4月20日，“AI寧波”首屆人工智能賦能產業大賽頒獎典禮順利舉行。沈陽產業技術研究院全資子公司盛科創投投資企業中科金瓷（寧波）新材料技術有限公司“半導體制程核心陶瓷零部件國產化項目”榮獲一等獎。

中科金瓷成立于2023年4月，公司專注于晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等半導體制程陶瓷新材料及相關元器件的研發和產業化，具有從原材料合成與處理、粉料制作、精密成型、燒結、精密和超高精度加工及功能化處理等特種陶瓷和陶瓷基電子元器件全流程技術與制造能力。2024年10月，盛科創投聯合其他社會資本完成對「中科金瓷」數千萬元PreA輪增資。

陶瓷材料在強度、精度、電學性能和耐腐蝕性等方面的優異表現，能滿足真空、高溫等特殊環境下的半導體制造復雜性能要求，是半導體制程中多道工藝設備的重要部件。精密陶瓷零部件廣泛應用于光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、CMP等多個半導體制造關鍵流程的核心設備中，如軸承、導軌、內襯。靜電吸盤、機械搬運臂等，尤其是在設備腔體內部，發揮支撐、保護、導流等功能。在半導體設備中，精密陶瓷的價值約占16%左右。中國在半導體的設計和制造鏈條中起步較晚，積累相對薄弱，精密結構陶瓷受進口壟斷，2015年結構陶瓷國產化率僅約為5%，2021年提高至約20%，但半導體設備用結構陶瓷零部件國產化率仍較低。

中科金瓷緊抓高端產品“國產替代”和核心技術“自主可控”的戰略機遇，致力于建成為半導體制程精密陶瓷材料與部件領域的技術創新型企業。目前公司主要產品包括各類陶瓷結構件、以及晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等精密陶瓷零部件，廣泛應用于半導體制程設備、光伏新能源等多個細分領域，目前多款國產替代產品已進入國內知名半導體設備廠驗證階段。

來源：沈陽產業技術研究院

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