前面，我們?yōu)榇蠹医榻B了不少半導體裝備用陶瓷零部件，包括靜電卡盤、聚焦環(huán)、搬運臂等。今天我們給大家介紹又一半導體裝備關(guān)鍵部件——陶瓷加熱器（Ceramic Heater）以及相關(guān)廠商。歡迎大家進行補充，艾邦建有半導體陶瓷產(chǎn)業(yè)交流群，掃碼下方二維碼即可申請進入：在集成電路等半導體裝置制造工序中，要對半導體晶圓進行成膜處理及蝕刻處理等各種處理。在對晶圓進行加工制造工藝中，需要將晶圓加熱到一定溫度下進行，且對晶圓溫度的均勻性有非常嚴格的要求，因為晶圓溫度的均勻性對半導體芯片的質(zhì)量有著非常重要的影響；同時還需要在真空、等離子體、化學氣體等環(huán)境下工作，這就要用到陶瓷加熱器。陶瓷加熱器是半導體薄膜沉積等設(shè)備中的重要部件，可實現(xiàn)均勻溫度分布，對晶圓均勻加熱，使襯底表面上進行高精度的反應(yīng)并生成薄膜。通常，陶瓷加熱器包括上面具有晶圓載放面的陶瓷制陶瓷基體和在背面對其提供支承的圓筒形的支持體，在陶瓷基體的內(nèi)部或表面，除了設(shè)置有用于加熱的電阻發(fā)熱體電路，還設(shè)置有RF電極及靜電卡盤用電極等導電體。陶瓷加熱器通常采用氮化鋁陶瓷，氮化鋁具有電絕緣性和優(yōu)異的導熱性，對于需散熱的應(yīng)用而言，它是理想之選；此外，由于其熱膨脹系數(shù)接近硅，且具有優(yōu)異的等離子體抗性，可被用于制造半導體加工設(shè)備部件。根據(jù)市場研究機構(gòu)Business Research Insights研究報告， 2022年全球氮化鋁陶瓷加熱器市場規(guī)模為3300萬美元，預(yù)計到2031年市場規(guī)模將達到7852.9萬美元，預(yù)測期間的復(fù)合年增長率為10%。圖??全球氮化鋁陶瓷加熱器市場規(guī)模/百萬，來源：Business Research Insights二、陶瓷加熱器相關(guān)供應(yīng)商介紹目前，陶瓷加熱器主要供應(yīng)商有日本礙子、MICO ceramic、AMAT、Sumitomo Electric、CoorsTek、Semixicon LLC、BoBoo Hitech等。全球陶瓷加熱器市場由日本公司主導，占整個行業(yè)的 95%，目前，我國陶瓷加熱器的自主水平及國產(chǎn)化率，與靜電吸盤等其它半導體零部件、關(guān)鍵原材料的處境一致，國內(nèi)實現(xiàn)量產(chǎn)企業(yè)極少，是“卡脖子”技術(shù)。日本礙子株式會社（NGK INSULATORS, LTD.）成立于1919年5月5日，1996年開始批量生產(chǎn)半導體制造裝置用陶瓷，1997年開始生產(chǎn)帶軸加熱器和靜電吸盤。日本礙子以氮化鋁（AIN）陶瓷為主，發(fā)揮材料的特性，將半導體制造設(shè)備上需要使用的靜電吸盤、加熱器、各種零部件產(chǎn)品化。日本礙子在半導體設(shè)備的陶瓷加熱器產(chǎn)品全球市場擁有較高份額。陶瓷加熱器采用高導熱的氮化鋁AIN，具有卓越的均熱性，大幅降低金屬污染雜質(zhì)的產(chǎn)生。官網(wǎng)：https://www.ngk-insulators.com/NTK CERATEC成立于 1987 年，總部設(shè)立于日本。該公司主要從事精密陶瓷產(chǎn)品的制造與銷售，提供半導體及液晶用零部件、真空卡盤、靜電卡盤等產(chǎn)品。NTK CERATEC是國際半導體設(shè)備廠關(guān)鍵零組件的知名供應(yīng)廠。NTK CERATEC 于 2015 年成為日本特殊陶業(yè)株式會社（ Niterra Co., Ltd. ）的全資子公司。在陶瓷內(nèi)部配置金屬電極，通過進行一體化熔結(jié)，可以制作靜電卡盤和陶瓷加熱器。NTK CERATEC運用各種材料技術(shù)，形成了可以應(yīng)對客戶需求的靜電卡盤／陶瓷加熱器系列。在等離子環(huán)境領(lǐng)域、電子線使用領(lǐng)域等，從開發(fā)、試做階段，即可提供符合用途要求的產(chǎn)品。官網(wǎng)：https://www.ceratech.co.jp/MiCo Ceramics是韓國一家半導體設(shè)備用陶瓷零部件專業(yè)生產(chǎn)企業(yè)，是2020年從Mico中將半導體設(shè)備零部件事業(yè)部分離出來而成立的公司。利用AlN、Al2O3和Y2O3等特殊陶瓷材料為客戶提供陶瓷零件：從用于半導體制造工藝的AlN加熱器、ESC等功能性產(chǎn)品到一般零部件。基于20年來積累的陶瓷材料設(shè)計、燒結(jié)技術(shù)、精密加工和鍵合技術(shù)，MiCo Ceramics已量產(chǎn)和供應(yīng)CVD、PE-CVD、ALD和高溫UV固化或Asher工藝設(shè)備中使用的氮化鋁加熱器。通過在京畿道安城和江原道江陵建立了韓國最大的量產(chǎn)設(shè)施以應(yīng)對日益增長的氮化鋁加熱器需求，2022年實現(xiàn)氮化鋁加熱器出貨超過12,000個。官網(wǎng)：https://www.micoceramics.com- 京瓷株式會社（KYOCERA Corporation）
