4月2日，君原電子與東湖高新區(qū)簽約，將在光谷建設半導體靜電吸盤項目。
靜電吸盤作為晶圓生產(chǎn)設備的核心部件之一，是利用靜電吸附、搬運晶圓的陶瓷托盤，如同芯片制造的“隱形手”，用在刻蝕機、光刻機、鍍膜設備上，能固定晶圓，確保其紋絲不動。由于陶瓷材料和精密電極的制造難度高，半導體靜電吸盤生產(chǎn)技術是國內(nèi)企業(yè)在推進芯片制造國產(chǎn)化中需要攻克的重要技術之一。
君原電子成立于2020年，具備半導體靜電吸盤（ESC）從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程能力，其產(chǎn)品覆蓋14納米及以上制程的主要刻蝕機臺應用，已通過國內(nèi)12寸晶圓廠驗證。

光谷筑芯科技產(chǎn)業(yè)園效果圖
此次簽約項目落戶未來科技城光谷筑芯科技產(chǎn)業(yè)園，將建設靜電吸盤產(chǎn)線，就近為光谷集成電路企業(yè)提供靜電吸盤生產(chǎn)與維修服務。
君原電子總經(jīng)理王繼增表示，項目落戶光谷，將進一步拉近與光谷集成電路企業(yè)的距離，降低物流成本，提高產(chǎn)品應用效率。未來公司將與當?shù)禺a(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)協(xié)同合作，不斷突破半導體靜電吸盤技術，力爭成為全球技術領先的集成電路核心零部件供應商。
東湖高新區(qū)負責人表示，將營造更好營商環(huán)境，聚集更多集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)專心、安心在光谷發(fā)展，推動光谷建設“世界存儲之都”“全球化合物半導體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心”。