2月6日,武漢蛇年新春“第一會”——全市科技創新大會舉行。大會發布了2024武漢市十大科技創新產品,芯陶科技靜電卡盤入選。
靜電卡盤是芯片制造過程中系列關鍵設備的核心部件,國產靜電卡盤關乎芯片產業鏈安全穩定。湖北芯陶科技有限公司攻克了靜電卡盤用高純超細氧化鋁粉體、有序相多孔陶瓷、貼合膠等核心原料以及靜電卡盤脫泡、燒結、涂布等關鍵工藝技術,研發了多款難度極高的芯片制造用靜電卡盤,打破了國外壟斷,實現芯片制造用靜電卡盤自主可控。
來源:武漢經濟技術開發區
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