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陶瓷基板材料憑借其極好的耐高溫、耐腐蝕、熱導率高、機械強度高、熱膨脹系數與芯片相匹配及不易劣化等特性成為大功率、高密度、高溫及高頻器件封裝的首選。目前應用于陶瓷基板的陶瓷材料主要有:氧化鈹(BeO)、氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)和碳化硅(SiC)等。

高可靠氮化硅基板,第三代半導體功率器件首選封裝材料

圖? 氮化硅基板應用示意圖
近年來,電子電力器件朝大功率、高頻化、高密度、集成化等方向發展,對器件中陶瓷散熱基板提出了更高要求。與AlN和Al2O3陶瓷基板材料相比,Si3N4具有一系列獨特的優勢:

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  • 和氧化鋁基板或氮化鋁基板相比,Si3N4約有兩倍以上的抗彎強度。在散熱量相同的情況下,Si3N4陶瓷基片即使做得更薄仍能滿足強度的要求;
  • Si3N4屬于六方晶系,有α、β和γ三種晶相,其中α相和β相是Si3N4最常見的形態,均為六方結構,可在常壓下制備。研究者根據Si3N4的結構提出β-Si3N4的理論熱導率高達200~320W/m·K。和氧化鋁基板或ZTA基板相比,擁有三倍以上的熱導率;

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  • Si3N4抗氧化性比AlN強,可以水基處理,從而可大大降低成本;
  • Si3N4還具有常溫和高溫下一系列獨特優異的物理、化學性能,如高韌性、耐熱沖擊性、良好的絕緣性、耐磨損和耐腐蝕等,且性能保持至溫度達到1000℃不明顯下降;
  • 低熱膨脹系數,熱膨脹系數與大多數半導體材料(如SiC)匹配,因而使其器件的可靠性更優異。

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Si3N4具有高導熱、高強度、高韌性、低密度、自潤滑性、優異的抗熱震性,是國內外公認兼具高導熱、高可靠性等綜合性能最好的陶瓷基板材料,適用于IGBT、SiC等對大功率半導體器件等要求高可靠性的絕緣電路板用途。據ICRWorld數據顯示,得益于新能源車的快速發展,2026年,全球氮化硅陶瓷基板行業總產值預計達1.83億美元, 全球市場復合增長率達到8.16 %。

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氮化硅陶瓷基板入門的門檻非常高,目前我國的高導熱 Si3N4 陶瓷基板與國外還是存在差距,產品性能較為單一。氮化硅基板的主流供應商為國外企業,如東芝、丸和、日立金屬等。近年來,國內企業及研究所在氮化硅基板方面不斷做技術突破,如中材高新氮化物陶瓷、上海硅酸鹽研究所、福建臻璟 、成都旭瓷、海古德、江西創科、浙江正天、威海圓環等。下面我們一起來了解幾家氮化硅基板廠商。(以下序號不代表排名,歡迎大家留言補充),歡迎掃描下方二維碼,加入微信群,與行業認識一起交流!

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1.中材高新氮化物陶瓷有限公司

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中材高新氮化物陶瓷有限公司是隸屬于中國建材集團有限公司的國家級高新技術企業,自上世紀70年代開始,一直致力于先進技術陶瓷的研究和生產,滿足不同工業領域的需求,并能為客戶提供最佳的解決方案。

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主要從事氮化硅、碳化硅、氧化鋯、氧化鋁等先進陶瓷材料的研究和生產。尤 其是在氮化硅陶瓷方面的研究和生產始于 20 世紀 70 年代,是國內最早從事氮化硅陶瓷領域研究的單位之一,獲得 65 項相關發明專利,技術和生產實力居國內領先水平,生產規模在國內居于首位。氮化硅高導熱基片應用于混合動力汽車PCU控制單元。
官網:http://www.sinomaceramic.com

2.浙江正天新材料科技有限公司

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浙江正天新材料科技有限公司成立于2017年,主要業務是氮化鋁(AIN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及制品的研發、生產和銷售及行業服務。

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浙江正天具體業務包括氮化鋁陶瓷、氮化鋁基板、氮化硅陶瓷、氮化硅基板及AlN陶瓷基片等,產品主要用于電機動力系統中電子元件上功率模塊內的覆銅陶瓷基板。
正天新材擁有多條大型流延生產線,從流延、裁切、沖孔、靜壓、熱切至燒結成型擁有完整加工鏈。
官網:http://www.cnzhengtian.com
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3.江西創科新材料科技有限公司

