非晶硅沉積工藝：主要指用CVD（化學(xué)氣相沉積）的方式來鍍本征非晶硅層、P型非晶硅層、N型非晶硅層，該步驟是實(shí)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵，也是通過鍍膜工藝取代了傳統(tǒng)PERC工藝中的擴(kuò)散工藝形成PN結(jié)的關(guān)鍵。目前主要兩種方式：HWCVD（熱絲化學(xué)氣相沉積）和PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）熱絲CVD：是利用分子在加熱的金屬絲上發(fā)生催化分解反應(yīng)，并在基底表面發(fā)生沉積、聚合，從而形成薄膜。PECVD：是使反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中受激分解生成具有高反應(yīng)活性的物質(zhì)，這些物質(zhì)在基底表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。PECVD與HWCVD的性能比較
以下為一些PECVD生產(chǎn)企業(yè)的相關(guān)業(yè)務(wù)介紹，排名不分先后，供大家參考。蘇州邁為科技股份有限公司于2010年9月成立，是一家集機(jī)械設(shè)計(jì)、電氣研制、軟件開發(fā)、精密制造于一體的高端裝備制造商，公司面向太陽能光伏、顯示、半導(dǎo)體三大行業(yè)，研發(fā)、制造、銷售智能化高端裝備。主要產(chǎn)品包括全自動太陽能電池絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)線、異質(zhì)結(jié)高效電池制造整體解決方案、OLED柔性屏激光切割設(shè)備、Mini/Micro LED晶圓設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓封裝設(shè)備等。公司主要產(chǎn)品太陽能電池絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)線2016年-2021年國內(nèi)市占率第一、2018年-2021年全球市占率第一，2020年榮獲“制造業(yè)單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品”。公司網(wǎng)站：https://www.maxwell-gp.com上海理想萬里暉薄膜設(shè)備有限公司前身是理想能源PECVD事業(yè)部，2012年經(jīng)過拆分重組，于2013年完成注冊。?公司主營太陽能、泛半導(dǎo)體和半導(dǎo)體高端PECVD裝備，系列光伏和AMOLED顯示等領(lǐng)域高端PECVD系列產(chǎn)品多次打破國外壟斷、填補(bǔ)國內(nèi)空白，是中國高端PECVD裝備的優(yōu)選供應(yīng)商。公司網(wǎng)站：https://www.idealenergy-wlh.com拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月，公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)，并在北京、上海、海寧、美國成立了四家子公司。公司主要從事高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù)。公司聚焦的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)共同構(gòu)成芯片制造三大主設(shè)備。目前，公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備三個(gè)產(chǎn)品系列，已廣泛應(yīng)用于28nm及以上制程集成電路制造產(chǎn)線。公司網(wǎng)站：http://www.sypiotech.cn福建泉州鈞石能源有限公司創(chuàng)立于2008年,是高端光伏裝備、產(chǎn)品及技術(shù)服務(wù)提供商。
鈞石能源(GS-SOLAR)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的PECVD、PVD等核心生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)，主要設(shè)備PECVD、PVD、印刷機(jī)等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，采用大產(chǎn)能設(shè)計(jì)，適應(yīng)各種國產(chǎn)化關(guān)鍵材料，并可在未來進(jìn)行技術(shù)升級，為異質(zhì)結(jié)電池GW級產(chǎn)業(yè)化提供了適用于多代異質(zhì)結(jié)電池的通用制造平臺。