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以下文章來源于九章智駕 ,作者蘇清濤


本文是FMCW激光雷達科普系列的第二篇,點擊超鏈接查閱上一篇:FMCW激光雷達科普(上):基本概念、技術路線、優勢及爭議和誤解。


FMCW激光雷達主要由激光器、探測器、相干光路及掃描部件構成。這些關鍵部分,最值得關注的是以下幾點——

 

一.激光器波長:1550

 

1.為什么是1550?

 

目前,TOF激光雷達的激光器以905納米為主,Luminar、圖達通及一徑科技等用的是1550納米,而FMCW激光雷達的激光器,則全部都是清一色的1550納米。那么,其中的緣由是?

 

洛微CTO Andy Sun說:我們做任何一個產品,首先要看供應鏈的成熟度吧,因為你不可能所有零部件都自己造。

 

具體到FMCW激光雷達,從原理上來說,激光器不是非得用1550nm,905nm也可以,并且,用1550nm做還是905nm做,技術上沒有本質區別;只不過,在光通信領域,跟FMCW搭配的都是基于1550nm波段的器件,這些器件的供應鏈相對成熟,成本也可控,相比之下,基于905nm做FMCW的成本就太高了。

 

此外,考察連續光的人眼安全要求,1550nm的光功率上限要比905nm大40倍,在FMCW的相干放大原理下,理論上1550nm可以比905nm測試40倍遠的距離。

 

多家FMCW激光雷達公司的創始人及技術負責人均認可“供應鏈成熟度”這一說法。

 

其中,一位技術負責人說:FMCW要保證回光能和本地光進行干涉,只有干涉了才能檢測到目標,因此,對激光器的“相干性”要求很高(哪怕回光和反射光之間有幾微秒的時延,也有很好的相干性)。在業界,相干性比較好的激光器別被稱為“窄線寬激光器”,而現階段,窄線寬激光器只有基于1550納米的。

 

此外,這位負責人還說,FMCW激光雷達需要提高集成度,可高集成度的多通道產品通常要基于硅光做,而硅光只能跟1550搭配。

 

不過,摯感光子IC設計總監吳雷說,他們用的激光器是1310的納米的,“通信里面對這種激光器用量很大,很便宜”。

 

話說,用于FMCW激光雷達上的激光器,跟用在TOF激光雷達上面的1550納米激光器,材質是相同的(磷化銦),但結構并不一樣——FMCW要求窄線寬(保證自相干性)、低噪聲,這就導致兩者的性能、良率、成本等完全不一樣。

 

一位從業者業稱,目前,FMCW激光雷達的1550激光器要比用于TOF的1550激光器貴得多,國內還沒有能夠量產的。

 

2.1550納米激光器的優點

 

1550納米激光器的優點,在關于TOF激光雷達的介紹中已經提得很多了,最關鍵的一點就是:不會影響人眼安全,因而可以把功率做得很高,進而實現比905納米激光器更長的探測距離。

 

此外,哪怕在TOF中,1550克服陽光噪聲的能力也比905強。

 

3.1550納米激光器的缺點及存在的爭議

 

(1)成本太高,且短期內很難降下來

 

1550納米激光器使用的材料不是硅CMOS,而是磷化銦,并且,它還需要外部電源和復雜的電子控制裝置,因此,成本居高不下。此外,1550納米激光器還需要跟昂貴的銦鎵砷 APD配對使用。

 

某激光雷達廠商架構師認為,1550盡管在光通信領域中的用量已經不小了,但成本也沒有降下來,因此,很難指望在激光雷達中就能降下來。

 

這位架構師說:“你有幾百萬臺的量之后,相比于目前的幾百幾千臺,成本肯定可以低不少,但相比于905,它還是要貴得多。這就類似于,你不能說金戒指我買很多,它的價格就能降到銅戒指的水平吧?這是由材料的物理特性決定的?!?/p>

 

(2)容易被水霧吸收,在雨天無法正常工作

 

