AMB 氮化硅(Si3N4)基板是 SiC 功率器件導熱基板材料首選。氮化硅具有優異的機械性能,兼顧高彎曲強度和高斷裂韌度,可靠性高,高導熱率(>80 W/mK),氮化硅的出色機械強度有助于釬焊較厚的銅層,載流能力較高。且氮化硅陶瓷基板的熱膨脹系數與第三代半導體襯底 SiC 晶體接近,使其能夠與 SiC 晶體材料匹配更穩定,AMB 氮化硅基板主要用于電動汽車(EV)和混合動力車(HV)功率半導體,特別在 800V 以上高端新能源汽車中應用中不可或缺。
圖 氮化硅基板應用領域,來源:中材高新
目前各大主流新能源汽車廠商都在積極布局碳化硅車型,如比亞迪漢EV、蔚來ES6、理想L9、小鵬G9、保時捷Tayan和現代ioniq5、華為問界M9 等車型都已經采用了碳化硅器件(推薦閱讀:深度 | SiC、IGBT市場發展現狀解析)。2024年隨著碳化硅加速從6英寸邁向8英寸,需求端新能源車+光伏上量與供給端良率突破或將迎來共振,SiC 有望迎接大規模放量,帶動氮化硅陶瓷基板的快速發展。
氮化硅陶瓷基板被公認為是綜合性能最佳的散熱基板,但在實際生產中需要解決兩個棘手的難題:"高導熱"和"持續穩定的大批量生產"。同時,氮化硅陶瓷基板還需要進行覆銅處理以及應用端考核,因此要達到應用化水平難度較大。目前國內企業已經實現了氮化硅陶瓷基板的技術突破,產品性能已達到或接近日本產品水平,多家企業正在加快產業化進程。下面為大家介紹國內氮化硅陶瓷基板廠商情況,歡迎大家掃描下方二維碼,加入陶瓷基板交流群,與我們交流,進行補充:
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福建臻璟新材料科技有限公司
福建臻璟新材料科技有限公司成立于2018年,位于福建安溪2025產業園,占地面積近100畝,首期建設研發樓、工業廠房約2萬多平方米,是一家全國領先的第三代半導體氮化物材料供應商及熱管理方案解決商。
主營產品有:氮化硅陶瓷基板、氮化鋁陶瓷基板、高純氮化鋁粉、氮化鋁造粒粉、氮化鋁大粒徑填料粉、氮化鋁球型填料粉。產品廣泛應用于芯片、功率模塊、高端封裝、射頻/微波等元器件,為5G通訊、光伏、電子電力、新能源汽車及航天航空等高端領域起到關鍵散熱作用。年產能為氮化鋁粉體200噸、氮化鋁&氮化硅陶瓷基板500萬片。臻璟氮化硅陶瓷基板密度≥3.20g/cm、導熱率≥80W/(m·k)、抗彎強度≥700MPa。
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中材高新氮化物陶瓷有限公司
中材高新氮化物陶瓷有限公司隸屬于中國建材集團,是一家國家級高新技術企業,國家級"專精特新"小巨人企業,省級瞪羚企業,自1978年開始從事氮化硅陶瓷的研究,是國內較早的氮化硅材料研發單位之一,申請/授權專利78項,擁有包括粉體合成、材料制備以及精密加工的自主核心技術。
開發的高導熱氮化硅陶瓷基板性能達到日本同類產品,采用特殊的配方和工藝,導熱系數>80W/(m·k),產品已通過國際頭部企業質量檢測,2023年建成年產70萬片中試線。
官網:http://www.sinomaceramic.com
無錫海古德新技術有限公司
無錫海古德新技術有限公司成立于2008 年11 月,是一家專注于功率半導體封裝基板和關鍵高性能氮化物精密陶瓷器件的高新技術企業。核心產品氮化鋁、氮化硅、陶瓷加熱盤等廣泛應用于功率模塊、射頻通訊、微波通訊、光通訊、汽車電子、LED封裝、激光器、半導體器件封裝等諸多領域。海古德東臺項目建成后年產氮化鋁基板720萬片,氮化硅基板300萬片,2023年10月東臺海古德功率半導體(一期)項目竣工投產。
浙江正天新材料科技有限公司
浙江正天新材料科技有限公司成立于2017年,主要業務是氮化鋁(AIN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及制品的研發、生產和銷售及行業服務。具體業務包括氮化鋁陶瓷、氮化鋁基板、氮化硅陶瓷、氮化硅基板及AlN陶瓷基片等,產品主要用于電機動力系統中電子元件上功率模塊內的覆銅陶瓷基板。正天新材擁有多條大型流延生產線,從流延、裁切、沖孔、靜壓、熱切至燒結成型擁有完整加工鏈。
