晶升股份公司于2018 年開始布局碳化硅領域,積極開展碳化硅晶體生長設備相關的技術研究與創新,經過多年的技術積淀,已具備滿足客戶定制化需求的技術積累。現公司已向多家客戶交付了8英寸碳化硅長晶設備,部分客戶已經取得了一定的研發成果,并正在不斷優化工藝制程。
公司自研8英寸碳化硅長晶設備,突破大尺寸晶體生長的關鍵技術,可實現檢漏、洗爐、長晶等全過程的自動運行,流量、溫度、壓力參數的精確控制,軸向徑向溫梯的控制分離。另外設備具有獨特的結構設計,可方便后期維護與裝料卸料,提高熱場壽命和工作效率,進一步滿足客戶實現低成本、高良率的晶體生長需要。
8英寸碳化硅長晶設備出貨中