陶瓷基板材料憑借其極好的耐高溫、耐腐蝕、熱導(dǎo)率高、機械強度高、熱膨脹系數(shù)與芯片相匹配及不易劣化等特性成為大功率、高密度、高溫及高頻器件封裝的首選。目前應(yīng)用于陶瓷基板的陶瓷材料主要有：氧化鈹（BeO）、氧化鋁（Al2O3）、氮化鋁（AlN）、氮化硅（Si3N4）和碳化硅（SiC）等。
近年來，電子電力器件朝大功率、高頻化、高密度、集成化等方向發(fā)展，對器件中陶瓷散熱基板提出了更高要求。與AlN和Al2O3陶瓷基板材料相比，Si3N4具有一系列獨特的優(yōu)勢：
- 和氧化鋁基板或氮化鋁基板相比，Si3N4約有兩倍以上的抗彎強度。在散熱量相同的情況下，Si3N4陶瓷基片即使做得更薄仍能滿足強度的要求；
- Si3N4屬于六方晶系，有α、β和γ三種晶相，其中α相和β相是Si3N4最常見的形態(tài)，均為六方結(jié)構(gòu)，可在常壓下制備。研究者根據(jù)Si3N4的結(jié)構(gòu)提出β-Si3N4的理論熱導(dǎo)率高達(dá)200～320W/m·K。和氧化鋁基板或ZTA基板相比，擁有三倍以上的熱導(dǎo)率；
- Si3N4抗氧化性比AlN強，可以水基處理，從而可大大降低成本；
- Si3N4還具有常溫和高溫下一系列獨特優(yōu)異的物理、化學(xué)性能，如高韌性、耐熱沖擊性、良好的絕緣性、耐磨損和耐腐蝕等，且性能保持至溫度達(dá)到1000℃不明顯下降；
- 低熱膨脹系數(shù)，熱膨脹系數(shù)與大多數(shù)半導(dǎo)體材料（如SiC）匹配，因而使其器件的可靠性更優(yōu)異。
Si3N4具有高導(dǎo)熱、高強度、高韌性、低密度、自潤滑性、優(yōu)異的抗熱震性，是國內(nèi)外公認(rèn)兼具高導(dǎo)熱、高可靠性等綜合性能最好的陶瓷基板材料，適用于IGBT、SiC等對大功率半導(dǎo)體器件等要求高可靠性的絕緣電路板用途。據(jù)ICRWorld數(shù)據(jù)顯示，得益于新能源車的快速發(fā)展，2026年，全球氮化硅陶瓷基板行業(yè)總產(chǎn)值預(yù)計達(dá)1.83億美元, 全球市場復(fù)合增長率達(dá)到8.16 %。
氮化硅陶瓷基板入門的門檻非常高，目前我國的高導(dǎo)熱 Si3N4 陶瓷基板與國外還是存在差距，產(chǎn)品性能較為單一。氮化硅基板的主流供應(yīng)商為國外企業(yè)，如東芝、丸和、日立金屬等。近年來，國內(nèi)企業(yè)及研究所在氮化硅基板方面不斷做技術(shù)突破，如中材高新氮化物陶瓷、上海硅酸鹽研究所、福建臻璟 、成都旭瓷、海古德、江西創(chuàng)科、浙江正天、威海圓環(huán)等。下面我們一起來了解幾家氮化硅基板廠商。（以下序號不代表排名，歡迎大家留言補充），歡迎掃描下方二維碼，加入微信群，與行業(yè)認(rèn)識一起交流！
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1.中材高新氮化物陶瓷有限公司
中材高新氮化物陶瓷有限公司是隸屬于中國建材集團有限公司的國家級高新技術(shù)企業(yè)，自上世紀(jì)70年代開始，一直致力于先進(jìn)技術(shù)陶瓷的研究和生產(chǎn)，滿足不同工業(yè)領(lǐng)域的需求，并能為客戶提供最佳的解決方案。
主要從事氮化硅、碳化硅、氧化鋯、氧化鋁等先進(jìn)陶瓷材料的研究和生產(chǎn)。尤 其是在氮化硅陶瓷方面的研究和生產(chǎn)始于 20 世紀(jì) 70 年代，是國內(nèi)最早從事氮化硅陶瓷領(lǐng)域研究的單位之一，獲得 65 項相關(guān)發(fā)明專利，技術(shù)和生產(chǎn)實力居國內(nèi)領(lǐng)先水平，生產(chǎn)規(guī)模在國內(nèi)居于首位。氮化硅高導(dǎo)熱基片應(yīng)用于混合動力汽車PCU控制單元。官網(wǎng)：http://www.sinomaceramic.com
2.浙江正天新材料科技有限公司
浙江正天新材料科技有限公司成立于2017年，主要業(yè)務(wù)是氮化鋁(AIN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及制品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售及行業(yè)服務(wù)。