京瓷株式會社成立于1959年4月1日，是全球領(lǐng)先的先進陶瓷生產(chǎn)企業(yè)。針對φ200/300mm 設(shè)備，工藝腔室中使用的晶片加熱器利用了氮化鋁的高導熱性和等離子體阻抗。純度高達99.9%以上，熱量分布均勻。n2023年4月，京瓷宣布投資620億日元新建諫早工廠，生產(chǎn)半導體陶瓷零部件及封裝產(chǎn)品。官網(wǎng)：https://www.kyocera.com.cn住友電氣工業(yè)株式會社創(chuàng)立于1897年4月，通過將其專有的高性能材料技術(shù)與工藝技術(shù)（例如金屬化，連接，密封）和熱設(shè)計技術(shù)相結(jié)合，提供具有優(yōu)異熱特性的熱控制設(shè)備。這些技術(shù)應(yīng)用于半導體制造設(shè)備的加熱器，實現(xiàn)了優(yōu)異的溫度均勻性和快速的加熱和冷卻特性。2021年1月，開發(fā)出用于半導體制造工藝中前段制程（在硅晶圓上形成電路的工序）的高精度溫度分布控制系統(tǒng)SumiTune?，SumiTune?由分為6個區(qū)域的加熱器（SumiTune? Heater）以及能夠?qū)@6個區(qū)域進行高效且高精度的功率控制的控制器（SumiTune? Controller）構(gòu)成。官網(wǎng)：https://sumitomoelectric.com/BoBoo Hitech是1994年3月成立的半導體生產(chǎn)設(shè)備的部件開發(fā)/制造專業(yè)企業(yè)。自主開發(fā)和供應(yīng)半導體生產(chǎn)所需的CVD工藝核心部件加熱器及其相關(guān)部件。官網(wǎng)：http://boboohitech.co.kr/
CoorsTek, Inc.于 1910 年在美國注冊成立，是全球領(lǐng)先的先進陶瓷制造商，在全球擁有超過 50 家工廠，為航空航天、汽車、化學、電子、醫(yī)療、冶金、石油天然氣、半導體等眾多行業(yè)提供先進陶瓷。CoorsTek開發(fā)的Cercom? 氮化鋁加熱器確保一致的熱量分配和持久可靠的性能，支持150mm-450mm尺寸規(guī)格。官網(wǎng)：https://www.coorstek.com
SemiXicon總部位于硅谷，為全球半導體、光子學和醫(yī)療等行業(yè)提供精密陶瓷加工和裝配解決方案，其核心技術(shù)為半導體晶圓處理卡盤臺，如多孔陶瓷真空卡盤臺、SSiC、SiSiC 針式卡盤和 ESC 和陶瓷加熱器。2023年3月CERAMERIC LLC 宣布收購 WERLCHEM LLC DBA SEMIXICON 的資產(chǎn)。氮化鋁加熱器采用專門配制的高導熱氮化鋁陶瓷材料，用于半導體行業(yè)。官網(wǎng)：https://www.semixicon.com/KSM Component成立于2004年，是專門制造金屬和陶瓷加熱器的公司，向客戶提供金屬焊接波紋管、磁流體密封、全氟密封圈三位一體的密封解決方案，還供應(yīng)加熱器以及各種半導體、平板顯示產(chǎn)業(yè)用Sub Assembly。KSMC提供最高品質(zhì)的金屬、陶瓷加熱器，用于半導體CVD、Etch等工藝。官網(wǎng)：https://www.ksm.co.kr/WONIK QnC創(chuàng)立于1983年，是一家專門制造和供應(yīng)生產(chǎn)半導體晶圓所使用的石英部件和生產(chǎn)半導體及顯示器所使用的陶瓷部件的復(fù)合材料零部件專業(yè)公司。
陶瓷事業(yè)部可以生產(chǎn)多種材料(Al2O3, Y2O3, YAG, SiC, AlN, Si3N4, ZrO2, BN), 擁有功能性陶瓷零部件(ESC, Heater, Wafer Table)生產(chǎn)的全套工藝。陶瓷事業(yè)部提供半導體、OLED、汽車等領(lǐng)域所需的精密陶瓷零部件綜合解決方案。
官網(wǎng)：https://www.wonikqnc.com/