公司網(wǎng)站：http://www.gs-solar.com北京捷造光電技術(shù)有限公司成立于2010年，致力于真空應(yīng)用技術(shù)的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化推廣，在PVD（磁控濺射、有機(jī)及金屬共蒸發(fā)、離子鍍、RPD反應(yīng)離子沉積等）、CVD（PECVD、LPCVD等）和ALD原子層沉積等真空鍍膜設(shè)備上擁有先進(jìn)技術(shù)和高端裝備制造經(jīng)驗(yàn)，形成工藝研究設(shè)備、規(guī)模化產(chǎn)線設(shè)備系列化產(chǎn)品。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體、顯示、納米科技、化工、制藥等領(lǐng)域，并擁有GW級光伏電池產(chǎn)線核心技術(shù)和設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)。公司網(wǎng)站：http://www.jiezaooe.com營口金辰機(jī)械股份有限公司于2004年08月30日成立。金辰股份是中國國家高新技術(shù)企業(yè)，專注于真空鍍膜技術(shù)、自動化技術(shù)、設(shè)備智能化解決方案的創(chuàng)新型企業(yè)。金辰股份的高端智能裝備廣泛應(yīng)用于新能源、新材料行業(yè)，并在全球范圍內(nèi)為客戶提供行業(yè)智能制造解決方案。在TOPCON高效電池和HJT高效電池PECVD設(shè)備方面取得重大突破。現(xiàn)已擁有核心技術(shù)專利500余項(xiàng)，其中發(fā)明專利243項(xiàng)。公司網(wǎng)站：http://www.jinchencorp.comINDEOtec成立于 2007 年，是一家專注于薄膜太陽能電池 PECVD 工藝設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的瑞士設(shè)備生產(chǎn)商，NDEOtec與諸多公立及私立研究與發(fā)展機(jī)構(gòu)合作進(jìn)行大量的研發(fā)項(xiàng)目。在全球35個(gè)市 場營運(yùn)，擁有33,000名專業(yè)員工，2018年銷售凈額為113億瑞士法郎。公司網(wǎng)站：http://www.dkshspe.comTTC集團(tuán)成立于2004年8月，一直致力于半導(dǎo)體制程設(shè)備，LCD制程設(shè)備，LED制程設(shè)備以及PSS設(shè)備的二手機(jī)臺買賣。公司網(wǎng)站：http://www.trust-t.com梅耶博格（Meyer Burger）是一家瑞士的光伏制造公司，擁有金剛石線鋸和工業(yè) PERC 解決方案，太陽能組件的精密測量技術(shù)，非晶硅沉積設(shè)備，盒中盒式 S-Cube 等離子體反應(yīng)器，鈍化效果優(yōu)，在 PECVD 領(lǐng)域保持著較強(qiáng)的技術(shù)領(lǐng)先性。公司網(wǎng)站：https://www.meyerburger.comEvatec作為歷史悠久的瑞士半導(dǎo)體薄膜量產(chǎn)設(shè)備制造商，擁有在寬禁帶半導(dǎo)體的強(qiáng)勢技術(shù)積累和工業(yè)界合作的經(jīng)驗(yàn)。公司致力于在先進(jìn)封裝，半導(dǎo)體，光電和光學(xué)的核心市場提供完整的生產(chǎn)解決方案。與其他的PECVD或CVD系統(tǒng)相比，他們的PECVD工藝的運(yùn)行溫度較低，這帶來了很多優(yōu)勢：概念靈活，可定制化，模組化的卡盤設(shè)計(jì)，可快速切換襯底尺寸，極高的薄膜純度，優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)平行板設(shè)計(jì)。公司網(wǎng)站：https://evatecnet.com以上為一些PECVD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)的相關(guān)業(yè)務(wù)介紹，排名不分先后，供大家參考。| 序號 | 公司 |
| 1 | ?邁為股份（蘇州） |
| 2 | ?理想萬里暉（上海） |
| 3 | ?拓荊科技（北京上海海寧） |
| 4 | ?鈞石能源（泉州） |
| 5 | ?捷造光電（北京） |
| 6 | ?金辰股份（遼寧營口） |
| 7 | ?INDEOtec（瑞士） |
| 8 | ?日本松下 |
| 9 | ?梅耶博格（Meyer?Burger） |
| 10 | ?Evatec |
原文始發(fā)于微信公眾號（光伏產(chǎn)業(yè)通）：光伏制造核心設(shè)備：PECVD生產(chǎn)企業(yè)10強(qiáng)
