1)優(yōu)良的高頻電學(xué)特性。玻璃材料是一種絕緣體材料,介電常數(shù)只有硅材料的1/3左右,損耗因子比硅材料低2-3個數(shù)量級,使得襯底損耗和寄生效應(yīng)大大減小,保證了傳輸信號的完整性;
2)大尺寸超薄玻璃襯底易于獲取。Corning、Asahi以及SCHOTT等玻璃廠商可以提供超大尺寸(>2m × 2m)和超薄(<50μm)的面板玻璃以及超薄柔性玻璃材料。
3)低成本。受益于大尺寸超薄面板玻璃易于獲取,以及不需要沉積絕緣層,玻璃轉(zhuǎn)接板的制作成本大約只有硅基轉(zhuǎn)接板的1/8;
4)工藝流程簡單。不需要在襯底表面及TGV內(nèi)壁沉積絕緣層,且超薄轉(zhuǎn)接板中不需要減薄;
5)機(jī)械穩(wěn)定性強(qiáng)。即便當(dāng)轉(zhuǎn)接板厚度小于100μm時,翹曲依然較小;
6)應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,是一種應(yīng)用于晶圓級封裝領(lǐng)域的新興縱向互連技術(shù),為實(shí)現(xiàn)芯片-芯片之間距離最短、間距最小的互聯(lián)提供了一種新型技術(shù)途徑,具有優(yōu)良的電學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)性能,在射頻芯片、高端MEMS傳感器、高密度系統(tǒng)集成等領(lǐng)域具有獨(dú)特優(yōu)勢,是下一代5G、6G高頻芯片3D封裝的首選之一。
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