多數激光雷達廠商在跟《九章智駕》交流的過程中都提到,1550納米激光器很容易被水霧吸收(幾毫米厚的水層就可以把1550納米激光的能量全部吸收,在光通信領域中的專業名詞是“水空吸收”),難以被反射回來,因而在雨天難以正常工作。

 

一位不愿具名的FMCW激光雷達公司創始人說:
“我們圈子的人都是睜著眼睛說瞎話,說什么1550‘穿透能力好、抗干擾能力強’。我做過測試,往墻上潑水,在1550納米激光器的眼里,墻是黑乎乎的一片,水流下來之后就好了。

“多次實驗表明,只要遇上兩毫米的水薄膜,我們的FMCW激光雷達就瞎了。這個問題是無解的。因此,FMCW激光雷達只能在陰天、晴天和小雨天用,大雨天就用不了?!?/p>

 

某TOF激光雷達廠商負責人也說,1550對人眼安全影響小的原因正是它容易被液態水吸收——激光還沒有打到視網膜,就被眼球里面的水給吸收了;而容易被液態水吸收,確實也會導致,在地面車道線上有水、行人身上的衣服被淋濕的情況下,使用1550納米激光器的激光雷達就測不了,或者是探測能力下降。

 

但光勺科技CEO姚建并不完全認可上述說法。姚建說:“FMCW的相干有兩種,一直是調頻,一直是調相。如果是調頻,那1550納米激光器受雨水的影響確實比較比較大,比如,探測距離從平時的500米衰減到50米;但我們用的調相技術,遇到大雨天氣,探測距離還能達到平時的的50%左右?!?/p>

 

不過,某FMCW激光雷達公司CEO奚先生則說:“在TOF中,1550納米激光器易被雨霧吸收,會導致探測距離大大衰減,并且產生嚴重的噪點;而在FMCW中,有用使用相干檢測,信噪比更高,因而,在同樣使用1550nm激光,激光雷達穿透雨霧產生穩定點云的能力會更強?!?/p>

 

此外,洛微CTO Andy Sun認為,只看不同波段對水的吸收率是不完整的,因為,激光在遇見雨水后,被吸收只是一部分情況,還有很多變化是跟散射、折射相關的,在這兩部分,不同波長的表現也是不一樣的,比如短波的散射更強,因此要綜合考慮。

 

Andy Sun稱,2019年法國科研團隊做了大量的理論分析和實驗,結果發現,其實905nm和1550nm兩個波段的激光器在雨霧天的表現是差不多的——1550nm的總體吸收率只比905nm高不到10%。這完全被人眼安全的考慮下1550nm可以提供更大出光功率的優勢所掩蓋。

 

某FMCW激光雷達公司CEO奚先生也提到了這組來自法國的實驗。

 

但無論如何,沃爾沃、奧迪這些已經算是很保守的車企,都計劃用Luminar基于1550的TOF激光雷達了,這或許意味著,在這些車企眼里,1550在雨天無法正常工作,并不算是一個多嚴重的問題?

 

(3)并非絕對能確保“人眼安全”

 

采訪中,筆者提到一個問題:如果幾輛搭載激光雷達的自動駕駛車輛聚集在一起,激光同時發射,正好匯集到一起,正對著人眼了,那瞬時功率就很高了,應該也會影響人眼安全?

 

對此,某TOF激光雷達廠商負責人的回答是:905納米功率大的話是會傷害到視網膜,但視網膜類似于手機的感光圖像的一個像素,激光從不同的地方打過去,影響到的是視網膜上不同的像素,因此,哪怕功率比較高,也不會把這幾千萬個像素都燒壞;而1550就不一樣了,要燒壞,就整個區域都燒壞了——人眼對905納米波段的敏感點在于其打在某個像素上的能量,而對1550納米波段的敏感點在于其總能量。

 

簡言之,1550納米激光器其實也存在人眼安全問題——激光是沒打到視網膜,但被角膜吸收了,如果功率過高,角膜也會受傷。

 

二.激光器和探測器的芯片化、集成化

 

1.單光子、通道數與點頻

 