浙江正天具體業(yè)務(wù)包括氮化鋁陶瓷、氮化鋁基板、氮化硅陶瓷、氮化硅基板及AlN陶瓷基片等，產(chǎn)品主要用于電機動力系統(tǒng)中電子元件上功率模塊內(nèi)的覆銅陶瓷基板。正天新材擁有多條大型流延生產(chǎn)線，從流延、裁切、沖孔、靜壓、熱切至燒結(jié)成型擁有完整加工鏈。官網(wǎng)：http://www.cnzhengtian.com
3.江西創(chuàng)科新材料科技有限公司
江西創(chuàng)科新材料科技有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高新科技企業(yè)，由新余前衛(wèi)化工有限公司引進(jìn)國內(nèi)同行業(yè)頂尖生產(chǎn)、技術(shù)團隊共同投資打造的創(chuàng)新型公司。
江西創(chuàng)科注冊資金5000萬元，項目總投資2.45億元，首期投資1.32億元，主要生產(chǎn)氮化鋁陶瓷基板、99.6%氧化鋁陶瓷基板和氮化硅基板、HTCC；二期投資1.13億元，主要生產(chǎn)多層共燒陶瓷基板及各種電子陶瓷元器件。官網(wǎng)：http://jxckam.com
4.威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司
威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司創(chuàng)建于2015年，廠區(qū)面積6000余平方米，專業(yè)從事氮化硅陶瓷基復(fù)合材料的研發(fā)，生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品有氮化硅陶瓷磨珠，氮化硅陶瓷基板，精磨氮化硅軸承球以及各種異形氮化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件等。?
威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷與國內(nèi)著名科研院所聯(lián)合進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)學(xué)研合作研發(fā)，納米粉體、亞微米粉體、陶瓷成型、冷等靜壓、熱壓燒結(jié)、精密陶瓷機械加工等工藝手段齊全，率先實現(xiàn)氮化硅磨珠、氮化硅陶瓷基板等前沿產(chǎn)品的工業(yè)化生產(chǎn)。威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司投資建設(shè)年產(chǎn)60萬片高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板產(chǎn)業(yè)化項目。
5.蘇州博勝材料科技有限公司
蘇州博勝材料科技有限公司是一家專業(yè)從事先進(jìn)陶瓷材料、新技術(shù)研發(fā)的全球技術(shù)領(lǐng)先的科技型企業(yè)。公司成立于2022年，項目始于2018年。公司主營產(chǎn)品包括陶瓷基板、陶瓷材料、膜帶漿料、技術(shù)服務(wù)支持等。公司已通過國際ISO9001、IATF16949等資質(zhì)認(rèn)證，部分產(chǎn)品已通過行業(yè)龍頭企業(yè)的驗證，并進(jìn)入批量供貨階段。博勝材料始終致力于成為電力電子、半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供最優(yōu)的材料、器件解決方案，成為世界一流的新材料產(chǎn)品供應(yīng)商。
6.江西中科上宇科技有限公司
景德鎮(zhèn)陶文旅集團還與上海硅酸鹽研究所進(jìn)行合作，共同出資組建了江西中科上宇科技有限公司，專門從事陶瓷基板先進(jìn)封裝材料的技術(shù)開發(fā)、生產(chǎn)和銷售，現(xiàn)階段以氮化硅陶瓷基板的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為主營業(yè)務(wù)。項目占地面積為100畝，總投資約6億元，一期項目建設(shè)預(yù)計12月底正式投產(chǎn)。
7.成都旭瓷新材料有限公司