目前正天新材已穩定批量生產熱導率可達85W/(m?k),熱膨脹系數為2.7×10-6/℃,并具有優異的機械強度、良好的化學穩定性和抗熱沖擊性的大尺寸(138mm*190.5mm)、低翹曲度(≤200μm)的氮化硅陶瓷基板產品。
寧夏艾森達新材料科技有限公司
寧夏艾森達新材料科技有限公司成立于2013年12月,艾森達團隊于2020年開始進行氮化硅基板的潛心研發,目前已突破即燒型氮化硅基板的流延、排膠、燒結、后處理等技術工藝瓶頸,實現氮化硅基板的量產化,形成了不同粉體和性能的系列氮化硅產品。
其氮化硅陶瓷基板熱導率達到80-90W/m·k,抗彎強度>700MPa,并且可同時用于AMB焊片和焊料兩種工藝,剝離強度>100N/cm,高低溫循環沖擊5000次無孔洞,滿足下游企業對基板性能的需求。138*190*0.32規格的氮化硅陶瓷基板月產能在4-5萬片左右,并計劃于2024年上半年形成氮化硅10萬片的自動化的生產線。
官網:https://www.ascendus.com.cn/
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蘇州博勝材料科技有限公司
蘇州博勝材料科技有限公司是一家專業從事先進陶瓷材料、新技術研發的全球技術領先的科技型企業。公司成立于2022年,項目始于2018年。公司主營產品包括陶瓷基板、陶瓷材料、膜帶漿料、技術服務支持等。公司已通過國際ISO9001、IATF16949等資質認證,部分產品已通過行業龍頭企業的驗證,并進入批量供貨階段。博勝材料始終致力于成為電力電子、半導體行業客戶提供最優的材料、器件解決方案,成為世界一流的新材料產品供應商。
宜賓紅星電子有限公司
宜賓紅星電子有限公司始建于1939年,是四川長虹電子控股集團有限公司旗下全資子公司,國家高新技術企業、工信部專精特新"小巨人"企業。產品門類涵蓋氮化硅陶瓷基板及載板、氧化鈹陶瓷基板及載板、高純度即燒型氧化鋁基板、透明陶瓷和高精度結構陶瓷等方向,產品廣泛應用在微電子技術、航空航天技術、微波技術、電真空技術、核工業技術與光電技術領域和重點工程。2023年5月6日紅星電子高導熱氮化硅陶瓷基板及覆銅板項目簽約江油,建成達產后將具備年產半導體陶瓷封裝基板、載板1000萬片的能力。
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威海圓環先進陶瓷股份有限公司
威海圓環先進陶瓷股份有限公司創建于2015年,專業從事氮化硅陶瓷基復合材料的研發,生產和銷售,主要產品有氮化硅陶瓷磨珠,氮化硅陶瓷基板,精磨氮化硅軸承球以及各種異形氮化硅陶瓷結構件等。
2015年9月,威海圓環開啟高導熱氮化硅陶瓷基板技術研發,0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導熱氮化硅陶瓷基板已經達到量產的水平,氮化硅陶瓷基板熱導率達85W/mK,彎曲強度600Mpa。
浙江多面體新材料有限公司
浙江多面體新材料有限公司是一家特種陶瓷制品科研、生產、銷售于一體的高新技術企業。2020年9月27日由中科院上海硅酸鹽研究所張景賢研究員和浙江多靈基片公司聯合成立浙江多面體,正式推進氮化硅陶瓷基片的國產化,目前公司三條生產線建設完成,具備年產50萬片的能力,已經提供樣品給多家新能源汽車企業驗證。
2020年11月年產400萬片高導熱氮化硅陶瓷基片項目通過吳興區發展改革和經濟信息化局備案,項目總投資61000萬元,新增67.98畝用地,建72977平方米建筑用房,購置全套生產線20條,每條線產能約20萬片/年,形成年產400萬片高導熱氮化硅陶瓷基片的生產能力。目前生產車間、研發車間及辦公樓的主體結構均已經完成,預計2024年3月份試生產。
河北高富氮化硅材料有限公司