河北中瓷電子科技股份有限公司(股票代碼：003031)成立于2009年8月6日，是專業(yè)從事電子陶瓷系列產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，致力于成為世界一流的電子陶瓷產(chǎn)品供應(yīng)商。2022年中瓷電子布局精密陶瓷零部件領(lǐng)域，助力半導體設(shè)備零部件國產(chǎn)化。中瓷電子開發(fā)的陶瓷加熱盤產(chǎn)品核心技術(shù)指標已達到國際同類產(chǎn)品水平并通過用戶驗證，實現(xiàn)了關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化，已批量應(yīng)用于國產(chǎn)半導體關(guān)鍵設(shè)備中。官網(wǎng)：https://www.sinopack.com.cn/深圳市商德先進陶瓷股份有限公司成立于2006年，經(jīng)過多年的研發(fā)逐漸打破國外壟斷，生產(chǎn)的陶瓷吸嘴、軸承軸套、加熱臺、劈刀等產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界一線的半導體設(shè)備商和電子制造企業(yè)中。深圳商德擬在安徽巢湖經(jīng)開區(qū)投資建設(shè)半導體陶瓷材料項目，主要建設(shè)陶瓷劈刀、多層共燒陶瓷的生產(chǎn)車間及研發(fā)中心。陶瓷加熱器（盤）主要材料是AlN，和復(fù)雜的鎢電路燒結(jié)而成，熱響應(yīng)速度快及溫度均勻，且可集成溫度傳感器，應(yīng)用于半導體行業(yè)中，晶圓工藝設(shè)備中。官網(wǎng)：https://www.suntechceramics.cn/蘇州珂瑪材料科技股份有限公司成立于2009 年 4 月 27 日，是國內(nèi)半導體設(shè)備用先進陶瓷材料零部件的頭部企業(yè)。依托領(lǐng)先的材料能力和豐富的加工制造工藝，其先進陶瓷材料零部件的下游領(lǐng)域覆蓋較為廣闊。先進陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造前道工藝設(shè)備，目前已進入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴散設(shè)備，并批量應(yīng)用于14nm和28nm制程設(shè)備和生產(chǎn)過程中。半導體設(shè)備用先進陶瓷包括圓環(huán)圓筒、承重、手爪和模塊等類型。在陶瓷加熱器方面，蘇州珂瑪通過承擔國家“02 專項”之“PECVD 設(shè)備用陶瓷加熱盤的關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項目課題以及多年研發(fā)，目前已探索形成陶瓷加熱器自主可控的生產(chǎn)能力，相關(guān)產(chǎn)品目前正在客戶驗證中。官網(wǎng)：https://www.kematek.com中山市思考電子科技有限公司成立于2016年，由深圳總公司擴遷至中山，廠房面積約9000平方米。擁有14余年專注從事半導體晶圓劃片刀、陶瓷真空工作盤、CVD靜電吸盤、電木橡膠吸咀等半導體耗材經(jīng)驗。2012年開始自主研發(fā)氮化鋁加熱器、ESC靜電吸盤項目，2022年靜電卡盤事業(yè)部已掌握氮化鋁陶瓷高溫共燒技術(shù)，目前氮化鋁加熱器已面市，開始批量交付客戶使用；ESC靜電吸盤已進入裝配測試階段。思考電子自主研發(fā)氮化鋁陶瓷加熱器規(guī)格尺寸可根據(jù)客戶需要定做。官網(wǎng)：http://www.taniss.com/- 廣東海拓創(chuàng)新精密設(shè)備科技有限公司
海拓創(chuàng)新是一家專注半導體及顯示行業(yè)關(guān)鍵零部件進行國產(chǎn)化的技術(shù)型公司。在國產(chǎn)化靜電卡盤及基于靜電卡盤為技術(shù)核心設(shè)備領(lǐng)域的設(shè)計、生產(chǎn)具有領(lǐng)先地位。通過了ISO14001、ISO14001等國際質(zhì)量體系認證。應(yīng)用混凝陶瓷燒結(jié)技術(shù)，可在較低的燒結(jié)溫度下實現(xiàn)納米級陶瓷粉體快速致密化，制備出致密性高、晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、體電阻率分布均勻的陶瓷靜電卡盤和陶瓷靜電卡盤加熱器總成。官網(wǎng)：www.seatools-tech.com/福建華清電子材料科技有限公司成立于2004年8月，系一家專業(yè)從事高熱導率氮化鋁陶瓷基板和電子陶瓷元器件研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技企業(yè)，產(chǎn)品主要應(yīng)用于5G通訊、LED封裝、半導體、功率模塊(IGBT)、影像傳感、醫(yī)療、汽車電子等高科技領(lǐng)域。華清生產(chǎn)的氮化鋁加熱板可根據(jù)客戶需要定制尺寸或特殊形狀的產(chǎn)品，實現(xiàn)快速加熱和冷卻，可應(yīng)用于半導體設(shè)備（PVD、CVD、ETCH、處理器）的關(guān)鍵核心部件。官網(wǎng)：http://www.aln.net.cn艾邦建有半導體陶瓷產(chǎn)業(yè)交流群，歡迎產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)掃碼下方二維碼進入：
