等離子體(plasma)又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產生的正負離子組成的離子化氣體狀物質，廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。

圖中科院合肥研究院等離子體設備(托卡馬克核聚變裝置)

人類制造的最高密度、最高溫度的等離子體設備--全超導托卡馬克核聚變實驗裝置，其運行原理就是在裝置的真空室內加入少量氫的同位素氘或氚，通過類似變壓器的原理使其產生等離子體，然后提高其密度、溫度使其發生聚變反應，反應過程中會產生巨大的能量。

高密度、高溫度的等離子體核聚變是清潔環保能源的新方向。低密度、低溫度等離子設備也廣泛使用在工業生產上。

工業使用等離子體由基態的原子、分子，激發態的原子，分子，自由電子，正負離子，原子團及光子組成，在客觀上顯現中性。等離子體中的帶電粒子可以通過化學或物理作用對工件表面進行處理，實現分子水平的污染物去除(一般厚度為3～30nm)，從而提高工件表面活性。被清除的污染物可能為有機物、環氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對應不同的污染物，應采用不同的清洗工藝，選擇的工藝氣體也不同。

依靠等離子體中活性粒子的“5種作用”，增強粘接、貼合、焊接、涂覆、邦定、除膠效果。

一、那等離子清洗機可以用在哪些領域呢？

消費電子制造領域（例如指紋模組、攝像頭模組、耳機振膜、手機中框、ITO玻璃、塑料配件、其它手機配件等離子清洗改性除靜電、玻璃蓋板上油墨改性、ITO玻璃清洗、玻璃蓋板噴涂AF膜前的清洗）、FPC/PCB領域、LCD領域、IC半導體領域、半導體封裝領域、新能源電池領域、光學儀器、生物醫療、汽車制造領域、制鞋。

二、推介設備：

1.真空等離子清洗機/除膠機/蝕刻機

●用途：

指紋模組、攝像頭模組、耳機振膜、手機中框、ITO玻璃、藍寶石襯底、集成電路引線支架、PCB板盲孔內鉆污、鋰電池隔膜、電子連接器、音箱配件、特氟龍PTFE料、塑料配件、高分子薄膜、馬達電機配件、LCD的ARRAY(玻璃加工)、LCD的CF(玻璃加工) 、鋁箔、銀膜、汽車點火線圈等離子清洗改性除靜電。

● 特點：

A、可以選配13.56MHZ射頻電源、微波電源、中頻電源。

B、 關鍵射頻電源微波電源部件自制，設備性價比高。

● 腔體容積:30-3000升。

● 使用氣體 :氬氣(AR)/氮氣（N2)/壓縮空氣（CDA）/CF4/等氣體。

● 可定制在線真空等離子清洗機來連接客戶流水線，實現自動化。

2.在線式等離子清洗機

●用途：玻璃蓋板上油墨改性、ITO玻璃清洗、玻璃蓋板噴涂AF膜前的清洗、高分子薄膜改性、LCD模組TP貼合前清洗、觸摸屏與觸控膜貼合前清洗，LCD與偏光片貼合前清洗、端子清洗、鋰電池隔膜改親水性、PI定向前清洗、LCD的ARRAY(玻璃加工)加工、LCD的CF(玻璃加工)加工、薄膜表面改性及清潔、手機配件清洗。

●氮氣線性等離子特點：1、等離子溫度63 ℃；2、清洗能力強于壓縮空氣等離子清洗機；3、使用成本低，可以使用制氮機，無需更換等離子頭耗材；4、大族是中國大陸唯一一家能提供該等離子頭的公司。

●氬氣線性等離子特點：1、等離子溫度38 ℃，對芯片及薄膜無損傷；2、清洗能力最強的大氣等離子清洗機；3、 關鍵部件自制，性價比最高；4、等離子頭不是耗材，無需更換。

●清洗寬幅:20-3000mm。客戶可選配氮氣或氬氣線性等離子頭

3. 點式/旋噴式等離子清洗機

● 用途：

COB/COF/COG端子清洗、新能源鋰電池隔膜 、耳機振膜、手機中框、特氟龍PTFE、塑料配件、指紋模組、薄膜、馬達電機配件、ITO玻璃、LCD的ARRAY(玻璃加工)加工、LCD的CF(玻璃加工)加工、手機各類配件等離子清洗，音箱配件除靜電。

● 特點：

A、、可以選配微波電源/中頻電源。

B、 關鍵微波電源部件自制，設備性價比高

C、工作距離4-20mm,火焰直徑7-50mm,寬幅直線模組可調。

● 使用氣體 :壓縮空氣（CDA）

4. 等離子 + AF噴涂機

是手機玻璃蓋板、鋼化硬膜、鋼化玻璃硬膜、防爆膜必備的后段生產設備，行業名稱叫常壓AF、AF疏水設備、AF防指紋涂層設備、AF噴涂機、AF等離子噴涂機、AF鍍膜機等。

● 用途：

玻璃蓋板噴涂AF防指紋膜，過程是先清洗再噴涂，所有蓋板廠都要使用。

● 特點：

A、可選用大族線性氬氣等離子或者氮氣等離子清洗頭；

B、等離子清洗頭等關鍵部件自制，性價比行業內最高。

● 清洗噴涂寬幅:20-3000mm。

● 使用氣體 :氬氣（Ar）,氧氣（O2）/氮氣（N2)

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