PVD 磁控濺射為現(xiàn)時主流工藝：目前最常用于沉積 TCO 薄膜的方法是物理氣相沉積（PVD）大類下 的磁控濺射（Sputtering）工藝。
此工藝的基本原理是在電磁場的作用下，被加速的氣體高能粒子（Ar+） 轟擊鍍膜靶材，靶材表面的原子獲得能量逸出表面后沉積到襯底（已完成非晶硅鍍膜的電池片半成 品）表面生成氧化物薄膜。
以下為一些PVD生產(chǎn)企業(yè)的相關業(yè)務介紹，排名不分先后，供大家參考。
應用材料（Applied?Materials）（美國）
應用材料公司是一家半導體和顯示設備供應商。?應用材料公司創(chuàng)立于1967年，公司的PECVD 設備，在PVD市場份額從2018年的74%持續(xù)提升至2020年87%，處于絕對龍頭地位。
1984年在北京設立了中國客服中心，成為較早進入中國的外資芯片制造設備公司。通過長期參與中國的高科技制造業(yè)，應用材料公司為半導體、先進顯示以及太陽能光伏制造行業(yè)提供設備與服務。公司網(wǎng)站：https://www.appliedmaterials.com/Evatec作為歷史悠久的瑞士半導體薄膜量產(chǎn)設備制造商，擁有在寬禁帶半導體的強勢技術積累和工業(yè)界合作的經(jīng)驗以及Know-how。致力于在先進封裝，半導體，光電和光學的核心市場提供完整的生產(chǎn)解決方案。
與其他的PECVD或CVD系統(tǒng)相比，他們的PECVD工藝的運行溫度較低，這帶來了很多優(yōu)勢：概念靈活，可定制化，模組化的卡盤設計，可快速切換襯底尺寸，極高的薄膜純度，優(yōu)于標準平行板設計。公司網(wǎng)站：https://evatecnet.com/梅耶博格（Meyer Burger）是一家瑞士的光伏制造公司，擁有金剛石線鋸和工業(yè) PERC 解決方案到太陽能組件的精密測量技術。
非晶硅沉積設備，盒中盒式 S-Cube 等離子體反應器，鈍化效果優(yōu)，在 PECVD 領域保持著較強的技術領先性。公司網(wǎng)站：https://www.meyerburger.com/
本真空技術株式會社（ULVAC JAPAN LTD），總部設在日本茅崎，是日本上市公司，于1952年8月23日由日本生命保險公司、松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家共同投資成立。
它是世界知名的真空技術企業(yè)，也是日本最大的真空企業(yè)。年產(chǎn)值達1200億日元，其產(chǎn)品遍及全世界各地近100多個國家和地區(qū)。已有800多臺套真空預冷保鮮設備和真空冷凍干燥設備應用于日本本土。公司網(wǎng)站：https://www.ulvac.com/
馮·阿登納?成立于1991年，是從位于德國德累斯頓的曼弗雷德?馮?阿登納研究所分離出來的。憑借超過 50 年的電子束工藝經(jīng)驗以及 40 余年的磁控管技術能力，?馮·阿登納成為薄膜光伏領域玻璃鍍膜系統(tǒng)和設備的領先供應商之一。
馮·?阿登納為玻璃、晶片、金屬帶和聚合物薄膜等材料上的真空鍍膜開發(fā)和生產(chǎn)工業(yè)設備。這些鍍膜賦予表面新的功能屬性，并且根據(jù)不同的應用環(huán)境，厚度可在一納米和幾微米之間。公司網(wǎng)站：https://www.vonardenne.biz/
德國singulus科技集團致力于為高效的生產(chǎn)流程開發(fā)創(chuàng)新環(huán)保的技術，不斷加強自身的創(chuàng)新力和競爭力。作為全球唯一的設備制造商，集團為容量約為100GB三層藍光光盤提供先進的制造技術。
在太陽能領域，德國singulus科技集團是公認的晶體電池和薄膜電池技術的先進設備及工藝供應商。集團致力于不斷提高太陽能電池的效率，并降低生產(chǎn)成本，是您在新能源領域的合作伙伴。公司網(wǎng)站：https://www.singulus.com/zh-hant/
北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司和北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司戰(zhàn)略重組而成，是目前國內(nèi)集成電路高端工藝裝備的先進企業(yè)。
北方華創(chuàng)主營半導體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件業(yè)務，為半導體、新能源、新材料等領域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產(chǎn)業(yè)制造基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。
公司網(wǎng)站：https://www.naura.com/
福建泉州鈞石能源有限公司 鈞石能源(GS-SOLAR)創(chuàng)立于2008年,是高端光伏裝備、產(chǎn)品及技術服務提供商。
擁有自主知識產(chǎn)權的PECVD、PVD等核心生產(chǎn)設備技術，主要設備PECVD、PVD、印刷機等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，采用大產(chǎn)能設計，適應各種國產(chǎn)化關鍵材料，并可在未來進行技術升級，為異質(zhì)結電池GW級產(chǎn)業(yè)化提供了適用于多代異質(zhì)結電池的通用制造平臺。
公司網(wǎng)站：http://www.gs-solar.com/project-development.php以上為一些PVD設備生產(chǎn)企業(yè)的相關業(yè)務介紹，排名不分先后，供大家參考。| 序號 | 公司 |
| 1 | ?應用材料（Applied?Materials） |
| 2 | ?Evatec |
| 3 | ?梅耶博格（Meyer?Burger） |
| 4 | ?Ulvac |
| 5 | ?德國馮阿登納 |
| 6 | ?新格拉斯 |
| 7 | ?北方華創(chuàng)（002371） |
| 8 | ?鈞石 |
原文始發(fā)于微信公眾號（光伏產(chǎn)業(yè)通）：光伏制造關鍵設備：PVD生產(chǎn)企業(yè)8強
