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2024 年 12 月 10 日,日本特殊陶業株式會社(Niterra)的全資子公司株式會社NTK CERATEC(NTK CERATEC CO., LTD.)在宮城縣富谷市舉行了新工廠奠基儀式。該工廠將生產靜電吸盤和結構陶瓷產品,以滿足對半導體不斷增長的需求,計劃于 2026 財年開始運營。

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靜電卡盤是一種利用靜電吸附原理夾持固定被吸附物的夾具,廣泛應用于半導體核心制程中,是離子注入、刻蝕、氣相沉積等關鍵制程的核心零部件之一。

NTK 在精密陶瓷領域具有豐富的經驗,具備從材料開發到精加工的一體化工藝,主營業務包括半導體/液晶用的零部件、真空卡盤、靜電卡盤/加熱器、耐損耗零部件、耐高溫零部件、制造和銷售的各種精細陶瓷制品等精密機械零件。

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作者 gan, lanjie

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