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日本大阪大學接合科學研究所塚本雅裕教授與同和控股(集團)有限公司(DOWA)及島津制作所共同開發的一項新技術,該技術利用藍色半導體激光器的多光束增材制造方法,成功在氮化鋁基板上形成純銅薄膜。

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圖 藍色半導體激光器

功率半導體是電子裝置中電能轉換與電路控制的核心,主要用于改變電子裝置中電壓和頻率、直流交流轉換等。金屬化陶瓷基板是功率半導體器件的重要組成部分,通常采用在陶瓷基板的兩面接合銅板的方式。其中,典型的陶瓷基板是具有高導熱性的氮化鋁,目前的技術開發目標是提高其可靠性并降低成本。

傳統上,氮化鋁與銅的主流接合方法是AMB法(活性金屬釬焊法),即使用含有活性金屬的釬料進行接合。然而,塚本教授等人研究通過藍色半導體激光器的多光束增材制造方法,使得氮化鋁與銅的直接接合成為可能。這一研究成果通過低熱輸入和局部加熱的創新技術,實現了氮化鋁基板上純銅的直接接合,提升了高可靠性,并有望減少材料損耗和制造工序,進而促進節能和碳中和社會的實現。

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