前面，我們?yōu)榇蠹医榻B了不少半導(dǎo)體裝備用陶瓷零部件，包括靜電卡盤、聚焦環(huán)、搬運(yùn)臂等。今天我們給大家介紹又一半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵部件——陶瓷加熱器（Ceramic Heater）以及相關(guān)廠商。歡迎大家進(jìn)行補(bǔ)充，艾邦建有半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)交流群，掃碼下方二維碼即可申請(qǐng)進(jìn)入：
一、陶瓷加熱器，半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件
在集成電路等半導(dǎo)體裝置制造工序中，要對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行成膜處理及蝕刻處理等各種處理。在對(duì)晶圓進(jìn)行加工制造工藝中，需要將晶圓加熱到一定溫度下進(jìn)行，且對(duì)晶圓溫度的均勻性有非常嚴(yán)格的要求，因?yàn)榫A溫度的均勻性對(duì)半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量有著非常重要的影響；同時(shí)還需要在真空、等離子體、化學(xué)氣體等環(huán)境下工作，這就要用到陶瓷加熱器。
陶瓷加熱器是半導(dǎo)體薄膜沉積等設(shè)備中的重要部件，可實(shí)現(xiàn)均勻溫度分布，對(duì)晶圓均勻加熱，使襯底表面上進(jìn)行高精度的反應(yīng)并生成薄膜。通常，陶瓷加熱器包括上面具有晶圓載放面的陶瓷制陶瓷基體和在背面對(duì)其提供支承的圓筒形的支持體，在陶瓷基體的內(nèi)部或表面，除了設(shè)置有用于加熱的電阻發(fā)熱體電路，還設(shè)置有RF電極及靜電卡盤用電極等導(dǎo)電體。
陶瓷加熱器通常采用氮化鋁陶瓷，氮化鋁具有電絕緣性和優(yōu)異的導(dǎo)熱性，對(duì)于需散熱的應(yīng)用而言，它是理想之選；此外，由于其熱膨脹系數(shù)接近硅，且具有優(yōu)異的等離子體抗性，可被用于制造半導(dǎo)體加工設(shè)備部件。
根據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Business Research Insights研究報(bào)告， 2022年全球氮化鋁陶瓷加熱器市場(chǎng)規(guī)模為3300萬(wàn)美元，預(yù)計(jì)到2031年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到7852.9萬(wàn)美元，預(yù)測(cè)期間的復(fù)合年增長(zhǎng)率為10%。
圖??全球氮化鋁陶瓷加熱器市場(chǎng)規(guī)模/百萬(wàn)，來(lái)源：Business Research Insights
二、陶瓷加熱器相關(guān)供應(yīng)商介紹
目前，陶瓷加熱器主要供應(yīng)商有日本礙子、MICO ceramic、AMAT、Sumitomo Electric、CoorsTek、Semixicon LLC、BoBoo Hitech等。全球陶瓷加熱器市場(chǎng)由日本公司主導(dǎo)，占整個(gè)行業(yè)的 95%，目前，我國(guó)陶瓷加熱器的自主水平及國(guó)產(chǎn)化率，與靜電吸盤等其它半導(dǎo)體零部件、關(guān)鍵原材料的處境一致，國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)企業(yè)極少，是“卡脖子”技術(shù)。
日本礙子株式會(huì)社（NGK INSULATORS, LTD.）成立于1919年5月5日，1996年開(kāi)始批量生產(chǎn)半導(dǎo)體制造裝置用陶瓷，1997年開(kāi)始生產(chǎn)帶軸加熱器和靜電吸盤。日本礙子以氮化鋁（AIN）陶瓷為主，發(fā)揮材料的特性，將半導(dǎo)體制造設(shè)備上需要使用的靜電吸盤、加熱器、各種零部件產(chǎn)品化。
日本礙子在半導(dǎo)體設(shè)備的陶瓷加熱器產(chǎn)品全球市場(chǎng)擁有較高份額。陶瓷加熱器采用高導(dǎo)熱的氮化鋁AIN，具有卓越的均熱性，大幅降低金屬污染雜質(zhì)的產(chǎn)生。
官網(wǎng)：https://www.ngk-insulators.com/
NTK CERATEC成立于 1987 年，總部設(shè)立于日本。該公司主要從事精密陶瓷產(chǎn)品的制造與銷售，提供半導(dǎo)體及液晶用零部件、真空卡盤、靜電卡盤等產(chǎn)品。NTK CERATEC是國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備廠關(guān)鍵零組件的知名供應(yīng)廠。NTK CERATEC 于 2015 年成為日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社（ Niterra Co., Ltd. ）的全資子公司。
在陶瓷內(nèi)部配置金屬電極，通過(guò)進(jìn)行一體化熔結(jié)，可以制作靜電卡盤和陶瓷加熱器。NTK CERATEC運(yùn)用各種材料技術(shù)，形成了可以應(yīng)對(duì)客戶需求的靜電卡盤／陶瓷加熱器系列。在等離子環(huán)境領(lǐng)域、電子線使用領(lǐng)域等，從開(kāi)發(fā)、試做階段，即可提供符合用途要求的產(chǎn)品。
官網(wǎng)：https://www.ceratech.co.jp/
