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流延成型工藝最早出現(xiàn)在 20 世紀(jì) 40 年代的第二次世界大戰(zhàn)期間,當(dāng)時(shí)軍需材料嚴(yán)重短缺,無(wú)法生產(chǎn)云母電容器。流延成型(Tape casting),又稱刮刀成型(Doctor blading 或 Knife coating),麻省理工學(xué)院的 Howatt 等人最早對(duì)流延成型進(jìn)行了研究,1947 年首次公開(kāi)報(bào)道了流延成型工藝用于生產(chǎn)用作電容器電介質(zhì)的陶瓷薄片,并于 1952 年取得專利,流延成型開(kāi)始應(yīng)用于陶瓷電容器的工業(yè)生產(chǎn)。1967 年,Stetson 和 Gyurk 通過(guò)流延成型制備了氧化鋁基片,用作薄膜電路、器件和集成電路的基板。與此同時(shí),Schwartz 和 Kirkpatrick 與 IBM 公司合作利用流延工藝開(kāi)發(fā)了一種用于計(jì)算機(jī)的多層電路板。發(fā)展至今,流延成型是目前生產(chǎn)陶瓷薄片常用的成型方法之一。艾邦建有陶瓷基板產(chǎn)業(yè)群,歡迎上下游企業(yè)加入微信群,長(zhǎng)按識(shí)別二維碼即可加入。

一文了解流延成型工藝技術(shù)

1.流延成型的工藝

流延成型是指在陶瓷粉料中加入溶劑、分散劑、粘結(jié)劑、增塑劑等成分,得到分散均勻的穩(wěn)定漿料,在流延機(jī)上制得所需厚度薄膜的一種成型方法。

一文了解流延成型工藝技術(shù)

圖 流延成型工藝流程

流延成型的工藝流程如圖所示,主要包括制備漿料、球磨混合、成型、干燥、排膠和燒結(jié)等過(guò)程。首先將陶瓷粉體與分散劑加入溶劑(水或有機(jī)溶劑)中,通過(guò)球磨或超聲波振蕩打開(kāi)顆粒團(tuán)聚,并使溶劑潤(rùn)濕粉體,再加入粘結(jié)劑和增塑劑,通過(guò)二次球磨得到穩(wěn)定、均一的漿料;經(jīng)球磨和混合后,漿料中一般都會(huì)有一定量的空氣,流延前必須進(jìn)行真空除氣;再將漿料在流延機(jī)上進(jìn)行成型得到素坯;然后進(jìn)行干燥,使溶劑蒸發(fā),粘結(jié)劑在陶瓷粉末之間形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),得到一定強(qiáng)度和柔韌性的素坯膜;接著對(duì)素坯膜進(jìn)行機(jī)加工(切割、打孔),得到所需要的特定形狀;最后通過(guò)排膠和燒結(jié)處理得到所需要的成品。

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圖 LTCC生瓷帶,攝于CMPE2024展浙江矽瓷展臺(tái)

流延成型具有以下優(yōu)點(diǎn):
①可制備單相或復(fù)相陶瓷薄片材料;
②缺陷尺寸小;
③產(chǎn)品成分起伏小,性能穩(wěn)定;
④生產(chǎn)效率高,可連續(xù)操作;
⑤均可大、小批量生產(chǎn),適于工業(yè)生產(chǎn);

⑥適于成型大型薄板陶瓷,容易制造各種尺寸和形狀的壞體,保證坯體質(zhì)量。

2.流延成型的分類

按漿料選用的溶劑及有機(jī)添加物不同,流延成型分為非水基流延(即有機(jī)溶劑流延)成型和水基流延成型。

表 常用的分散劑和粘結(jié)劑

一文了解流延成型工藝技術(shù)

1)有機(jī)流延

有機(jī)流延成型具有添加劑選擇范圍廣,漿料粘度低,溶劑揮發(fā)快,干燥時(shí)間短,所得生坯內(nèi)部結(jié)構(gòu)均勻,表面平整,強(qiáng)度高,柔韌性好,便于切割和加工等優(yōu)點(diǎn),目前在工業(yè)生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室中得到廣泛應(yīng)用。

