陶瓷加熱器（Ceramic Heater），是半導(dǎo)體薄膜沉積等設(shè)備中的重要部件，可實(shí)現(xiàn)均勻溫度分布，對(duì)硅晶圓均勻加熱，使襯底表面上進(jìn)行高精度的反應(yīng)并生成薄膜，應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備（CVD、PECVD、ALD）、激光退火設(shè)備的工藝腔室內(nèi)。陶瓷加熱器主要供應(yīng)商有日本礙子NGK、MICO?ceramic、AMAT、Sumitomo?Electric、CoorsTek、BoBoo?Hitech等，全球陶瓷加熱器市場(chǎng)由日本公司主導(dǎo)。與靜電卡盤一樣，目前我國(guó)陶瓷加熱器主要依賴進(jìn)口，國(guó)內(nèi)研究企業(yè)極少，且大多數(shù)處于研發(fā)驗(yàn)證階段，量產(chǎn)企業(yè)更少，屬于“卡脖子”技術(shù)。根據(jù)公開資料，艾邦為大家整理了2024年陶瓷加熱器產(chǎn)業(yè)報(bào)告PDF，限時(shí)（截止2024.4.12）免費(fèi)分享，報(bào)告內(nèi)容包含陶瓷加熱器簡(jiǎn)介（結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、制備工藝、市場(chǎng)規(guī)模等）、國(guó)內(nèi)陶瓷加熱器相關(guān)企業(yè)、國(guó)內(nèi)陶瓷加熱器相關(guān)企業(yè)，共38頁左右，需要本份資料的朋友可按照一下步驟操作即可免費(fèi)領(lǐng)取：轉(zhuǎn)發(fā)本文章鏈接至朋友圈，截圖；②長(zhǎng)按識(shí)別二維碼，申請(qǐng)加群添加管理員微信，憑“文章轉(zhuǎn)發(fā)截圖”獲取。（PS：已在群的請(qǐng)勿重復(fù)加群，轉(zhuǎn)發(fā)后找管理員索取即可。）
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2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum
“功率半導(dǎo)體封裝用DBC/AMB陶瓷襯板、半導(dǎo)體設(shè)備精密陶瓷部件”
福建省泉州市晉江市濱江路999號(hào)
媒體支持：艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)、艾邦陶瓷展、陶瓷科技視野序號(hào) | 議題 | 演講單位 |
1 | 半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景 | 清華大學(xué)新型陶瓷與精細(xì)工藝國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室?潘偉?教授 |
2 | 氮化鋁基板和器件與半導(dǎo)體應(yīng)用 | 華清電子?向其軍?博士 |
3 | 先進(jìn)陶瓷材料自主實(shí)驗(yàn)技術(shù)與智能化研發(fā)平臺(tái) | 北京科技大學(xué)?教授?白洋 |
4 | 高性能氮化鋁和氧化鋁粉體連續(xù)式生產(chǎn)關(guān)鍵工藝技術(shù) | 中鋁新材料?氮化物事業(yè)部經(jīng)理?吳春正 |
5 | 第三代功率半導(dǎo)體封裝用AMB陶瓷覆銅基板的研究與進(jìn)展 | 北京科技大學(xué)?教授?楊會(huì)生 |
6 | 功率半導(dǎo)體封裝基板用活性金屬釬焊材料 | 湖南冶金材料研究院 |
7 | 高性能陶瓷基板產(chǎn)業(yè)化需要突破的關(guān)鍵技術(shù) | 南京航天航空大學(xué)?教授?傅仁利 |
8 | 科浩熱能原位排膠燒結(jié)一體化大氣燒結(jié)爐在半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)燒成中的應(yīng)用 | 科浩熱能?劉培新?總經(jīng)理 |
9 | 多層共燒陶瓷裝備的新領(lǐng)域新應(yīng)用 | 中電科二所?馬世杰?高級(jí)工程師 |
10 | 高導(dǎo)熱氮化硅材料的研究與應(yīng)用進(jìn)展 | 中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司?研發(fā)中心主任?李鑌 |
11 | 超聲輔助加工在半導(dǎo)體精密陶瓷結(jié)構(gòu)件上的應(yīng)用 | 極智超聲?總經(jīng)理?喬家平 |
12 | 真空吸盤在集成電路關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用以及發(fā)展方向 | 三磨所?精密特材事業(yè)部部長(zhǎng)宋運(yùn)運(yùn) |
演講及贊助請(qǐng)聯(lián)系李小姐：18124643204（同微信）
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