在采訪的過程中,《九章智駕》反復問到一個問題:FMCW激光雷達會像一些TOF那樣有許多個激光器,還是只有一個激光器?多數人的答案都是:理論上,激光器也可以有幾十個、上百個,但在實踐中,廠商們出于成本考慮,往往只會用1個激光器,FMCW激光雷達也被稱為“單光子激光雷達”。

 

不過,盡管激光器的數量很少,但在分光器的協助下,實際發出的線數卻可以很多,如Mobileye的FMCW激光雷達,號稱是184線。激光器的數量也許不止一個,但肯定不會有幾十、上百。

 

洛微CTO Andy Sun說:“能使用多少個通道,跟激光器的總光功率和分光器的何設置處理有關。”(需要注意的是,發射端可以只有一個激光器,但在接收端,探測器的數量跟通道數是完全一致的。)

 

“用分光器把一束光分成成百上千束,這會不會導致每一束光的功率過低?”當筆者向某激光雷達公司創始人提出這個疑問時,對方的回答是:“我在前端把功率提高不就行了?我1個1瓦的分成10束,跟你用10個100毫瓦的,總功率不是一樣的嗎?不過,前者的成本肯定要比后者低得多。 ”

 

在TOF激光雷達中,總點頻=單個激光器的發射頻率X激光器的數量,那么,在FMCW中,激光器的數量會不會限制了點頻?

 

按某TOF激光雷達廠商負責人的說法,FMCW激光雷達的點頻確實比TOF低,但原因并不在于激光器的數量更少,而在于“TOF測距一次需要2微秒,而FMCW測距一次需要20微秒”。

 

對此,某FMCW激光雷達公司CEO奚先生的解釋是:不同于TOF,FMCW激光雷達的點頻并不依賴于激光本身的發射頻率,而是依賴于后端信號調制解調的數據處理速度。因為激光持續在發射,后端的數據處理也在持續,后端的數據處理越快,前端產生的點頻就越多。

 

簡單地說,TOF激光雷達的點頻是“供給推動型”,而FMCW激光雷達的點頻則是“需求拉動型”。

 

不過,不管怎么說,FMCW激光雷達的點頻比TOF低,卻是大家都承認的事實。

 

對這個問題,光勺科技CEO姚建的說法是:我們現在可以做到每秒10-15幀,做到這個程度就夠用了。對TOF激光雷達來說,是點頻越高越好,但對FMCW激光雷達來說,因為每個點都有速度信息,不惜一切代價把點云密度做高的意義不大。

 

(為什么有了速度信息,點云密度就沒有那么重要了?請參考本系列的第一篇文章《FMCW激光雷達科普(上):基本概念、技術路線、優勢及爭議和誤解》)

 

而洛微CMO賀潤芃的說法則是:FMCW激光雷達因為信噪比更高,所以,哪怕分辨率(點云密度)沒那么高,也可以實現很好的探測效果。

 

簡言之,速度維數據和信噪比,共同降低了FMCW激光雷達對點頻的要求。

 

2.低成本的探測器

 

不同于TOF激光雷達的探測器要用成本高昂的APD(雪崩光二極管)和SPAD(單光子雪崩光二極管),FMCW激光雷達的探測器只需成本更低的PIN就可以了。 為何?

 

據摯感光子IC設計總監吳雷介紹,在TOF中,光束發出去之后,信號會有近100db的損耗,為保證探測效果,探測器需要將折損了的信號放大,這個放大系數,被稱為“增益”,APD和SPA便屬于增益比較大的探測器,因而比較貴;而在FMCW中,光束在發出去之前,留了一半在本地,盡管回光也有折損,但本地光還在,這兩部分一結合,就把光信號給放大了(光學芯片里面已經有增益了,這被稱為“相干增益”)。

 

此外,在TOF中,APD在將信號放大的同時,把噪音也給放大了,相比之下,FMCW中,“相干增益”是不帶噪聲的。

 

因此,在FMCW激光雷達中,增益很小、也更便宜的探測器已足以“勝任”。

 

3.將探測器跟激光器集成到一起

 

現在,禾賽、Ouster等TOF激光雷達廠商都在談激光收發的芯片化,那么,FMCW激光雷達收發模塊的芯片化是怎么做的呢?