2020 年 12 月，旭光電子與其他方共同出資成立了旭瓷，旭瓷現(xiàn)已建成氮化鋁粉體、氮化鋁陶瓷基板和氮化鋁結(jié)構(gòu)件三條生產(chǎn)線，且均實現(xiàn)量產(chǎn)，已實現(xiàn)產(chǎn)品送樣驗證和銷售。旭瓷全資子公司寧夏北瓷新材料科技有限公司。
由旭光電子及控股子公司成都旭瓷新材料共同實施的電子陶瓷材料產(chǎn)業(yè)化項目（一期），建成后將形成年產(chǎn)氮化鋁陶瓷基板500萬片、氮化硅陶瓷基板120萬片、氮化鋁結(jié)構(gòu)件11,000件、高溫多層共燒氮化鋁陶瓷基板6萬片及高溫多層共燒氧化鋁陶瓷基板6萬件等電子陶瓷相關(guān)產(chǎn)品。官網(wǎng)：https://www.cdxuci.cn
8.無錫海古德新技術(shù)有限公司
無錫海古德新技術(shù)有限公司成立于2008年11月，是一家擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、高科技專利技術(shù)，集新型陶瓷材料及其電子元件研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的現(xiàn)代化高新技術(shù)企業(yè)。核心產(chǎn)品高性能氮化鋁（AlN）陶瓷材料、氮化硅（Si3N4）陶瓷基板及其元器件。
無錫海古德半導(dǎo)體用高性能陶瓷材料項目已開工，項目建成后可年產(chǎn)半導(dǎo)體用高性能陶瓷材料氮化鋁基板720萬片、氮化硅基板300萬片、氮化鋁/氮化硅結(jié)構(gòu)件50萬件。官網(wǎng)：http://www.hy-good.com/
9.福建臻璟新材料科技有限公司
福建臻璟新材料科技有限公司成立于2018年，是一家全國領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體氮化物材料供應(yīng)商及熱管理方案解決商。
主營產(chǎn)品有：高純氮化鋁粉、氮化鋁造粒粉、氮化鋁大顆粒填充粉、球型填充粉、氮化鋁陶瓷基板、氮化硅陶瓷基板。目前車間陶瓷流延線產(chǎn)能可達(dá)300萬片/年。官網(wǎng)：http://www.zingin.co
10.貴州新鴻泰科技有限公司
貴州新鴻泰科技有限公司成立于2022年，公司主要業(yè)務(wù)有氮化鋁（AlN）、氮化硅（Si3N4）陶瓷基板及制品的研發(fā)、生產(chǎn)和新型陶瓷材料銷售等。
官網(wǎng)：http://gzxhtkj.com
11.江蘇方達(dá)正塬電子材料科技有限公司
江蘇方達(dá)正塬電子材料科技有限公司立于2020年，主要從事氮化硅絕緣材料、覆銅基板等相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用研究。
自2021年3月投資50萬元立項研究，氮化硅陶瓷基板制備關(guān)鍵技術(shù)和裝備。目前正在研究“熱導(dǎo)率≥160W/(m.K)@斷裂韌性≥16MPa/m2”的新一代氮化硅基板關(guān)鍵制造技術(shù)。官網(wǎng)：https://foundarzy.com
12.新疆晶碩新材料有限公司
新特能源股份有限公司是特變電工股份有限公司控股子公司，是專業(yè)從事光伏新能源產(chǎn)品研制，硅基新材、先進(jìn)陶瓷、鋯基新材、粉體新材等產(chǎn)品研發(fā)，風(fēng)、光資源的開發(fā)及運營以及節(jié)能環(huán)保技術(shù)應(yīng)用的高新技術(shù)企業(yè)集團。
高純氮化硅粉體由新特能源旗下子公司新疆晶碩新材料有限公司研發(fā)、生產(chǎn)，目前已投資建設(shè)年產(chǎn)100噸氮化硅粉和100000件氮化硅陶瓷環(huán)的生產(chǎn)線。同時也是少數(shù)能批量生產(chǎn)85W/m·K以上熱導(dǎo)率基板的企業(yè)之一。官網(wǎng)：https://www.xinteenergy.com
13.凱樂士股份有限公司
凱樂士股份有限公司(KallexCompany,Ltd)成立于1996年，主要從事碳化硅(SiC)及其他各種精密陶瓷產(chǎn)品的研發(fā)和制造。
凱樂士可提供氮化硅基板客制化服務(wù)以及研磨和拋光服務(wù)。官網(wǎng)：https://www.kallex.com.tw?
