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PVD真空鍍膜技術及其在陶瓷基板金屬化的應用(附設備供應商名單)
真空鍍膜是指在真空環境下,通過物理或化學手段,將金屬、非金屬或化合物材料轉換成氣態或等離子態,使其沉積于玻璃、金屬、陶瓷、塑料或有機材料等固體材質表面形成薄膜的過程。

PVD真空鍍膜技術簡介

物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD),通過物理手段將固體或液體表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子(等離子體),在真空空間輸運到基體表面并沉積成薄膜的方法,PVD 鍍膜技術主要分為三類,真空蒸發鍍膜、真空磁控濺射鍍膜和真空離子鍍膜。
①真空蒸發鍍膜:加熱膜材使表面組分以原子團或分子團形式被蒸發出來,并沉降在基片表面形成薄膜。
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②真空磁控濺射鍍膜:用高能等離子體轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并沉積在基片表面,經歷成膜過程,最終形成薄膜。
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③真空離子鍍膜:在真空條件下,利用氣體放電使工作氣體或被蒸發物質(膜材)部分離化,在工作氣體離子或被蒸發物質的離子轟擊作用下,把蒸發物或其反應物沉積在被鍍基片表面。
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PVD真空鍍膜在陶瓷基板金屬化應用

根據不同運用環境采用磁控濺射,高功率脈沖磁控濺射,射頻濺射等技術,直接在陶瓷基板表面沉積一定厚度的金屬導電膜或電陽膜,替代傳統工藝,實現高結合強度和綠色生產。

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圖 DPC陶瓷基板工藝流程

(三)

真空鍍膜設備供應商介紹

  • 廣東匯成真空科技股份有限公司(301392)

PVD真空鍍膜技術及其在陶瓷基板金屬化的應用(附設備供應商名單)

廣東匯成真空科技股份有限公司是一家以真空鍍膜設備研發、生產、銷售及其技術服務為主的真空應用解決方案供應商,主要產品或服務為真空鍍膜設備以及配套的工藝服務支持。經過多年技術發展和經驗積累,具備了完整的真空鍍膜設備研發、制造能力以及鍍膜工藝開發能力,可為不同行業客戶提供定制化、專業化的真空鍍膜設備及其工藝解決方案。

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官網:https://www.hcvac.com/
  • 廣東振華科技股份有限公司

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廣東振華科技股份有限公司始創于1992年,總公司位于廣東省肇慶市,是一家集研發、生產、銷售、服務為一體的具有多項自主知識產權的高新技術企業。公司擁有三個生產基地,分別為云桂振華工業園、北嶺生產基地以及藍塘生產基地,占地面積超100畝;并擁有獨立的辦公科研大樓和現代標準化生產車間。廣東振華科技可提供連續式鍍膜生產線、磁控濺射鍍膜設備、陰極電弧離子鍍膜設備、硬質涂層鍍膜設備、精密電子束蒸發鍍膜設備、卷繞式鍍膜設備等真空表面處理設備,是一家綜合大型真空設備制造商。經過多年的發展,廣東振華具備深厚技術沉淀,先后獲得“高新技術企業”“ISO9001質量體系認證”等榮譽認證。2022年獲評國家級第四批專精特新“小巨人”企業。
DPC臥式連續磁控濺射鍍膜生產線適用于陶瓷基板、陶瓷電容、LED陶瓷支架等產品。
官網:https://www.zhenhuavacuum.com/
  • 友威科技股份有限公司

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友威科技成立于2002年,集合一群有多年真空經驗的團隊,積極投入真空濺鍍制程技術及鍍膜系統設計及開發,以PVD(濺鍍、蒸鍍、蒸濺鍍)、CVD(PECVD、MOCVD、ThermalCVD)、Dry etching(ICP、RIE、Ion beam、Micro wave)技術本位出發,與客戶共同討論開發新應用,共同研究薄膜特性、制程硬件開發、可提供測試樣品、量產系統規畫、自動化設計、并可現有設備改造、功能提升,另提供專業客戶服務團隊可以滿足全方位一條龍的需求。
PVD真空鍍膜技術及其在陶瓷基板金屬化的應用(附設備供應商名單)
友威科技服務產業跨足3C電子產業、PCB產業、鞋業、太陽能產業、光學產業、半導體IC產業、封裝產業、觸控產業、生物科技產業、車用零配件產業、LED產業、水五金產業等… 設備制造。
官網:https://www.uvat.com/
  • 北京北方華創真空技術有限公司