有機(jī)溶劑流延成型采用的是具有一定毒性的有機(jī)溶劑(苯、甲苯、二甲苯、丁酮等),對(duì)環(huán)境的污染較為嚴(yán)重,且危害身體健康,成型后坯體中仍存有大量的有機(jī)物,后期的排膠過(guò)程容易引起坯體開(kāi)裂及變形;干燥過(guò)程中,陶瓷粉體發(fā)生沉降,坯體上下表面形成密度梯度,且上表面易產(chǎn)生裂紋,光澤度差。

2)水基流延

水基流延以水作為溶劑,以水溶性高分子作為粘結(jié)劑,克服了有機(jī)流延體系對(duì)環(huán)境有危害、成本高、成品密度低等缺點(diǎn),適合應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)。但水基流延體系存在主要問(wèn)題:
① 水的揮發(fā)速度慢,流延膜片不易干燥,特別不適合較厚坯片的流延;
②干燥收縮過(guò)程中各向異性明顯,容易引起開(kāi)裂;
③由于氫鍵的存在,粉體多團(tuán)聚;
④流延的坯片柔韌性較差,強(qiáng)度不高,容易出現(xiàn)裂紋缺陷;

⑤有些陶瓷粉末如氮化鋁等會(huì)與水發(fā)生水合反應(yīng),影響漿料的流變性及最終的坯體成分。

因此,水基流延漿料的制備尤為重要,需要選擇合適的粘合劑、增塑劑以及流延工藝參數(shù)。

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圖 SOFC電解質(zhì)流延成型,來(lái)源:Jülich

隨著流延成型技術(shù)的不斷改進(jìn)和完善,近年來(lái)研究和開(kāi)發(fā)了凝膠流延成型、紫外引發(fā)聚合流延成型、等靜壓流延成型等一系列特殊的流延成型方法。

3.流延成型的應(yīng)用

流延成型法由于具有設(shè)備簡(jiǎn)單、可連續(xù)操作、生產(chǎn)效率高、坯體性能均一等特點(diǎn),已成為制備大面積、超薄陶瓷基片的重要方法,被廣泛應(yīng)用在電子工業(yè)、能源工業(yè)等領(lǐng)域,如制備電子封裝用 Al2O3、AIN、Si3N4?等陶瓷基板,壓電陶瓷膜片,結(jié)構(gòu)陶瓷薄片,多層電容器(MLCC)的介質(zhì)膜片、高低溫多層共燒陶瓷(HTCC/LTCC)的生瓷帶,固體燃料電池(SOC)的電解質(zhì)薄膜等。

資料來(lái)源:

1.流延成型技術(shù)的研究進(jìn)展,謝雨洲,等.

2.陶瓷薄片的流延成型工藝概述,宋占永,等.

3.結(jié)構(gòu)陶瓷,謝志鵬.

11月22-30日,第二屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇將于石家莊舉辦,屆時(shí),河北東方泰陽(yáng)總經(jīng)理吳昂先生將做《電子封裝陶瓷基板流延成型工藝及裝備》的主題報(bào)告演講,為行業(yè)帶來(lái)國(guó)產(chǎn)先進(jìn)流延解決方案。歡迎各位行業(yè)朋友與會(huì)交流!

推薦活動(dòng):【邀請(qǐng)函】第二屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇(11月22-23日·石家莊)
第二屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇
The 2nd Ceramic Packages Industry Forum

2024年11月22-23日

河北·石家莊
河北翠屏山迎賓館
HeBei Cuipingshan Guesthouse

地址:石家莊市鹿泉區(qū)迎賓館街8號(hào)

一、會(huì)議議程

 

會(huì)議簽到

11月21日

14:00-18:00

會(huì)議簽到

11月22日

07:30-08:45

會(huì)議簽到

會(huì)議報(bào)告

會(huì)主席兼報(bào)告嘉賓主持人杉 研究員 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第13研究所