MiCo Ceramics是韓國(guó)一家半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷零部件專業(yè)生產(chǎn)企業(yè)，是2020年從Mico中將半導(dǎo)體設(shè)備零部件事業(yè)部分離出來(lái)而成立的公司。利用AlN、Al2O3和Y2O3等特殊陶瓷材料為客戶提供陶瓷零件：從用于半導(dǎo)體制造工藝的AlN加熱器、ESC等功能性產(chǎn)品到一般零部件。
基于20年來(lái)積累的陶瓷材料設(shè)計(jì)、燒結(jié)技術(shù)、精密加工和鍵合技術(shù)，MiCo Ceramics已量產(chǎn)和供應(yīng)CVD、PE-CVD、ALD和高溫UV固化或Asher工藝設(shè)備中使用的氮化鋁加熱器。通過(guò)在京畿道安城和江原道江陵建立了韓國(guó)最大的量產(chǎn)設(shè)施以應(yīng)對(duì)日益增長(zhǎng)的氮化鋁加熱器需求，2022年實(shí)現(xiàn)氮化鋁加熱器出貨超過(guò)12,000個(gè)。
官網(wǎng)：https://www.micoceramics.com
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京瓷株式會(huì)社（KYOCERA Corporation）
京瓷株式會(huì)社成立于1959年4月1日，是全球領(lǐng)先的先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)企業(yè)。針對(duì)φ200/300mm 設(shè)備，工藝腔室中使用的晶片加熱器利用了氮化鋁的高導(dǎo)熱性和等離子體阻抗。純度高達(dá)99.9%以上，熱量分布均勻。
n2023年4月，京瓷宣布投資620億日元新建諫早工廠，生產(chǎn)半導(dǎo)體陶瓷零部件及封裝產(chǎn)品。
官網(wǎng)：https://www.kyocera.com.cn
住友電氣工業(yè)株式會(huì)社創(chuàng)立于1897年4月，通過(guò)將其專有的高性能材料技術(shù)與工藝技術(shù)（例如金屬化，連接，密封）和熱設(shè)計(jì)技術(shù)相結(jié)合，提供具有優(yōu)異熱特性的熱控制設(shè)備。這些技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的加熱器，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的溫度均勻性和快速的加熱和冷卻特性。
2021年1月，開(kāi)發(fā)出用于半導(dǎo)體制造工藝中前段制程（在硅晶圓上形成電路的工序）的高精度溫度分布控制系統(tǒng)SumiTune?，SumiTune?由分為6個(gè)區(qū)域的加熱器（SumiTune? Heater）以及能夠?qū)@6個(gè)區(qū)域進(jìn)行高效且高精度的功率控制的控制器（SumiTune? Controller）構(gòu)成。
官網(wǎng)：https://sumitomoelectric.com/
BoBoo Hitech是1994年3月成立的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的部件開(kāi)發(fā)/制造專業(yè)企業(yè)。自主開(kāi)發(fā)和供應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的CVD工藝核心部件加熱器及其相關(guān)部件。
官網(wǎng)：http://boboohitech.co.kr/
CoorsTek, Inc.于 1910 年在美國(guó)注冊(cè)成立，是全球領(lǐng)先的先進(jìn)陶瓷制造商，在全球擁有超過(guò) 50 家工廠，為航空航天、汽車、化學(xué)、電子、醫(yī)療、冶金、石油天然氣、半導(dǎo)體等眾多行業(yè)提供先進(jìn)陶瓷。
CoorsTek開(kāi)發(fā)的Cercom? 氮化鋁加熱器確保一致的熱量分配和持久可靠的性能，支持150mm-450mm尺寸規(guī)格。
官網(wǎng)：https://www.coorstek.com
SemiXicon總部位于硅谷，為全球半導(dǎo)體、光子學(xué)和醫(yī)療等行業(yè)提供精密陶瓷加工和裝配解決方案，其核心技術(shù)為半導(dǎo)體晶圓處理卡盤臺(tái)，如多孔陶瓷真空卡盤臺(tái)、SSiC、SiSiC 針式卡盤和 ESC 和陶瓷加熱器。
2023年3月CERAMERIC LLC 宣布收購(gòu) WERLCHEM LLC DBA SEMIXICON 的資產(chǎn)。氮化鋁加熱器采用專門配制的高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷材料，用于半導(dǎo)體行業(yè)。
官網(wǎng)：https://www.semixicon.com/
KSM Component成立于2004年，是專門制造金屬和陶瓷加熱器的公司，向客戶提供金屬焊接波紋管、磁流體密封、全氟密封圈三位一體的密封解決方案，還供應(yīng)加熱器以及各種半導(dǎo)體、平板顯示產(chǎn)業(yè)用Sub Assembly。KSMC提供最高品質(zhì)的金屬、陶瓷加熱器，用于半導(dǎo)體CVD、Etch等工藝。
官網(wǎng)：https://www.ksm.co.kr/
WONIK QnC創(chuàng)立于1983年，是一家專門制造和供應(yīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓所使用的石英部件和生產(chǎn)半導(dǎo)體及顯示器所使用的陶瓷部件的復(fù)合材料零部件專業(yè)公司。
陶瓷事業(yè)部可以生產(chǎn)多種材料(Al2O3, Y2O3, YAG, SiC, AlN, Si3N4, ZrO2, BN), 擁有功能性陶瓷零部件(ESC, Heater, Wafer Table)生產(chǎn)的全套工藝。陶瓷事業(yè)部提供半導(dǎo)體、OLED、汽車等領(lǐng)域所需的精密陶瓷零部件綜合解決方案。