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北京北方華創真空技術有限公司擁有六十余年真空熱處理、表面處理裝備研發和制造經驗,公司長期專注于高溫、高壓、高真空技術的研發與成果轉化,自主研發的裝備為新材料、新工藝、新能源等綠色制造賦能,助力各領域繁榮發展。北方華創作為國內高端裝備制造的主力軍,研發的真空熱處理裝備、氣氛保護熱處理裝備、連續式熱處理裝備、晶體生長裝備、鍍膜裝備在金屬及非金屬材料、真空電子、醫療、新能源(光伏、汽車、氫能、儲能)、半導體材料、磁性材料等領域取得廣泛應用。
官網:https://www.naura.com/
  • 愛發科真空技術(蘇州)有限公司

愛發科真空技術(蘇州)有限公司是世界著名的真空設備制造商株式會社ULVAC(愛發科)在中國投資興建的全資公司,于2003年7月在蘇州工業園區設立,總投資1.035億美元,注冊資本3450萬美元,占地面積七萬多平方米。主要為功率器件、化合物半導體器件(功率器件及射頻器件)、傳感器(MEMS、紅外等)、光通信及光電器件、濾波器件(SAW/BAW)、薄膜電路等行業的企業、研究所及大學提供芯片生產及研發的相關設備,同時提供設備及周邊產品的售后服務。工廠于2011年再度擴建,從2012年年初開始,為平板顯示器,太陽電池等制造行業提供世界領先的先進設備。
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官網:https://www.ulvac-suzhou.com/
  • 寧波聚膜新材料科技有限公司

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寧波聚膜新材料科技有限公司(JUMO)成立于2015年,總部位于浙江省第二大城市寧波,由海外學者回國創業成立,是一家專注于真空等離子技術應用、微納米薄膜制備、新型納米功能材料領域的國家級高新技術企業。JUMO公司依托自主知識產權的先進技術,從事真空鍍膜系統集成、真空等離子技術應用、納米薄膜及特種功能薄膜制備整體解決方案輸出,集工藝技術的研發、過程裝備的設計、制造、銷售于一體,為廣大客戶量身提供各類真空鍍膜設備、設備核心部件、納米薄膜工藝技術、鍍膜代工等產品和服務。
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官網:http://www.jumo-vac.com/
  • 廣東騰勝科技創新有限公司

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廣東騰勝科技創新有限公司是一家專業研制、銷售各類真空應用設備、半導體沉積設備、鋰電池材料設備以及納米材料表面處理設備的國家級高新技術企業,在2022年,公司獲評為廣東省“專精特新”中小企業。騰勝所研制的卷繞式真空鍍膜設備、連續式真空鍍膜生產線設備、光學真空鍍膜設備、磁控濺射真空鍍膜設備、電弧離子真空鍍膜設備等多個系列設備,被廣泛應用于動力電池、儲能電池、半導體、光伏、消費電子、航空航天、汽車零件、機械加工、模具制造、新材料等多行業領域。
PVD真空鍍膜技術及其在陶瓷基板金屬化的應用(附設備供應商名單)
官網:https://www.tsvacuum.cn/cn/

……篇幅有限不多做介紹,歡迎留言區繼續補充。艾邦建有陶瓷基板產業群,歡迎涉及汽車、LED、5G、陶瓷封裝、陶瓷管殼、陶瓷基板及覆銅板生產企業;氧化鋁、氮化鋁、氮化硅、氧化鈹、玻璃粉等陶瓷材料企業;金屬銅箔、金屬焊料、金屬漿料等材料企業;陶瓷粉體生產配制設備、陶瓷流延機、拋光研磨設備、打孔設備、填孔設備、印刷機、鍍膜設備、顯影設備、燒結爐、釬焊爐、X-RAY、AOI、超聲波掃描顯微鏡、自動化組裝等加入微信群。

PVD真空鍍膜技術及其在陶瓷基板金屬化的應用(附設備供應商名單)

資料來源:

1.匯成真空招股說明書

3.各公司官網

推薦活動:2025年8月26-28日,第七屆精密陶瓷暨功率半導體產業鏈展覽會將于深圳舉辦!

第七屆精密陶瓷暨功率半導體產業鏈展覽會

2025年8月26日-28日

深圳國際會展中心7號館(寶安新館)

展出2萬平米、1,000個攤位、500多家展商、50,000名專業觀眾;匯聚IGBT/SiC功率半導體產業鏈;熱管理材料產業鏈,精密陶瓷、電子陶瓷、陶瓷基板、薄膜/厚膜陶瓷電路板、陶瓷封裝管殼、LTCC/HTCC/MLCC加工產業鏈等產業鏈上下游企業!

