2025年2月13日,日本EDP公司宣布成功開發(fā)出全球最大級(jí)別30x30mm以上的金剛石單晶,并基于此推出了30x30mm以下的單晶金剛石基板產(chǎn)品,厚度為0.05~3mm,氮含量在8 ppm以下,單晶金剛石的(100)面偏角3°左右,X射線衍射搖擺曲線的半值寬度為20~80弧秒。
圖 金剛石單晶(32×31.5)
EDP公司此前已經(jīng)推出了尺寸為15x15mm的單晶金剛石基板,對(duì)于更大的基板,過去一直使用由多個(gè)單晶連接在一起制成的鑲嵌晶體(Mosaic Crystal),然而,今后客戶將能夠使用最大30x30mm的單晶基板。這一進(jìn)展將有助于在微細(xì)加工等設(shè)備制造過程中實(shí)現(xiàn)更高的穩(wěn)定性。此外,單晶金剛石具有所有材料中最高的熱導(dǎo)率,因此有望被用作熱沉(Heat Sink),為設(shè)備等散熱。大尺寸晶片的制造有望降低金剛石熱沉的成本,擴(kuò)大其應(yīng)用范圍。
EDP公司還計(jì)劃利用新開發(fā)的金剛石單晶在2025年4月底之前推出1英寸晶圓(直徑25mm),與迄今為止銷售的半英寸晶圓(直徑12.5mm)相比,其面積增加了4倍。該公司計(jì)劃在2025年4月底之前確定1英寸晶圓的表面粗糙度、凹痕形狀和邊緣形狀等晶圓規(guī)格。EDP公司預(yù)計(jì)研發(fā)50×50mm大尺寸金剛石單晶以及2英寸金剛石晶圓需要2~3年時(shí)間。50×50mm以上單晶的開發(fā)有望制造出4英寸的馬賽克晶片(直徑100mm)。

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