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近日,化合積電聯手北京科技大學、中國科學院電工研究所、西安交通大學發表的學術論文“Enhancing interfacial heat conduction in diamond-reinforced copper composites with boron carbide interlayers for thermal management”,在材料領域國際知名期刊Composites Part B: Engineering上發表,該期刊由英國Elsevier Ltd出版,具有很高的學術影響力和認可度。

 

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
 

作者:北京科技大學崔帥,北京科技大學孫方遠教授、中國科學院電工研究所王大正博士和化合積電聯合創始人/CEO張星等

 

 

該研究使用化合積電制備的<001>取向、尺寸為10mm×10mm×1mm的高導熱性單晶金剛石基板作為基底,通過引入碳化物修飾層有效地將金剛石顆粒與銅基體連接,改善界面結合,顯著增強界面熱傳導,提高了金剛石和銅襯底的界面熱導。該研究突破了界面優化對多層材料熱性能影響研究較為空白的現狀,為增強納米尺度界面上熱交換提供了更深入的理論基礎,對未來制造銅/碳化硼/金剛石多層材料實際應用提供了可參考建議。

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化合積電采用微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)的方式生長單晶金剛石,為該研究打下良好基礎。長期以來,公司始終秉持開放合作理念,和國內外眾多知名高校及頂尖實驗室建立了緊密合作,通過資源共享、優勢互補,與合作伙伴們共同攻克了一系列技術難關,加速了金剛石半導體材料從實驗室走向產業化的步伐。

 

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
海外部分合作高校及實驗室

 

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
國內部分合作高校

 

 

 

定制化單晶金剛石

滿足多領域科研需求

 

Appliacation

 

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
 

單晶金剛石(熱學級、光學級、電子級)是化合積電的核心產品之一,具有所有材料中最好的導熱性(高達2200W/m.k)以及高硬度、高化學穩定性、高光學透過性、極寬的禁帶寬度、負的電子親合性、高絕緣性和良好的生物兼容性等優異性能,在超精密加工、半導體、航天航空、核能源等高新技術領域擁有廣泛應用發展前景,成為了多領域科研前沿的熱門研究材料。

 

化合積電采用MPCVD生長方式制備高品質單晶金剛石,提供定制化尺寸、粗糙度、晶向、摻雜等定制化服務,為不同領域科研探索關鍵技術支撐。

 

序號

技術參數

技術指標

1
尺寸
10*10mm,15*15mm,1寸等,可定制
2
厚度
50um-2mm;可定制
3
晶向
(100)/(110 )/(111)
3
表面粗糙度
Ra<1nm;Ra<30nm
4
氮含量
N <50ppb
5
硼含量
輕摻:1015?~1017
重摻:1018?~1020
6
平面度TTV
<10um
7
光學透過率
>70??%
 

 

 

高品質單晶金剛石

“硬核指標”新突破

 

Parameters

 

單晶金剛石晶體質量

 

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
化合積電的電子級單晶金剛石產品的拉曼特征峰FWHM低至2.1cm-1XRD搖擺曲線半高寬低至31.6arcsec。

 

 

單晶金剛石位錯密度與氮含量

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
X射線衍射形貌術(XRT)檢測下化合積電的電子級單晶金剛石產品的位錯密度<103/cm,達到了電子級單晶的位錯密度水平。

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順磁共振(EPR檢測下化合積電的電子級單晶金剛石產品氮含量<50ppb

 

 

表面粗糙度

 

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
AFM原子力檢測和白光干涉儀進行表面粗糙度檢測,Ra<1nm。

 

 

厚度

 

應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
化合積電單晶金剛石最薄厚度能夠達到0.05mm。

 

 

 

化合積電核心產品除了高品質單晶以外,還有多晶金剛石(晶圓級金剛石、金剛石熱沉片、金剛石窗口片、金剛石基異質集成復合襯底)和氮化鋁薄膜(金剛石基氮化鋁、硅基氮化鋁和藍寶石基氮化鋁)等,并可根據客戶要求提供定制化服務。

 

自創立以來,公司同多所海內外高校及頂尖實驗室建立了戰略聯盟開展深度合作,堅持以市場為導向、“產、學、研、用”四位一體,積極整合優勢資源,為金剛石科研前沿貢獻力量。

 

 

 

 

 

 

 

原文始發于微信公眾號(化合積電):應用突破|化合積電聯合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題

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作者 gan, lanjie

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