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什么是硅片的氧同心環

太陽能和半導體行業中,硅片是最主要的基材,經過一些高溫工藝處理時,可能產生氧同心環并在EL或PL掃描下顯現出來,本文將解釋氧同心環的產生原理。

首先,我們需要理解晶體結構的缺陷這一概念。單晶硅具有典型的晶體結構,意味著理想狀態下,其內部的原子是呈周期性規則排列的,就像操場上整齊排列的學生方陣。

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但實際上,溫度高于絕對零度時,晶體結構內會存在原子偏離理想點陣位置的情況,即缺陷,就像方陣中來回蹦跳不安分的搗蛋鬼,進入了其他學生點位的間隙,我們可以將本來屬于這些搗蛋鬼但現在空出的點位稱為“空位”,將搗蛋鬼所站的位置稱為“間隙”,二者都是本征缺陷。
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如果好巧不巧,學生方陣中又混進了幾只小狗,占據了間隙位置,甚至直接嚇跑了點位上站的學生,取而代之,則可稱為雜質缺陷。
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硅棒拉晶過程中,晶體生長時會產生過剩的點缺陷——硅間隙,熔融態硅會腐蝕石英坩堝(主要成分是二氧化硅),從而在晶體中引入氧雜質缺陷,在旋轉上升過程中,缺陷沿徑向呈環形分布。
在硅片的基礎上制備電池時,由于部分工序溫度較高,硅間隙會隨著溫度的升高而增多,可以通俗地理解為:天氣暖和的時候,方陣里的學生更加活躍,來回跳動的可能性更大,產生的缺陷多。冷卻時,過剩的硅間隙聚集成團,隨著氧雜質擴散,成長為環形氧沉淀,其主要成分為氧化硅(SiOx),這就是搗蛋鬼牽著亂入狗組成旋轉跳躍轉圈圈新組合的故事,即氧同心環的形成原理。
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此外,電池工藝中往往包括氧化過程,在硅附近產生二氧化硅,進一步激發間隙,引發氧同心環。
對于N-TOPCon電池,由于硼在硅中的固溶度較低,導致硼擴溫度需要900-1100℃,而PERC的磷擴溫度約為850℃,相比之下,工藝溫度較低的PERC有較少的氧同心環問題。
什么是硅片的氧同心環
資料來源:?光伏新語
什么是硅片的氧同心環

END

原文始發于微信公眾號(光伏產業通):什么是硅片的氧同心環

作者 li, meiyong

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