官網(wǎng)：https://www.wonikqnc.com/
河北中瓷電子科技股份有限公司(股票代碼：003031)成立于2009年8月6日，是專業(yè)從事電子陶瓷系列產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，致力于成為世界一流的電子陶瓷產(chǎn)品供應(yīng)商。2022年中瓷電子布局精密陶瓷零部件領(lǐng)域，助力半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化。
中瓷電子開(kāi)發(fā)的陶瓷加熱盤產(chǎn)品核心技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品水平并通過(guò)用戶驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵零部件的國(guó)產(chǎn)化，已批量應(yīng)用于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備中。
官網(wǎng)：https://www.sinopack.com.cn/
深圳市商德先進(jìn)陶瓷股份有限公司成立于2006年，經(jīng)過(guò)多年的研發(fā)逐漸打破國(guó)外壟斷，生產(chǎn)的陶瓷吸嘴、軸承軸套、加熱臺(tái)、劈刀等產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界一線的半導(dǎo)體設(shè)備商和電子制造企業(yè)中。深圳商德擬在安徽巢湖經(jīng)開(kāi)區(qū)投資建設(shè)半導(dǎo)體陶瓷材料項(xiàng)目，主要建設(shè)陶瓷劈刀、多層共燒陶瓷的生產(chǎn)車間及研發(fā)中心。
陶瓷加熱器（盤）主要材料是AlN，和復(fù)雜的鎢電路燒結(jié)而成，熱響應(yīng)速度快及溫度均勻，且可集成溫度傳感器，應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓工藝設(shè)備中。
官網(wǎng)：https://www.suntechceramics.cn/
蘇州珂瑪材料科技股份有限公司成立于2009 年 4 月 27 日，是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備用先進(jìn)陶瓷材料零部件的頭部企業(yè)。依托領(lǐng)先的材料能力和豐富的加工制造工藝，其先進(jìn)陶瓷材料零部件的下游領(lǐng)域覆蓋較為廣闊。先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造前道工藝設(shè)備，目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散設(shè)備，并批量應(yīng)用于14nm和28nm制程設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程中。半導(dǎo)體設(shè)備用先進(jìn)陶瓷包括圓環(huán)圓筒、承重、手爪和模塊等類型。
在陶瓷加熱器方面，蘇州珂瑪通過(guò)承擔(dān)國(guó)家“02 專項(xiàng)”之“PECVD 設(shè)備用陶瓷加熱盤的關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目課題以及多年研發(fā)，目前已探索形成陶瓷加熱器自主可控的生產(chǎn)能力，相關(guān)產(chǎn)品目前正在客戶驗(yàn)證中。
官網(wǎng)：https://www.kematek.com
中山市思考電子科技有限公司成立于2016年，由深圳總公司擴(kuò)遷至中山，廠房面積約9000平方米。擁有14余年專注從事半導(dǎo)體晶圓劃片刀、陶瓷真空工作盤、CVD靜電吸盤、電木橡膠吸咀等半導(dǎo)體耗材經(jīng)驗(yàn)。
2012年開(kāi)始自主研發(fā)氮化鋁加熱器、ESC靜電吸盤項(xiàng)目，2022年靜電卡盤事業(yè)部已掌握氮化鋁陶瓷高溫共燒技術(shù)，目前氮化鋁加熱器已面市，開(kāi)始批量交付客戶使用；ESC靜電吸盤已進(jìn)入裝配測(cè)試階段。思考電子自主研發(fā)氮化鋁陶瓷加熱器規(guī)格尺寸可根據(jù)客戶需要定做。
官網(wǎng)：http://www.taniss.com/
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廣東海拓創(chuàng)新精密設(shè)備科技有限公司
海拓創(chuàng)新是一家專注半導(dǎo)體及顯示行業(yè)關(guān)鍵零部件進(jìn)行國(guó)產(chǎn)化的技術(shù)型公司。在國(guó)產(chǎn)化靜電卡盤及基于靜電卡盤為技術(shù)核心設(shè)備領(lǐng)域的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)具有領(lǐng)先地位。通過(guò)了ISO14001、ISO14001等國(guó)際質(zhì)量體系認(rèn)證。
應(yīng)用混凝陶瓷燒結(jié)技術(shù)，可在較低的燒結(jié)溫度下實(shí)現(xiàn)納米級(jí)陶瓷粉體快速致密化，制備出致密性高、晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、體電阻率分布均勻的陶瓷靜電卡盤和陶瓷靜電卡盤加熱器總成。
官網(wǎng)：www.seatools-tech.com/