一、精密陶瓷產業鏈:

 

 

1、陶瓷器件及材料:MLCC、LTCC、HTCC、微波介質陶瓷、壓電陶瓷、鈦酸鋇、碳酸鋇、氧化鈦、氧化鋁、氧化鋯、玻璃粉、氮化鋁、LTCC介質陶瓷粉體、稀土氧化物、生瓷帶等;

 

2、精密陶瓷:氧化鋯、氧化鋁、氮化鋁、氮化硅、碳化硅、氧化釔、結構陶瓷、高溫陶瓷、透明陶瓷、陶瓷微珠、新能源陶瓷、陶瓷軸承、陶瓷球、半導體陶瓷(搬運臂、陶瓷劈刀、靜電卡盤、蝕刻環……)、3D打印陶瓷、燃料電池(SOFC)隔膜片、穿戴陶瓷、光纖陶瓷插芯、陶瓷套筒、CIM、生物陶瓷等。

 

3、陶瓷基板及封裝外殼:陶瓷封裝外殼、DPC、DBC、AMB、HTCC基板、LTCC基板、薄膜電路板、厚膜電路板、陶瓷封裝基座、熱沉、氧化鋁、氮化鋁、氮化硅、氧化鈹、莫來石粉體及基板等;

 

4、金屬材料:銀粉、金粉、銅粉、鎳粉、焊料(焊片、焊膏)、MLCC用內/外電極漿料、LTCC銀漿、金漿、鎢鉬漿料、銅漿、靶材、無氧銅帶、可伐合金、金屬沖壓件等;

 

5、助劑:陶瓷和導電漿料用分散劑、黏合劑、增塑劑、絮凝劑、礦化劑、消泡劑、潤滑劑、燒結助劑等;

 

6、設備:

 

陶瓷加工設備:砂磨機、球磨機、真空脫泡機、三輥機、噴霧造粒機、干壓機、流延機、注塑機、3D打印機、模具、干燥設備、研磨機、精雕機、裁片機、激光設備、打孔機、填孔機、絲網印刷機、疊層機、層壓機、等靜壓機、熱切機、整平機、排膠爐、燒結爐、釬焊設備、電鍍設備、化學鍍、噴銀機、浸銀機、端銀機、真空鍍膜設備、顯影設備、去膜設備、蝕刻機、濕制程設備、等離子清洗、超聲波清洗、自動化設備、剝離強度測試儀、AOI檢測設備、打標機;

 

封裝測試設備:貼片機、引線鍵合機、封蓋機、平行縫焊封帽、切筋機、釬焊設備、激光調阻機、網絡分析儀、熱循環測試設備、測厚儀、氦氣檢漏儀、老化設備、外觀檢測、超聲波掃描顯微鏡、X-光檢測、激光打標、分選設備、測包編帶機等;

 

7、耗材:離型膜、載帶(塑料和紙質)、耐火材料、承燒板/匣缽(氧化鋁、剛玉莫來石、氮化硼等)、承燒網、發泡膠、研磨耗材(金剛石微粉、研磨液)、精密網版、清洗劑、電鍍藥水等。

 

二、熱管理產業鏈:

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1、熱管理材料:氧化鋁、氮化鋁、氮化硼、石墨烯、石墨、碳納米管、空心玻璃微珠、導熱粉體、散熱基板、熱沉(鎢銅、鉬銅、氮化鋁、金剛石等)、鋁碳化硅AlSiC、相變材料、導熱凝膠、導熱界面材料、導熱墊片、導熱膠帶、灌封膠、熱管/均熱板;

 

2、散熱器件:半導體制冷片(TEC)、IGBT散熱器(銅、鋁)、大功率晶體管散熱器、通信基站散熱殼體、液態金屬散熱器、插針式散熱器等;

 

3、設備:壓延機、涂布機、分條機、模切機、復卷機、切片機,CNC設備、壓鑄/沖壓設備、熱分析儀器、激光導熱儀、導熱系數儀、強度試驗機、檢測設備、自動化等。

 

三、功率半導體器件封裝產業鏈:

 

1、材料:碳化硅,陶瓷襯板(DBC、AMB)、封裝管殼、鍵合絲、散熱基板(銅、鋁碳化硅AlSiC)、導熱硅凝膠、環氧灌封膠、焊料(預制焊片)、銀膜/銀膏、散熱器(銅、鋁)、功率引出端子(銅端子)、外殼(工程塑料PPS、PBT、高溫尼龍)、清洗劑等;

2、設備及配件:真空焊接爐、貼片機、固晶機、引線鍵合機、X-ray、推拉力測試機、等離子清洗設備、點膠機、絲網印刷機、超聲波掃描設備、動靜態測試機、點/灌膠機、銀燒結設備、垂直固化爐、甲酸真空共晶爐、自動封蓋設備、高速插針機、彎折設備、超聲波焊接機、視覺檢測設備、推拉力測試機、高低溫沖擊設備、功率循環測試設備、打標機、檢驗平臺、治具等;

 

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原文始發于微信公眾號(艾邦陶瓷展):PVD真空鍍膜技術及其在陶瓷基板金屬化的應用(附設備供應商名單)

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作者 gan, lanjie

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