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江西創科新材料科技有限公司是一家集研發、生產、銷售為一體的高新科技企業,由新余前衛化工有限公司引進國內同行業頂尖生產、技術團隊共同投資打造的創新型公司。

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江西創科注冊資金5000萬元,項目總投資2.45億元,首期投資1.32億元,主要生產氮化鋁陶瓷基板、99.6%氧化鋁陶瓷基板和氮化硅基板、HTCC;二期投資1.13億元,主要生產多層共燒陶瓷基板及各種電子陶瓷元器件。
官網:http://jxckam.com
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4.威海圓環先進陶瓷股份有限公司

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威海圓環先進陶瓷股份有限公司創建于2015年,廠區面積6000余平方米,專業從事氮化硅陶瓷基復合材料的研發,生產和銷售,主要產品有氮化硅陶瓷磨珠,氮化硅陶瓷基板,精磨氮化硅軸承球以及各種異形氮化硅陶瓷結構件等。?

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威海圓環先進陶瓷與國內著名科研院所聯合進行技術攻關和產學研合作研發,納米粉體、亞微米粉體、陶瓷成型、冷等靜壓、熱壓燒結、精密陶瓷機械加工等工藝手段齊全,率先實現氮化硅磨珠、氮化硅陶瓷基板等前沿產品的工業化生產。威海圓環先進陶瓷股份有限公司投資建設年產60萬片高導熱氮化硅陶瓷基板產業化項目。

5.蘇州博勝材料科技有限公司

蘇州博勝材料科技有限公司是一家專業從事先進陶瓷材料、新技術研發的全球技術領先的科技型企業。公司成立于2022年,項目始于2018年。公司主營產品包括陶瓷基板、陶瓷材料、膜帶漿料、技術服務支持等。公司已通過國際ISO9001、IATF16949等資質認證,部分產品已通過行業龍頭企業的驗證,并進入批量供貨階段。博勝材料始終致力于成為電力電子、半導體行業客戶提供最優的材料、器件解決方案,成為世界一流的新材料產品供應商。


6.江西中科上宇科技有限公司

景德鎮陶文旅集團還與上海硅酸鹽研究所進行合作,共同出資組建了江西中科上宇科技有限公司,專門從事陶瓷基板先進封裝材料的技術開發、生產和銷售,現階段以氮化硅陶瓷基板的研發、生產及銷售為主營業務。項目占地面積為100畝,總投資約6億元,一期項目建設預計12月底正式投產。

7.成都旭瓷新材料有限公司

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2020 年 12 月,旭光電子與其他方共同出資成立了旭瓷,旭瓷現已建成氮化鋁粉體、氮化鋁陶瓷基板和氮化鋁結構件三條生產線,且均實現量產,已實現產品送樣驗證和銷售。旭瓷全資子公司寧夏北瓷新材料科技有限公司。

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由旭光電子及控股子公司成都旭瓷新材料共同實施的電子陶瓷材料產業化項目(一期),建成后將形成年產氮化鋁陶瓷基板500萬片、氮化硅陶瓷基板120萬片、氮化鋁結構件11,000件、高溫多層共燒氮化鋁陶瓷基板6萬片及高溫多層共燒氧化鋁陶瓷基板6萬件等電子陶瓷相關產品。
官網:https://www.cdxuci.cn

8.無錫海古德新技術有限公司

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無錫海古德新技術有限公司成立于2008年11月,是一家擁有自主知識產權、高科技專利技術,集新型陶瓷材料及其電子元件研發、生產、銷售為一體的現代化高新技術企業。核心產品高性能氮化鋁(AlN)陶瓷材料、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及其元器件。

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無錫海古德半導體用高性能陶瓷材料項目已開工,項目建成后可年產半導體用高性能陶瓷材料氮化鋁基板720萬片、氮化硅基板300萬片、氮化鋁/氮化硅結構件50萬件。
官網:http://www.hy-good.com/

9.福建臻璟新材料科技有限公司

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福建臻璟新材料科技有限公司成立于2018年,是一家全國領先的第三代半導體氮化物材料供應商及熱管理方案解決商。

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主營產品有:高純氮化鋁粉、氮化鋁造粒粉、氮化鋁大顆粒填充粉、球型填充粉、氮化鋁陶瓷基板、氮化硅陶瓷基板。目前車間陶瓷流延線產能可達300萬片/年。
官網:http://www.zingin.co

10.貴州新鴻泰科技有限公司

貴州新鴻泰科技有限公司成立于2022年,公司主要業務有氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及制品的研發、生產和新型陶瓷材料銷售等。