河北高富氮化硅材料有限公司是一家致力于生產高性能氮化硅產品的高新技術企業,年產高純氮化硅600余噸,氮化硅10000噸。公司最早成立于2001年,經過了二十余年的發展,公司先后研發并量產了2001年氮化硅結合碳化硅板材、2003年普通氮化硅粉體、2009年陶瓷級氮化硅粉體、2012年光伏級氮化硅粉體、2015年電子級氮化硅粉體、2020年高導熱氮化硅陶瓷基板,氮化硅基板的熱導率及機械強度等綜合性能更優,熱導率>80W/(m·K),強度>700MPa。
江蘇富樂華半導體科技股份有限公司
江蘇富樂華半導體科技股份有限公司,成立于2018年3月。由上海申和投資有限公司控股,是專業從事功率半導體覆銅陶瓷載板(AMB、DCB、DPC、DBA、TMF)以及載板制作供應鏈材料的集研發、制造、銷售于一體的先進制造業公司。旗下包含上海富樂華半導體科技有限公司、四川富樂華半導體科技有限公司、江蘇富樂華功率半導體研究院有限公司、上海富樂華國際貿易有限公司、日本子公司、歐洲子公司、馬來西亞子公司。
四川富樂華于內江建設半導體功率模塊陶瓷基板項目,設計年產氮化硅瓷片 720 萬片、DCB 基板 600 萬片、AMB 基板 480 萬片。氮化硅瓷片熱導率 25℃:≥80W/mK,抗彎強度≥650MPa。目前項目已投產。
官網:http://www.ftpowersemi.com/
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新疆晶碩新材料有限公司
新疆晶碩新材料有限公司成立于2017年7月,是新特能源股份有限公司(股票代碼:1799.HK,特變電工股份有限公司控股子公司)的全資子公司,專業從事先進陶瓷、納米級粉體材料、鋯基新材等產品研發及技術應用的高新技術企業,產品涉及氮化硅粉、氮化硅陶瓷、氣相二氧化硅、氧化鋯粉、氧氯化鋯粉、四氯化鋯等三大領域。
新疆晶碩新材料是一家生產氮化硅粉、氮化硅陶瓷等硅材料產業鏈產品制造的企業,是國內首家具備氨堿法生產氮化硅粉資質的民營企業,能夠批量生產85w以上熱導率基板。
??酥Z新材料(大連)有限公司
埃克諾新材料(大連)有限公司成立于2013年10月,注冊資本1333萬元,主要產品為氮化硅粉體、氮化硅陶瓷軸承球、氮化硅陶瓷閥芯、氮化硅陶瓷基板及氮化硅陶瓷結構件制品,主要應用于光伏、軸承、冶金化工、能源、環保等行業,特別是在航空航天、國防軍事及新能源汽車領域得到普及應用。
埃克諾主要技術人員均從事氮化硅陶瓷研發、設計及生產15年以上,并發明了23項實用新型專利,在氮化硅陶瓷材料研究、開發及應用方面有擁有豐富的經驗和成果積累。運用多年積累的材料技術及燒結技術實現了使用粒界控制技術,生產具有高強度的氮化硅(SiN)基板。2023年10月16日,??酥Z總投資10億元的氮化硅新材料產業化項目簽約落戶湖北孝感高新區。官網:http://www.aikenuo.com
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江蘇方達正塬電子材料科技有限公司
江蘇方達正塬電子材料科技有限公司(Foundarzy)成立于2021年,是一家由南京市紫金山英才高峰計劃入選者創建的高技術企業。主要從事"卡脖子產品"氮化硅絕緣散熱基板、覆銅基板等相關產品研發、生產、銷售和應用研究。產品廣泛應用于算力、電動汽車、高鐵、超高壓電網、新能源、5G/6G通訊、人形機器人、巨型雷達、航空航天、國防軍工等領域。
方達正塬已經投資近千萬元研究氮化硅陶瓷基板制備關鍵技術和裝備,構建了原材料和生產設備均國產化的生產技術體系,目前,擁有25項國家專利和9項高標準企業標準,在工業化小批量生產中良品率達到62.8%,并順利通過下游用戶的應用驗證,成果經國家級專門機構鑒定為具有創新性的、總體上達到國際先進水平。
遼寧伊菲科技股份有限公司
遼寧伊菲科技股份有限公司位于遼寧東戴河新區,由原綏中伊菲人工晶體科技有限公司整體轉制創立而成,是高性能結構陶瓷等無機非金屬材料及其制品的研發和生產的高新技術企業。產品包括碳化硼陶瓷、增韌碳化硼陶瓷、防彈陶瓷插板、大尺寸防彈板、熱壓氮化硅陶瓷基板、人工晶體陶瓷等。
