LTCC制作工藝過程中線條、圖案、電阻等關(guān)鍵部分都是通過絲網(wǎng)印刷的方式來實現(xiàn)，其優(yōu)點是生產(chǎn)效率高、生產(chǎn)成本低。可以說絲網(wǎng)印刷工藝是LTCC精密布線的基礎(chǔ)。
在LTCC微波組件中，其對絲印線條的狀態(tài)要求更高，其中微帶線、帶狀線的邊緣狀態(tài)和光潔度對微波電路的插入損耗都有直接關(guān)系，可以說微帶線、帶狀線的精細制作，是微波性能的保證。
印刷用網(wǎng)版的網(wǎng)布規(guī)格、張力大小和感光膜厚度可以說是絲印線條分辨率和解析度的基礎(chǔ)，其“先天性” 地決定了LTCC絲印線路的狀態(tài)。因此網(wǎng)版質(zhì)量的好壞直接影響著印刷的質(zhì)量。
LTCC用印刷網(wǎng)版制作工藝流程
繃網(wǎng)質(zhì)量指標(biāo)主要有張力的大小、均勻性。張力大小合適且分布均勻的網(wǎng)版是精確地再現(xiàn)印刷圖形的最基本條件。
（1）選擇合適規(guī)格的絲網(wǎng)材料。目前，在微電子封裝厚膜電路印刷中應(yīng)用的絲網(wǎng)主要是聚酯網(wǎng)和不銹鋼絲網(wǎng)。隨著電子封裝高集成度、高封裝密度的趨勢，要求印刷線條和線間距越來越小，圖形的分辨率越來越高。當(dāng)前，LTCC印刷圖形線條已達到50～100μm，有的產(chǎn)品甚至更小。
（2）網(wǎng)版從拉網(wǎng)機上裁下后張力都會下降，所以粘網(wǎng)前網(wǎng)布張力要比設(shè)定值大一些；
（3）繃網(wǎng)過程中要避免一次性繃網(wǎng)拉力過大，否則容易出現(xiàn)崩網(wǎng)情況或者影響網(wǎng)版的耐用性；
（4）制作聚酯-不銹鋼絲網(wǎng)復(fù)合網(wǎng)版時，聚酯網(wǎng)伸縮率大，繃網(wǎng)時四角及中心區(qū)域拉伸率偏差較大，影響整個網(wǎng)版張力的均勻性，甚至在四角容易出現(xiàn)崩網(wǎng)現(xiàn)象，可在繃網(wǎng)前可在四角進行留邊措施。
涂感光膠工藝是采用涂布機或手工刮刀在網(wǎng)布上涂覆一定厚度的感光材料以便后道工序在網(wǎng)版上制作出所需要的圖形。一個好的網(wǎng)版要求感光膠首先在印刷面有一定的厚度并且表面平整光滑，這樣漿料在印刷時不會從底部凹陷處漏出形成“鋸齒” ，其次感光膠還能夠把絲網(wǎng)網(wǎng)格填滿，這樣可以減少印刷刮膠與網(wǎng)版的摩擦力。
（1）采用“2+2” 雙面涂布法，即網(wǎng)布前后面各用一個刮刀同時涂布2次，這樣能夠有效地填滿絲網(wǎng)網(wǎng)格；
（2）干燥后，改用“0+4” 涂布法，即僅在印刷面加涂感光膠4次，主要增加網(wǎng)版膜厚并使其表面平整光滑；
（3）干燥后，測量膜厚，繼續(xù)用“0+4” 涂布法；
（4）重復(fù)（2）、（ 3）步過程直到膜厚達到指定要求。
曝光、顯影過程是用紫外光透過菲林片的空白區(qū)域照射涂覆感光膠的網(wǎng)版，使得乳膠分子與敏化劑（感光劑）分子發(fā)生化學(xué)交聯(lián)反應(yīng)生成空間網(wǎng)狀或鏈狀大分子結(jié)構(gòu)的膜層。
而對于菲林片中黑色線條擋住沒有照射紫外線的感光膠膜在顯影過程中則會溶解于顯影劑顯露出網(wǎng)絲間隔。
（1）菲林片質(zhì)量：黑白對比強烈，邊緣銳利，圖形清晰、完整，沒有砂眼等缺陷，另外曝光時菲林片要注意正反面，并緊貼著網(wǎng)版；
（2）曝光機光源：要優(yōu)選平行光曝光機，這樣能有效減少曝光時的側(cè)侵蝕。曝光機光源功率越高，可以減少曝光時間，減少側(cè)侵蝕；
（3）曝光時間：沒有完全理想的平行光曝光機，所以曝光時間越長側(cè)侵蝕越嚴(yán)重，后續(xù)顯影后線條會有一定的坡邊，影響線條寬度；曝光時間短，感光膠膜與網(wǎng)布的附著強度差，所以高精度網(wǎng)版制作時要在滿足強度的條件下選用最短的曝光時間。
（4）顯影水壓和時間：顯影沖洗時要均勻，一般水壓越大，圖形邊緣銳利性會越好，顯影時間則要在顯影完全的條件下選擇最短的顯影時間。圖4是采用不同的顯影時間制作的網(wǎng)版線條顯微形貌照片，從圖上可以看出顯影時間太長時，圖形邊緣的棱角便開始出現(xiàn)部分溶解鈍化， 影響線條的銳利性。
網(wǎng)版制作完畢，需仔細檢查是否存在砂眼，圖形是否完整，然后可用高倍數(shù)影像測量儀和精密張力計檢測網(wǎng)版線條寬度以及最終的網(wǎng)版張力，最后在網(wǎng)版四周涂覆封網(wǎng)膠并粘貼銀龍膠帶， 這樣能夠避免在使用過程中的酒精、丙酮等化學(xué)試劑腐蝕粘網(wǎng)膠，提高網(wǎng)版的使用壽命。
LTCC技術(shù)對原材料、設(shè)備及零件的精度要求非常高，隨著微型化產(chǎn)品的需求增加，網(wǎng)版的線寬規(guī)格也將變得越來越小。制作高精度的網(wǎng)版，是保障做好完美產(chǎn)品的前提。
為了進一步加強交流，艾邦建有LTCC交流群，誠邀LTCC生產(chǎn)企業(yè)、設(shè)備、材料企業(yè)參與。目前群友包括：風(fēng)華高科、順絡(luò)電子、中國集團研究所、中瓷電子、麥捷微、宏達電子、佳利電子、研創(chuàng)光電、云之微、電子科大、國防科大、村田、太陽誘電等加入。
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議題
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邀請企業(yè)
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MLCC未來發(fā)展趨勢
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宇陽科技 陳永學(xué) 戰(zhàn)略總監(jiān)
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應(yīng)用于電子陶瓷領(lǐng)域的畢克產(chǎn)品介紹
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畢克化學(xué) 王玉立 博士
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高性能介質(zhì)材料與元器件
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天津大學(xué)微電子學(xué)院 李玲霞教授/博士生導(dǎo)師
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MLCC用內(nèi)/外電極材料成分改善研究