 

在TOF激光雷達中,哪怕實現了很高的集成度,探測器和激光器都是部署在不同的芯片上,那么,在FMCW中,探測器和激光器有可能被集成到同一個芯片上嗎?在本系列訪談中,《九章智駕》反復追問了這個問題。

 

答案無一例外是:可以。

 

據某TOF激光雷達廠商負責人介紹,目前,FMCW激光雷達探測器已經可集成到硅光芯片(該硅谷芯片上集成了分光器、調頻器、偏振控制、相干混頻陣列等功能)上了,大多數廠商都是這么做的,而激光器是三五族產品,沒法直接集成到硅光芯片中;不過,激光器在另一塊晶圓上加工好之后,可以再通過一些特殊工藝被貼到硅光芯片上。

 

洛微CTO Andy Sun說,目前廠商們的做法是,將激光器獨立封裝,然后通過光纖耦合到硅光芯片上,這種工藝被稱為“激光器外置”。Andy Sun認為,激光器外置只是個過渡形態,英特爾等公司已經在朝著“激光器內置”的方向發展了。

 

某國內FMCW激光類公司CEO奚先生也說,他們目前正在探索將探測器和激光器集成到同一顆ASIC芯片的工藝,“首先實現收發模塊的芯片化”。

 

據摯感光子IC設計總監吳雷介紹,摯感光子也已經自研開發了集成光學芯片及與其配套的光學模組(集成激光器,探測器及鏡頭),并在開發ASIC電芯片(集成模擬前端及數字信號處理),首先實現收發器的芯片化。

 

不過,今年5月份,微源光子董事長兼總經理朱曉琪在題為《從硅光通信技術看FMCW lidar的集成挑戰》的演講中指出,要將三五族的激光器芯片跟硅基芯片集成到一起,難度非常大?!安还苁枪饫w輸出的波導,還是直接輸出的波導,它們的模場都遠遠大于硅基單模波導模場,同時,這些材料的系數完全不同。”

 

Andy Sun、朱曉琪等人都承認,英特爾公司已經有辦法把激光器集成到硅光芯片中去了。他們說:“這是英特爾的專利”。

 

據朱曉琪在演講中的說法,在英特爾的方案中,激光器發光部分本身仍是III-V材料,但通過硅晶圓工藝和硅光集成到一起,被稱為“異質集成”。這種方案的工藝是:
1).拿一個硅的晶圓,在晶圓上做好掩埋層跟單晶硅以后,在單晶硅上刻蝕單模波導;
2).準備一個外延片,包括襯底,把延片切成一個一個的芯片;
3).把該芯片倒裝貼在做好的硅單模波導上,做好以后先要用一些化學辦法把InP襯底去掉,然后去做刻蝕;
4).摻雜n極,做n極的電鍍,p極和p極的電鍍,做一些等離子的退火;

5).在已經做好的單模波導上出光。

 

Andy Sun說,從長期看,大家都是要把激光器跟探測器集成到同一顆硅光芯片上的。目前各大提供硅光工藝的代工廠(Foundry),也正在開發各自的激光器集成工藝,相信很快會有相應的工藝選擇出現。某TOF激光雷達廠商負責人也認為,如果能避開英特爾的知識產權,這種工藝,其他廠商最終也是有可能搞定的。

 

不過,Andy Sun也承認,將激光器集成到硅光芯片上的難度很高。他說,英特爾這種方案的代價是,芯片的效率不高,而且能達到的峰值功率不高,“所以它可能需要集成很多個激光器在上面”。

 

對英特爾這種方案,朱曉琪的觀點跟Andy Sun一致。

 

朱曉琪在演講中說:“硅的波導仍然有一個尺寸特別小、模場做不大的限制,因此即便能夠通過這樣的方案出光,出的光也非常非常小——我看到文獻以及報道一般都不到10毫瓦,同時量子效率也非常非常低,只能拿來做一些短距離的傳輸,如果要用它做一些大出光,實際上非常難。”