自主研發了大尺寸氮化硅陶瓷基板,研制出高效低成本的燒結技術。高熱導率的氮化硅半導體材料基板熱導率高達60-80W/m·k (25℃)?,采用氣壓燒結工藝,能夠制備6-8英寸的0.32mm厚的陶瓷基板,低膨脹系數和高抗熱震性等優點,特別適用于有震動場合的功率模塊制備。
凱樂士股份有限公司
凱樂士股份有限公司(Kallex company,Itd)成立于1996年,主要從事碳化(SiC) 的及其他各種精密陶產品的研發和制造。目前的產品主要應用于耐磨損,耐腐蝕,耐高溫,耐電漿轟擊,高導熱,高散熱,低污染,壽命長等一種或同時數種以上各式嚴苛要求之環境的產業領域。凱樂士氮化硅基板可提供客制化服務、研磨與拋光服務。
超能高新材料股份有限公司
超能高新材料股份有限公司成立于2011年,為臺灣唯一可量產電子級氮化硅粉的制造廠商,累積銷售超過數百噸的各式高純度粉體,客戶遍及全球。
氮化硅基板采用超能高純氮化硅粉材為原料,搭配自主開發燒結技術,得以完美地發揮材料本身之特性。強度、熱傳導、熱膨脹與擊穿電壓等物理性質,皆可達到趨近理論的最佳數值。2022年3月在桃園市龍潭區新建廠房。
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天津碩科科技有限公司
天津碩科科技有限公司(曾用名:天津碩科精細陶瓷科技有限公司)創建于2017年1月,坐落于天津武清國家級工業開發區。廠區面積2000余平方米,是一家擁有自主知識產權、專業從事氮化鋁、氮化硅等非氧化物陶瓷研發和生產的先進陶瓷生產企業,產品及服務廣泛應用于新能源、化工、機械制造、汽車、半導體等相關領域。
河北正雍新材料科技有限公司
河北正雍新材料科技有限公司成立于2015年12月31日,專業從事高性能新材料研發、生產、銷售和技術服務,是國家級高新技術企業,總部坐落于石家莊國家級技術開發區。主營高純氮化硅陶瓷絕緣件、高強氮化硅陶瓷陶瓷耐磨件等高性能陶瓷制品。2018年,氮化硅陶瓷基板成功問世。
官網:http://www.hbzhengyong.com
山東厚發新材料科技有限公司
山東厚發新材料科技有限公司,集生產、研發、銷售為一體,以無機非金屬材料為主要開發方向。專業生產銷售:高端耐火材料、精密陶瓷結構件、陶瓷閥門管件等??商峁┑杌濉?br />
海寧托博特種陶瓷制品有限公司
海寧托博特種陶瓷制品有限公司成立于2012年7月,位于浙江省海寧市袁花工業區,專注于熱壓氮化硅產品的研發和銷售,目前擁有11條熱壓氮化硅生產線以及檢測設備。
目前主要產品有:氮化硅基片、氮化硅駐車加熱器點火塞、氮化硅柴油發動機預熱塞、氮化硅電動汽車加熱片、氮化硅柴油車尾氣后處理系統點火塞、氮化硅點火棒等。
佛山華智新材料有限公司
佛山華智新材料有限公司成立于2013年,致力于大功率半導體器件封裝材料的研發、制造和銷售,是國內射頻芯片封裝材料和功率器件封裝材料的供應商,擁有多層熱沉CPC/CMC、空腔塑封管殼ACP、微流道MCC、金剛石銅DCu、陶瓷基板SiN、灌封膠、密封膠等全自主研發產品線。
2022年氮化硅陶瓷基板量產。
江西中科上宇科技有限公司
江西中科上宇科技有限公司成立于2021年10月12日,由景德鎮陶文旅控股集團有限公司與中國科學院上海硅酸鹽研究所共同出資組建,注冊資本10000萬元,專門從事陶瓷基板先進封裝材料的技術開發、生產和銷售,現階段以氮化硅陶瓷基板的研發、生產及銷售為主營業務。
江蘇貝色半導體材料有限公司
江蘇貝色半導體新材料有限公司成立于2021年11月23日,是昆山市貝色特材裝備有限公司旗下子公司,其氮化鋁、氮化硅陶瓷基板及構件項目總投資5億元,分兩期進行建設。2020年江蘇貝色新材料有限公司投資建設的氮化鋁、氮化硅陶瓷基板及構件項目(一期)建成,可形成年產1億塊氮化物陶瓷基板產能,產品打破國外技術壟斷。二期項目已于2021年開工。
氮化硅基板相關研究企業還有:
衡陽凱新特種材料科技有限公司
成都旭瓷新材料有限公司
金賽隆科技(上海)有限公司
蘇州晶耀高溫新材料有限公司
寧波銀瓷新材料有限公司
吉林長玉特陶新材料技術股份有限公司
江西創科新材料科技有限公司
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