基板以后,再焊接上蓋板成為一個(gè)密封整體。LTCC 封裝材料是指用于承載電子元器件及其相互連線(xiàn),起到機(jī)械支撐、密封環(huán)境保護(hù)、信號(hào)傳遞、散熱和屏蔽等作用的基體材料,包括 LTCC 基板、布線(xiàn)、殼體、框架、熱沉、蓋板、焊料等材料,總體上分為 LTCC 基板材料、封裝金屬材料和焊接材料三大類(lèi)。
(1)LTCC 基板材料
LTCC 是以玻璃/陶瓷材料作為電路的介電層,運(yùn)用 Au、Ag、Pd/Ag 等高電導(dǎo)率金屬做內(nèi)外層電極和布線(xiàn),以平行印刷方式印制多層電路,疊壓后在低于950℃的燒結(jié)爐中共同燒結(jié)而成的一種陶瓷,LTCC 基板具有布線(xiàn)導(dǎo)體方阻小、可布線(xiàn)層數(shù)多、布線(xiàn)密度高、燒結(jié)溫度低、介質(zhì)損耗小、高頻性能優(yōu)異、熱膨脹系數(shù)與多種芯片匹配等優(yōu)點(diǎn),因而成為一種理想的高密度集成用主導(dǎo)基板。LTCC 基板材料包括 LTCC 生瓷帶和與生瓷帶配套的導(dǎo)體和電阻等材料。生瓷帶主要有玻璃陶瓷系(微晶玻璃)和玻璃+陶瓷系兩類(lèi),導(dǎo)體材料主要為 Au、Ag、Pd、Pt 等貴金屬及其合金。
(2)LTCC 封裝金屬材料
LTCC 封裝金屬材料主要根據(jù)金屬封裝材料特性進(jìn)行選擇,需要綜合考慮金屬材料的熱導(dǎo)率、熱膨脹系數(shù)、密度、可焊性、工藝成熟性等。
①可伐合金(Fe-Ni-Co)熱膨脹系數(shù)較小,與常用 LTCC 基片熱膨脹系數(shù)相匹配,具有較好的加工性,成本較低,是一種較常用的金屬管殼材料。
②CuW 和 CuMo 合金則結(jié)合了 W、Mo 和 Cu 的許多優(yōu)異特性,從而具有良好的導(dǎo)熱導(dǎo)電性、耐電弧侵蝕性、抗熔焊性和耐高溫、抗氧化性等特點(diǎn),并且熱膨脹系數(shù)可在一定范圍內(nèi)選擇,主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路和大功率微波器件中,作為熱控板、散熱元件(熱沉材料)和引線(xiàn)框架使用。
③AlSiC 具有高熱導(dǎo)率、低膨脹系數(shù)、高強(qiáng)度、低密度、良好的導(dǎo)電性等特點(diǎn),作為基板或熱沉材料在國(guó)內(nèi)封裝領(lǐng)域已得到批量應(yīng)用。
(3)LTCC 封裝焊接材料
LTCC 封裝焊接材料主要作為連接材料,用于 LTCC 基板與金屬底板、金屬?lài)颉⒁_的焊接,基板上元器件組裝、焊球連接及基板垂直互連等。LTCC 封裝用焊接材料熔點(diǎn)一般低于 450℃,屬于軟釬料。
LTCC 封裝焊接材料有焊膏和焊片,焊膏更適合微小元器件和焊球等多點(diǎn)位置的焊接,焊片常用于圍框、基板等面積相對(duì)較大的焊件和精確尺寸(焊料逸出少)焊件的焊接。
來(lái)源:LTCC 封裝技術(shù)研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì),李建輝,等.
11月22日,第二屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇將于石家莊舉辦,屆時(shí)中電科43所 董兆文 研究員將做《低溫共燒陶瓷基板及其封裝應(yīng)用》主題報(bào)告演講,歡迎各位行業(yè)朋友與會(huì)交流!
2024年11月22日
序號(hào) | 暫定議題 | 演講嘉賓 |
1 | 高可靠封裝的機(jī)遇與挑戰(zhàn) | 睿芯峰 副總經(jīng)理 陳陶 |
2 | 厚薄膜混合型HTCC工藝技術(shù)的開(kāi)發(fā) | 六方鈺成 董事長(zhǎng) 劉志輝 |
3 | 陶瓷封裝技術(shù)在半導(dǎo)體器件領(lǐng)域的應(yīng)用 | 北京大學(xué)東莞研究院 鄭小平 研究員/項(xiàng)目總監(jiān) |
4 | 傳感器技術(shù)的發(fā)展及陶瓷封裝的應(yīng)用趨勢(shì) | 鄭州中科集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院 先進(jìn)封測(cè)中心主管 周繼瑞 |
5 | 封裝用封接玻璃粉的開(kāi)發(fā) | 天力創(chuàng) 項(xiàng)目經(jīng)理 于洪林 |
6 | 功率模塊封裝用高強(qiáng)度高熱導(dǎo)率Si3N4陶瓷的研究進(jìn)展 | 中材高新氮化物陶瓷 首席專(zhuān)家 張偉儒 |
7 | 高品質(zhì)氮化硅粉體燃燒合成技術(shù)新進(jìn)展 | 中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所/中科新瓷 高級(jí)工程師/總經(jīng)理 楊增朝 |
8 | 鈣鈦礦型鐵電介質(zhì)陶瓷開(kāi)發(fā)及應(yīng)用 | 電子科技大學(xué) 唐斌 教授 |
9 | 電子封裝陶瓷基板關(guān)鍵的制備技術(shù) | 河北東方泰陽(yáng) |
10 | 低溫共燒陶瓷基板及其封裝應(yīng)用 | 中電科43所 董兆文 研究員 |
11 | 系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)用陶瓷基板技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化 | 華中科技大學(xué)/武漢利之達(dá)科技 教授/創(chuàng)始人 陳明祥 |
12 | 薄膜技術(shù)在電子封裝中的應(yīng)用 | 七星華創(chuàng)微電子 工程師 任凱 |
13 | 超快激光AOD技術(shù)顛覆HTCC/LTCC精密鉆孔 | 德中(天津)技術(shù) 戰(zhàn)略發(fā)展與市場(chǎng)總監(jiān) 張卓 |
14 | 集成電路陶瓷封裝外殼仿真設(shè)計(jì) | 擬邀請(qǐng)?zhí)沾煞庋b廠(chǎng)商/高校研究所 |
15 | 陶瓷封裝結(jié)構(gòu)優(yōu)化及可靠性分析 | 擬邀請(qǐng)?zhí)沾煞庋b廠(chǎng)商/高校研究所 |
以最終議題為準(zhǔn)。更多議題征集中,歡迎自擬或者推薦議題。演講&贊助&會(huì)議報(bào)名請(qǐng)聯(lián)系李小姐:18124643204(同微信)
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原文始發(fā)于微信公眾號(hào)(艾邦陶瓷展):一文了解 LTCC 封裝技術(shù)
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