推薦活動：【邀請函】2024年半導體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇（2024年4月12日·泉州）
2024年半導體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum福建省泉州市晉江市濱江路999號
媒體支持：艾邦半導體網(wǎng)、艾邦陶瓷展、陶瓷科技視野序號 | 暫定議題 | 擬邀請企業(yè) |
1 | 半導體設(shè)備中陶瓷零部件的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景 | 清華大學 新型陶瓷與精細工藝國家重點實驗室 潘偉 教授 |
2 | 氮化鋁基板和器件與半導體應(yīng)用 | 華清電子 向其軍 博士 |
3 | 畢克助劑在陶瓷行業(yè)中的應(yīng)用 | 畢克化學新能源 業(yè)務(wù)經(jīng)理?王玉立? |
4 | 先進陶瓷材料制備與智能化實驗平臺 | 北京科技大學 教授 白洋 |
5 | 高性能氮化鋁和氧化鋁粉體連續(xù)式生產(chǎn)關(guān)鍵工藝技術(shù) | 中鋁新材料?事業(yè)部總經(jīng)理?吳春正 |
6 | 多孔陶瓷的研究進展及在半導體領(lǐng)域的應(yīng)用 | 擬邀請多孔陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
7 | LTCC技術(shù)在半導體晶圓探針卡中的應(yīng)用 | 擬邀請?zhí)结樋ㄆ髽I(yè)/高校研究所 |
8 | CVD用絕緣高導熱氮化鋁陶瓷加熱器的研發(fā) | 擬邀請?zhí)沾杉訜岜P企業(yè)/高校研究所 |
9 | 耐等離子腐蝕的氧化釔陶瓷的開發(fā)與應(yīng)用 | 擬邀請氧化釔陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
10 | 高強度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的開發(fā) | 擬邀請氮化硅陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
11 | 碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件在集成電路制造關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用 | 擬邀請?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所 |
12 | 半導體裝備用陶瓷靜電卡盤關(guān)鍵技術(shù) | 擬邀請靜電卡盤企業(yè)/高校研究所 |
13 | 高純氧化鋁陶瓷制備工藝及其在半導體領(lǐng)域的應(yīng)用 | 擬邀請氧化鋁陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
14 | 真空釬焊設(shè)備在半導體領(lǐng)域的應(yīng)用 | 擬邀請真空釬焊企業(yè)/高校研究所 |
15 | 高精度復(fù)雜形狀碳化硅陶瓷制備工藝研究 | 擬邀請?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所 |
16 | 半導體設(shè)備用陶瓷的成型工藝技術(shù) | 擬邀請成型設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
17 | 高強度氮化硅粉體制備工藝技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化 | 擬邀請氮化硅粉體企業(yè)/高校研究所 |
18 | 第三代功率半導體封裝用AMB陶瓷覆銅基板 | 擬邀請AMB企業(yè)/高校研究所 |
19 | 覆銅陶瓷基板的失效機理分析及可靠性設(shè)計 | 擬邀請?zhí)沾苫迤髽I(yè)/高校研究所 |
20 | 特種陶瓷高溫燒結(jié)工藝技術(shù) | 擬邀請熱工裝備企業(yè)/高校研究所 |
21 | 半導體設(shè)備用陶瓷零部件表面處理技術(shù) | 擬邀請表面處理/陶瓷零部件企業(yè) |
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