陶瓷真空吸盤是由多孔陶瓷材料制作，孔徑分布均勻，內(nèi)部相互貫通，表面經(jīng)研磨后，光滑細(xì)膩，平整性好，廣泛應(yīng)用于硅、藍(lán)寶石、砷化鎵等半導(dǎo)體晶圓的制造環(huán)節(jié)。
圖 陶瓷吸盤應(yīng)用示意圖，來(lái)源：RPS
一、什么是陶瓷真空吸盤
1、陶瓷真空吸盤的工作原理
多孔陶瓷真空吸盤（Porous Ceramic Vacuum Chuck），是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺(tái)，真空吸盤傳遞真空的部分為多孔陶瓷板，多孔陶瓷板裝配在底座的沉孔中，其周邊與底座粘結(jié)密封，底座為精密陶瓷或金屬材料加工而成。藉由金屬或陶瓷底座以及特殊多孔質(zhì)的陶瓷結(jié)合，內(nèi)部精密氣道的設(shè)計(jì)，給予負(fù)壓時(shí)，可以將工件平滑穩(wěn)固地吸附于真空吸盤上。
2、陶瓷真空吸盤的特點(diǎn)
3、陶瓷真空吸盤VS傳統(tǒng)金屬吸盤
二、陶瓷真空吸盤在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
推薦活動(dòng)：【邀請(qǐng)函】2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇（2024年4月12日·泉州）
The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum
“功率半導(dǎo)體封裝用DBC/AMB陶瓷襯板、半導(dǎo)體設(shè)備精密陶瓷部件”
福建省泉州市晉江市濱江路999號(hào)
深圳市艾邦智造資訊有限公司
福建華清電子材料科技有限公司
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時(shí)間 |
議題 |
演講單位 |
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8:45-9:00 |
開場(chǎng)致辭 |
艾邦創(chuàng)始人?江耀貴 |
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9:00-9:30 |
半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景 |
清華大學(xué)新型陶瓷與精細(xì)工藝國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室?潘偉?教授 |
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9:30-10:00 |
氮化鋁基板和器件與半導(dǎo)體應(yīng)用 |
華清電子?向其軍?博士 |
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10:00-10:30 |
茶歇 |
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10:30-11:00 |
先進(jìn)陶瓷材料自主實(shí)驗(yàn)技術(shù)與智能化研發(fā)平臺(tái) |
北京科技大學(xué)?教授?白洋 |
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11:00-11:30 |
超聲輔助加工在半導(dǎo)體精密陶瓷結(jié)構(gòu)件上的應(yīng)用 |
極智超聲?總經(jīng)理?喬家平博士 |
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11:30-12:00 |
高性能氮化鋁和氧化鋁粉體連續(xù)式生產(chǎn)關(guān)鍵工藝技術(shù) |
中鋁新材料?氮化物事業(yè)部經(jīng)理?吳春正 |
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12:00-13:30 |
午餐 |
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13:30-14:00 |
第三代功率半導(dǎo)體封裝用AMB陶瓷覆銅基板的研究與進(jìn)展 |
北京科技大學(xué)?教授?楊會(huì)生 |
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14:00-14:30 |
高性能陶瓷基板產(chǎn)業(yè)化需要突破的關(guān)鍵技術(shù) |
南京航天航空大學(xué)?教授?傅仁利 |
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14:30-15:00 |
科浩熱能原位排膠燒結(jié)一體化大氣燒結(jié)爐在半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)燒成中的應(yīng)用 |
科浩熱能?劉培新?總經(jīng)理 |
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15:00-15:30 |
茶歇 |
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15:30-16:00 |
高導(dǎo)熱氮化硅材料的研究與應(yīng)用進(jìn)展 |
中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司?研發(fā)中心主任?李鑌 |
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16:00-16:30 |
多層共燒陶瓷裝備的新領(lǐng)域新應(yīng)用 |
中電科二所?馬世杰?高級(jí)工程師 |
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16:30-17:00 |
真空吸盤在集成電路關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用以及發(fā)展方向 |
三磨所?精密特材事業(yè)部部長(zhǎng)?宋運(yùn)運(yùn) |
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17:00-17:30 |
半導(dǎo)體領(lǐng)域用碳化硅陶瓷部分產(chǎn)品的開發(fā)與生產(chǎn)技術(shù)研究 |
北方高科?研發(fā)部工程師?黃凱 |
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17:30-20:00 |
晚宴 |
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演講及贊助請(qǐng)聯(lián)系李小姐：18124643204（同微信）
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