 

朱曉琪也承認“英特爾做得比較好”,但他并不太看好其他廠商復制這條道路的前景。“工藝難度非常高,激光器的出光功率非常非常低,也不適合做FMCW激光雷達。”

 

4.光學鏡頭跟激光器、探測器集成到到一起

 

姚建此前在一次演講中提到,TOF激光雷達由于體制限制,除了信號處理及MEMS掃描外,其他部分很難芯片化。言外之意,光學鏡頭也很難被芯片化。那么,在FMCW激光雷達中又是怎樣的情況呢? 在本系列訪談中,這也是一個被《九章智駕》反復追問的問題。

 

某FMCW激光雷達公司CEO并不認同“TOF中的光學鏡頭無法被集成化”這一說法,在他看來,哪怕在TOF中,光學鏡頭也是可以被集成化的。“單晶硅的光學化技術就可以用于光學鏡頭的半導體化,這跟激光雷達是TOF還是FMCW是沒有關系的。”

 

但無論如何,大家一致認為,在FMCW中,光學鏡頭是可以被芯片化的。

 

某不愿具名的FMCW激光雷達公司創始人說:“光學鏡頭是可以被芯片化的,“有個專業名詞叫‘麥卡倫斯超透鏡’,就是把鏡片做得很薄很薄,然后貼在芯片上就行了,相當于把兩個硅片黏在一起,但這個技術目前還不成熟”。

 

Andy Sun說:“實際上,用OPA做掃描的時候是不需要單獨的鏡頭的,因為OPA的陣列本身就是鏡頭,有入光孔和出光孔。”某TOF激光雷達廠商負責人也持同樣的觀點。

 

三.掃描方案&掃描與收發的集成

 

1.掃描方案:OPA是終極形態

 

TOF激光雷達的掃描方式有轉鏡、MEMS、棱鏡、Flash和MEMS等,那FMCW呢? 比較明顯的是,目前,多數FMCW激光雷達廠商都選擇了OPA掃描方案。

 

不過,諸多受訪者都認為,上述掃描方式均可跟FMCW搭配,某FMCW激光雷達公司創始人說:“你可以說FMCW天生更搭配OPA掃描,但是沒有OPA掃描,不代表FMCW就做不出來,它可以用轉鏡、也可以用MEMS、棱鏡?!?/p>

 

如國內某公司目前的FMCW及激光雷達就采用了雙棱鏡掃描、MEMS掃描,摯感光子采用了棱鏡掃描,而光勺科技目前用的是機械掃描,明年會換成MEMS(光勺自己只做收發系統,掃描系統是外購的)。

 

姚建說:“要做長探測距離,OPA只能跟FMCW搭配,但FMCW不一定非得跟OPA搭配?!?/p>

 

不過,各受訪者一致認為,OPA是FMCW激光雷達最理想的掃描方案,“是終極形態”。

 

為什么大家如此看好OPA,它的優勢在哪里?

 

OPA即光學相控陣,通過對陣列移相器中每個移相器相位的調節,利用干涉原理(類似的是兩圈水波相互疊加后,有的方向會相互抵消,有的會相互增強))實現激光按照特定方向發射。

 

FMCW激光雷達科普(中):激光器、探測器與掃描
(上圖摘自《智駕在前沿》)

包括摯感光子IC設計總監吳雷在內的多位專家都認為,OPA沒有機械部件,是真正的固態掃描。

 

除OPA外,TOF激光雷達的Flash也被認為是“純固態”,但實際上,Flash發射的是面陣光,沒有獨立的掃描部件。OPA與Flash的關鍵區別在于,“Flash像手電筒一樣,一下打出來就是一個面,光的能力比較分散,每個點上的能量很小,因而探測距離比較短;而OPA是點掃描,能力比較集中,因而可在同等功率下更實現更長的探測距離”。

FMCW激光雷達科普(中):激光器、探測器與掃描
(上圖摘自《智駕在前沿》)

