LTCC生瓷帶是作為LTCC基板制造的最基本的功能材料和構成部分，是LTCC技術的關鍵，其性能的好壞直接影響到LTCC技術后面工藝及基于LTCC技術的元件、組件的性能。它由陶瓷粉末和有機物組成的綠膠通過流延工藝制備而成。它具有低燒結溫度、低介電損耗、優良的耐高溫性能等特點，在微電子封裝高頻通信和傳感器等領域有廣泛的應用。本文小編將為大家介紹一下低溫共燒陶瓷LTCC生瓷帶的主要成分、制備工藝流程、流延參數等相關知識。

LTCC生瓷帶??拍攝于嘉興佳利

一、LTCC生瓷帶主要成分：?? ?

LTCC生瓷帶是由生瓷瓷漿流延加工得到的，所研究制作的LTCC生瓷瓷漿包含下述主要成分。艾邦建有LTCC交流群，誠邀LTCC生產企業、設備、材料企業參與。

1)玻璃/陶瓷混合粉料。由質量基本相等的硼硅酸鹽(CaO-Al203-B203-SiO2簡稱 CABS)玻璃粉末和氧化鋁(Al203)陶瓷粉末混合而成，粉料直徑 D50=2~3 μm,D90=5.5~7 μm。陶瓷不與玻璃發生反應，只是均勻地散布在玻璃網格中。燒結時，玻璃軟化，包裹住陶瓷粉末,形成致密的結構。

2)分散劑。由脂肪酸和酯混合而成的溶劑，其作用是潤濕粉料顆粒并將它們分開，使之不團聚成塊,并保持均勻懸浮的狀態。

3)粘結劑。采用可在氧化氣氛(大氣)中充分燒除的聚乙烯醇縮丁醛(PVB)樹脂,其作為生瓷帶中唯一的連續相,使粉料顆粒相互保持在一定位置上，從而接合在一起。? ??

4)增塑劑。采用可以軟化粉料顆粒間粘結劑聚合物鏈的丁基苯基酞酸酯,使生瓷帶具有韌度,能夠被彎曲而不產生裂紋，或者不會斷裂，

5)溶劑。由質量相等的丁酮(MEK)和純度95%的工業酒精混合而成。

6)鈷藍陶瓷色料。無機玻璃/陶瓷混合粉料的成分與性能可直接影響到生瓷帶的燒結溫度和燒結后LTCC基板的電學、熱學和力學性能,有機分散劑、粘結劑、增塑劑和溶劑則主要影響生瓷瓷漿的可流延性和流延后生瓷帶的可加工性。

二、LTCC生瓷帶制備工藝流程

1）將陶瓷粉體、玻璃粉與粘結劑、有機溶劑等混合球磨，可制成成份均勻、性能均一的漿料

2）漿料通過脫泡、消泡等，再將漿料均勻的涂或流到襯底上，或通過刀片均勻的刮刀支撐膜上，形成均勻的膜漿將漿料制成生瓷帶，經過干燥形成一定厚度均勻的素坯膜。?? ??

LTCC生瓷片流延工藝流程

三、LTCC生瓷帶流延參數

LTCC生瓷帶的流延工藝參數包括:流延速度、流延溫度、補償劑含量等。流延速度是指流延成型時陶瓷瓷帶在硅基板上的移動速度。流延溫度是指流延成型時的溫度條件。補償劑是為了提高瓷帶的柔韌性和可塑性添加的一種有機物。這些工藝參數對瓷帶的性能具有重要的影響。

四、結束語

流延工藝就是將漿料澆鑄在移動的載帶上，通過一個干燥區去除大部分溶劑后，將所得生瓷帶卷在軸上備用。技術的關鍵是對生瓷帶的致密性、厚度的均勻性和強度的控制。流延法是電子材料工業中一種普遍使用的成型方法，微電子封裝基板生坯片大多采用此法制造。通過控制流延機的流延刀片與PET磨帶的間距，可以得到不同厚度的流延片。

文章參考資料：

https://www.doc88.com/p-7744454090540.html? ? ? ? ??
LTCC生資帶流延工藝研究

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2025年7月3日

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