福建華清電子材料科技有限公司成立于2004年8月，系一家專業(yè)從事高熱導(dǎo)率氮化鋁陶瓷基板和電子陶瓷元器件研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技企業(yè)，產(chǎn)品主要應(yīng)用于5G通訊、LED封裝、半導(dǎo)體、功率模塊(IGBT)、影像傳感、醫(yī)療、汽車電子等高科技領(lǐng)域。華清生產(chǎn)的氮化鋁加熱板可根據(jù)客戶需要定制尺寸或特殊形狀的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻，可應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備（PVD、CVD、ETCH、處理器）的關(guān)鍵核心部件。
官網(wǎng)：http://www.aln.net.cn
艾邦建有半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)交流群，歡迎產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)掃碼下方二維碼進(jìn)入：
推薦活動(dòng)：【邀請(qǐng)函】2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇（2024年4月12日·泉州）
2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum
福建省泉州市晉江市濱江路999號(hào)
媒體支持：艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)、艾邦陶瓷展、陶瓷科技視野
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序號(hào)
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暫定議題
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擬邀請(qǐng)企業(yè)
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半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景
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清華大學(xué) 新型陶瓷與精細(xì)工藝國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 潘偉 教授
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氮化鋁基板和器件與半導(dǎo)體應(yīng)用
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華清電子 向其軍 博士
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3
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畢克助劑在陶瓷行業(yè)中的應(yīng)用
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畢克化學(xué)新能源 業(yè)務(wù)經(jīng)理?王玉立?
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4
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先進(jìn)陶瓷材料制備與智能化實(shí)驗(yàn)平臺(tái)
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北京科技大學(xué) 教授 白洋
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高性能氮化鋁和氧化鋁粉體連續(xù)式生產(chǎn)關(guān)鍵工藝技術(shù)
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中鋁新材料?事業(yè)部總經(jīng)理?吳春正
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多孔陶瓷的研究進(jìn)展及在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
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擬邀請(qǐng)多孔陶瓷企業(yè)/高校研究所
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LTCC技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓探針卡中的應(yīng)用
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擬邀請(qǐng)?zhí)结樋ㄆ髽I(yè)/高校研究所
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CVD用絕緣高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷加熱器的研發(fā)
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擬邀請(qǐng)?zhí)沾杉訜岜P企業(yè)/高校研究所