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江蘇博遷新材料 江益龍 總經(jīng)理
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5
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疊層機在高端電子陶瓷上的研發(fā)突破
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業(yè)內(nèi)知名設(shè)備企業(yè)（已確認）
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LTCC高頻低介電常數(shù)陶瓷生料帶
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上海晶材新材料 汪九山 總經(jīng)理
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淺談我國無源元器件的機遇與挑戰(zhàn)
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風(fēng)華高科 黃昆 LTCC事業(yè)部經(jīng)理/技術(shù)總監(jiān)
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MLCC制作過程中失效原因分析
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深圳納科科技 段建林 總經(jīng)理
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多層共燒陶瓷粉料的創(chuàng)新研究
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華東理工大學(xué) 曾惠丹 教授
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LTCC材料及工藝研究
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電子科技大學(xué) 李元勛 教授
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LTCC技術(shù)工藝集成優(yōu)化方案
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214所 何中偉 總工藝師
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抓住5G機遇，加速LTCC技術(shù)發(fā)展
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擬邀請順絡(luò)電子
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HTCC的技術(shù)特點、工藝及發(fā)展趨勢
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擬邀請四川六方鈺成/艾森達新材料
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導(dǎo)電漿料在電子陶瓷上的研究應(yīng)用
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擬邀清華大學(xué)/乾宇電子/海外華昇
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LTCC技術(shù)在5G通訊用電子陶瓷產(chǎn)品上的應(yīng)用
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擬邀請中電13所/麥捷微電子/54所
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多層陶瓷電容器瓷料摻雜改性研究
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上海硅酸鹽所 陳學(xué)鋒 研究員/博士
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溫水等靜壓機用于電子陶瓷的控制系統(tǒng)
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擬邀請中電2所
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激光用于電子陶瓷行業(yè)的解決方案
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待定
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贊助企業(yè)：
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宇陽科技
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畢克化學(xué)
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天津大學(xué)
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廣東國元行化工科技有限公司
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合肥費舍羅熱工裝備有限公司
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上海住榮科技有限公司
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無錫晨穎機械科技有限公司
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韓國賽諾-上海矽諾國際貿(mào)易有限公司
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東莞市騰科視覺自動化設(shè)備有限公司
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原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦陶瓷展）：LTCC印刷網(wǎng)版制作工藝簡介