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官網:http://gzxhtkj.com

11.江蘇方達正塬電子材料科技有限公司

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江蘇方達正塬電子材料科技有限公司立于2020年,主要從事氮化硅絕緣材料、覆銅基板等相關產品研發、生產、銷售和應用研究。

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自2021年3月投資50萬元立項研究,氮化硅陶瓷基板制備關鍵技術和裝備。目前正在研究“熱導率≥160W/(m.K)@斷裂韌性≥16MPa/m2”的新一代氮化硅基板關鍵制造技術。
官網:https://foundarzy.com

12.新疆晶碩新材料有限公司

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新特能源股份有限公司是特變電工股份有限公司控股子公司,是專業從事光伏新能源產品研制,硅基新材、先進陶瓷、鋯基新材、粉體新材等產品研發,風、光資源的開發及運營以及節能環保技術應用的高新技術企業集團。

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高純氮化硅粉體由新特能源旗下子公司新疆晶碩新材料有限公司研發、生產,目前已投資建設年產100噸氮化硅粉和100000件氮化硅陶瓷環的生產線。同時也是少數能批量生產85W/m·K以上熱導率基板的企業之一。
官網:https://www.xinteenergy.com

13.凱樂士股份有限公司

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凱樂士股份有限公司(KallexCompany,Ltd)成立于1996年,主要從事碳化硅(SiC)及其他各種精密陶瓷產品的研發和制造。

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凱樂士可提供氮化硅基板客制化服務以及研磨和拋光服務。
官網:https://www.kallex.com.tw

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14.浙江上硅聚力特材科技有限公司

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浙江上硅聚力特材科技有限公司系國內專業研發、生產高性能氮化硅陶瓷材料的骨干制造商,公司擁有領先的氮化硅陶瓷生產工藝和精密加工技術,致力于為國內外先進裝備、新能源、電動汽車、航空航天等領域提供專業周到的氮化硅材料解決方案。生產由氮化硅基片。
官網:http://www.zjsgjl.com

15.山東厚發新材料科技有限公司

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山東厚發新材料科技有限公司,集生產、研發、銷售為一體,以無機非金屬材料為主要開發方向。專業生產銷售:高端耐火材料、精密陶瓷結構件、陶瓷閥門管件等。可提供氮化硅基板。

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官網:http://www.sdhofa.com

16.河北高富氮化硅材料有限公司

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河北高富氮化硅材料有限公司是一家致力于生產高性能氮化硅產品的高新技術企業。公司最早成立于2001年,經過了二十余年的發展,公司先后研發并量產了2001年氮化硅結合碳化硅板材、2003年普通氮化硅粉體、2009年陶瓷級氮化硅粉體、2012年光伏級氮化硅粉體、2015年電子級氮化硅粉體、2020年高導熱氮化硅陶瓷基板。

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官網:http://www.corefra.cn

17.埃克諾新材料(大連)有限公司

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埃克諾新材料(大連)有限公司成立于2013年,主要產品為氮化硅粉體、氮化硅陶瓷軸承秋、氮化硅陶瓷閥芯、氮化硅陶瓷基板及氮化硅陶瓷結構件制品。

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官網:http://www.aikenuo.com

18.西安澳秦新材料有限公司

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西安澳秦新材料有限公司成立于1998年,總部位于西安經濟技術開發區,分別在嘉峪關、西安等地設有生產工廠。長期與西安交通大學、西北工業大學、西安電子科技大學優秀研發團隊進行產學研合作,就高轉速氮化硅陶瓷球、高導熱氮化硅陶瓷基板、耐高溫透波陶瓷、透明陶瓷、多孔陶瓷等領域進行了產業化生產。
官網:http://www.xaaq.com

此外還有:
  • 宜賓紅星電子有限公司
  • 蘇州晶耀高溫新材料科技有限公司
  • 浙江多面體新材料有限公司
  • 常熟佳合高級陶瓷材料有限公司
  • 天津碩科精細陶瓷科技有限公司
  • 河南叁弘新材料科技有限公司
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8月23~25日,氮化硅陶瓷基板廠商浙江正天(展位:11B33)江西創科(展位:11B07)將參與艾邦第五屆精密陶瓷展覽會,地址:深圳寶安·國際會展中心11號館,歡迎蒞臨參觀交流!
推薦活動:免費領取門票!8月23~25日,第五屆精密陶瓷展覽會將于深圳國際會展中心11號館舉辦
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