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激光半切工藝以黨員張偉和項目負責人馬其琪牽頭,成立半切攻克小組,集中解決HTCC管殼半切問題。馬其琪負責對半切工藝進行探索,調節合適的參數進行工藝試驗,張偉負責對半切后的樣品進行后續的驗證和反饋。經過反復試驗和驗證,最終確定了以激光半切補充熱切半切的半切方式。試驗結果表明,在保證整個過程位置精度的同時,能同時滿足半切精度和平整度的要求。半切后的產品經過燒結,能夠順利裂片,且斷面平整,能夠滿足HTCC管殼產品的要求。在工藝突破的過程中,兩位骨干頂著產品交付和工藝突破的雙重壓力加班加點進行驗證,終于用最短的時間驗證完成了激光半切工藝,并將驗證結果及時用在了產品上,形成了從工藝試驗到產品制作的良好的反饋機制,為微電子應用事業部的工藝水平添上了厚重的一筆。
原文始發于微信公眾號(中國電科第二研究所):冬的謀劃 | 二所成功突破HTCC管殼激光半切工藝
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