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耐等離子腐蝕的氧化釔陶瓷的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用
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擬邀請(qǐng)氧化釔陶瓷企業(yè)/高校研究所
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高強(qiáng)度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的開(kāi)發(fā)
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擬邀請(qǐng)氮化硅陶瓷企業(yè)/高校研究所
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碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件在集成電路制造關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用
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擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所
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半導(dǎo)體裝備用陶瓷靜電卡盤關(guān)鍵技術(shù)
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擬邀請(qǐng)靜電卡盤企業(yè)/高校研究所
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高純氧化鋁陶瓷制備工藝及其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
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擬邀請(qǐng)氧化鋁陶瓷企業(yè)/高校研究所
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真空釬焊設(shè)備在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
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擬邀請(qǐng)真空釬焊企業(yè)/高校研究所
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高精度復(fù)雜形狀碳化硅陶瓷制備工藝研究
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擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所
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半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷的成型工藝技術(shù)
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擬邀請(qǐng)成型設(shè)備企業(yè)/高校研究所
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高強(qiáng)度氮化硅粉體制備工藝技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化
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擬邀請(qǐng)氮化硅粉體企業(yè)/高校研究所
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第三代功率半導(dǎo)體封裝用AMB陶瓷覆銅基板
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擬邀請(qǐng)AMB企業(yè)/高校研究所
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覆銅陶瓷基板的失效機(jī)理分析及可靠性設(shè)計(jì)
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擬邀請(qǐng)?zhí)沾苫迤髽I(yè)/高校研究所
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特種陶瓷高溫?zé)Y(jié)工藝技術(shù)
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擬邀請(qǐng)熱工裝備企業(yè)/高校研究所
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半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷零部件表面處理技術(shù)
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擬邀請(qǐng)表面處理/陶瓷零部件企業(yè)
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演講及贊助請(qǐng)聯(lián)系李小姐：18124643204（同微信）
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