14.浙江上硅聚力特材科技有限公司
浙江上硅聚力特材科技有限公司系國內(nèi)專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)高性能氮化硅陶瓷材料的骨干制造商，公司擁有領(lǐng)先的氮化硅陶瓷生產(chǎn)工藝和精密加工技術(shù)，致力于為國內(nèi)外先進(jìn)裝備、新能源、電動汽車、航空航天等領(lǐng)域提供專業(yè)周到的氮化硅材料解決方案。生產(chǎn)由氮化硅基片。官網(wǎng)：http://www.zjsgjl.com
15.山東厚發(fā)新材料科技有限公司
山東厚發(fā)新材料科技有限公司，集生產(chǎn)、研發(fā)、銷售為一體，以無機非金屬材料為主要開發(fā)方向。專業(yè)生產(chǎn)銷售：高端耐火材料、精密陶瓷結(jié)構(gòu)件、陶瓷閥門管件等。可提供氮化硅基板。
官網(wǎng)：http://www.sdhofa.com
16.河北高富氮化硅材料有限公司
河北高富氮化硅材料有限公司是一家致力于生產(chǎn)高性能氮化硅產(chǎn)品的高新技術(shù)企業(yè)。公司最早成立于2001年，經(jīng)過了二十余年的發(fā)展，公司先后研發(fā)并量產(chǎn)了2001年氮化硅結(jié)合碳化硅板材、2003年普通氮化硅粉體、2009年陶瓷級氮化硅粉體、2012年光伏級氮化硅粉體、2015年電子級氮化硅粉體、2020年高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板。
官網(wǎng)：http://www.corefra.cn
17.?？酥Z新材料（大連）有限公司
?？酥Z新材料（大連）有限公司成立于2013年，主要產(chǎn)品為氮化硅粉體、氮化硅陶瓷軸承秋、氮化硅陶瓷閥芯、氮化硅陶瓷基板及氮化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件制品。
官網(wǎng)：http://www.aikenuo.com18.西安澳秦新材料有限公司
西安澳秦新材料有限公司成立于1998年，總部位于西安經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，分別在嘉峪關(guān)、西安等地設(shè)有生產(chǎn)工廠。長期與西安交通大學(xué)、西北工業(yè)大學(xué)、西安電子科技大學(xué)優(yōu)秀研發(fā)團隊進(jìn)行產(chǎn)學(xué)研合作，就高轉(zhuǎn)速氮化硅陶瓷球、高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板、耐高溫透波陶瓷、透明陶瓷、多孔陶瓷等領(lǐng)域進(jìn)行了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。官網(wǎng)：http://www.xaaq.com
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8月23~25日，氮化硅陶瓷基板廠商浙江正天（展位：11B33）、江西創(chuàng)科（展位：11B07）將參與艾邦第五屆精密陶瓷展覽會，地址：深圳寶安·國際會展中心11號館，歡迎蒞臨參觀交流!點擊閱讀原文，了解展會詳情！
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：高可靠氮化硅基板，第三代半導(dǎo)體功率器件首選封裝材料