姚建的解釋是:人在看東西的時候,盡管視場角很大,但有一個蚊子飛過來時,我的眼光馬上就聚焦(凝視)到這只蚊子身上了,我不需要逐行掃描;因為,逐行掃描不僅效率太低,而且,在飛進飛出的蚊子數量比較多的情況下,很容易有遺漏。OPA就相當于,有100只蚊子飛過來后,我的光束能馬上聚焦到這100只蚊子身上,我每時每刻都如此聚焦,這樣就不會有目標物被遺漏掉,而且效率特別高。

 

某TOF激光雷達廠商負責人并不認可這一觀點:電子掃描還不會智能到這個程度吧。你已經判斷出這有一只蚊子了,才聚焦于這個方向,這相當于“先知道結果,再去追求過程”,你已經知道目標物及其位置了,為什么還要去掃描它呢?

 

奚先生也認為,OPA不具備聚焦功能,“它原來是平行光,出去還是平行光,只不過換一個角度”。奚先生說,OPA其實利用的是光的衍射相干原理,通過改變材料的折射率或介電常數實現光的偏轉,改變有多快,偏轉就有多快。

 

某TOF激光雷達廠商負責人稱,理論上,OPA在成熟后,是可以作為光學鏡頭來使用的。

 

一位不愿具名的FMCW激光雷達公司創始人說:“誠然,FMCW不一定非得跟OPA搭配,但FMCW的收發系統需要用硅光技術來降成本,如果掃描模塊也用基于硅光技術的OPA,那收發和掃描的集成豈不是更容易了?”

 

Andy Sun也認為,FMCW和OPA都需要通過硅光技術平臺來實現,因此,無論是剛開始的兩個芯片,還是最終變成同一顆芯片,FMCW+OPA都是一個自然而然的技術選擇。

 

不過,盡管OPA被認為是“最性感的終極路線”,但其實現的過程會比較漫長。

 

姚建說:“十年后,激光雷達一定是FMCW+OPA,但OPA現在還停留在實驗室里?!?/p>

 

上述不具名人士說:“在2030年之前,FMCW+OPA的方案都很難成熟?!?/p>

 

2.掃描跟收發的集成

 

既然OPA跟發射端都是基于硅光技術平臺做,那么,將兩個模塊集成到一起,就成了題中應有之義。這并非一個大膽的猜想,而是已經有公司在這么實踐了。

 

微源光子董事長兼總經理朱曉琪說,將OPA掃描部件跟相干光路、探測器集成到同一個硅片上,是通信產業已經在做的事情了。接下來,只要能解決將三五族芯片(激光器)跟硅基芯片的集成問題,將掃描和收發集成到一起,就是一個自然而然的結果了。

 

業界普遍認為,英特爾的FMCW激光雷達中,掃描系統就跟激光收發系統集成到同一顆芯片上了。

  

為什么英特爾可以做到?一位FMCW激光雷達公司創始人向筆者介紹道:“英特爾的硅光上面是帶光源的(只有他們有這個東西),所以他們的硅光已經不再是傳統意義上的硅光了,因為它上面既有磷化銦也有硅,它的硅光,我覺得應該叫做‘異質光’,就是兩不同的異常的材料。所以,只有他們能走這個路線?!?/p>

 

不過,據稱硅谷公司LightIC也在嘗試這條技術路線了。

 

國內公司中,洛微CTO Andy Sun人等均稱,這也是他們努力的方向。

 

據Andy Sun的說法,毫米波雷達的掃描跟收發就是集成到一起的,而它的調制方式就是FMCW。

 

由于掃描系統可以跟收發系統集成到一起,光勺CEO姚建多次強調,FMCW激光雷達“可實現比TOF更高程度的芯片化”,姚建甚至將其稱為“真正的芯片化”。

 

不過,朱曉琪曾在之前的演講中指出,OPA跟光源之間的耦合會有一個很大的插損,“這是整個業界都很難解決的問題”。而這一難題的解決進度,將在很大程度上決定FMCW激光雷達“真正的芯片化”的進度。


正文結束,文章來源:九章智駕


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