11月22日

時(shí)間

演講主題

演講嘉賓

08:45-09:00

開(kāi)場(chǎng)

艾邦創(chuàng)始人 江耀貴

09:00-09:30

系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)用陶瓷基板技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化

華中科技大學(xué) 教授/武漢利之達(dá)科技 創(chuàng)始人 陳明祥

09:30-10:00

超快激光AOD技術(shù)顛覆HTCC/LTCC精密鉆孔

德中(天津)技術(shù) 戰(zhàn)略發(fā)展與市場(chǎng)總監(jiān) 張卓

10:00-10:30

茶歇

10:30-11:00

厚薄膜混合型HTCC工藝技術(shù)的開(kāi)發(fā)

六方鈺成 董事長(zhǎng) 劉志輝

11:00-11:30

高可靠封裝的機(jī)遇與挑戰(zhàn)

睿芯峰 副總經(jīng)理 陳陶

11:30-12:00

電子封裝陶瓷基板流延成型工藝及裝備

河北東方泰陽(yáng) 總經(jīng)理 吳昂

12:00-13:30

午餐

13:30-14:00

基于陶瓷材料在半導(dǎo)體器件封裝技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用

北京大學(xué)東莞光電研究院 鄭小平 研究員/項(xiàng)目總監(jiān)

14:00-14:30

B-Stage膠與芯片等溫空腔封裝工藝設(shè)備及其特點(diǎn)

佛大華康 高級(jí)工程師 劉榮富

14:30-15:00

薄膜技術(shù)在電子封裝中的應(yīng)用

七星華創(chuàng)微電子 工程師 任凱

15:00-15:30

Ceramic seed layer metallization 陶瓷種子層金屬化工藝技術(shù)

友威科技 經(jīng)理 林忠炫

15:30-16:00

茶歇

16:00-16:30

無(wú)鉛玻璃漿料在陶瓷和半導(dǎo)體封接中的應(yīng)用

上海越融科技 總經(jīng)理 崔煒 博士

16:30-17:00

高性能氮化硅陶瓷產(chǎn)業(yè)技術(shù)和應(yīng)用發(fā)展現(xiàn)狀

中材高新氮化物陶瓷 首席專家 張偉儒

17:00-17:30

信諾超分散劑在粉體材料納米化及氮化硅陶瓷漿料中的應(yīng)用

嘉智信諾 董事長(zhǎng) 陳永康

17:30-18:00

高品質(zhì)氮化硅粉體燃燒合成技術(shù)新進(jìn)展

中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所/中科新瓷 高級(jí)工程師/總經(jīng)理 楊增朝

18:00-21:00

答謝晚宴

11月23日

時(shí)間

演講主題

演講嘉賓

09:00-09:30

傳感器技術(shù)的發(fā)展及陶瓷封裝的應(yīng)用趨勢(shì)

鄭州中科集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院 先進(jìn)封測(cè)中心主管 周繼瑞

09:30-10:00

鈣鈦礦型鐵電介質(zhì)陶瓷開(kāi)發(fā)及應(yīng)用 電子科技大學(xué) 唐斌 教授

10:00-10:30

陶瓷材料的玻璃連接工藝及機(jī)理研究 長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) 副院長(zhǎng) 朱巍巍

10:30-11:00

封接玻璃粉的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用 天力創(chuàng) 項(xiàng)目經(jīng)理 于洪林

11:00-11:30

集成電路陶瓷封裝外殼仿真設(shè)計(jì) 電子科技大學(xué) 研究員 邢孟江

11:30-13:30

午餐

贊助&參會(huì)報(bào)名請(qǐng)聯(lián)系李小姐:18124643204(同微信)

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?

贊助及支持企業(yè):

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二、報(bào)名方式

方式一:加微信

李小姐:18124643204(同微信)

郵箱:lirongrong@aibang.com

掃碼添加微信,咨詢展會(huì)詳情

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注意:每位參會(huì)者均需要提供信息
方式二:長(zhǎng)按二維碼掃碼在線登記報(bào)名

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作者 gan, lanjie

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