陶瓷基片是一種常用的電子封裝基片材料，具有絕緣性能好，可靠性高，介電系數(shù)較小，高頻特性好，熱導(dǎo)率高、耐熱性好、機械強度高、熱膨脹系數(shù)小，熱失配率低等優(yōu)勢。常見的陶瓷基片材料有 Al2O3、AlN、BeO、Si3N4等。

圖 陶瓷基片生產(chǎn)工藝流程

陶瓷基片的生產(chǎn)工藝流程包括：原料預(yù)混→球磨→脫泡→流延→沖切→敷粉→疊片→排膠→燒結(jié)→除砂→整平→研磨→激光加工→噴砂清洗→烘干→檢驗→成品入庫。

1、陶瓷基片敷粉的作用

陶瓷基片的制備過程中需將陶瓷基片生坯燒結(jié)成陶瓷基片熟坯，目前，大規(guī)模制造陶瓷基片在燒結(jié)時，為了提高燒結(jié)效率，需多片疊片燒結(jié)。為避免燒結(jié)過程中陶瓷基片粘結(jié)，需在坯片表面敷一層隔粘粉，起隔離坯片的作用，然后再將敷粉后的坯片進行疊片，并碼排整齊，進入燒結(jié)爐的坯片在燒結(jié)的過程中不易發(fā)生相鄰基片之間的黏連，能夠使燒結(jié)好的陶瓷基片之間輕松分離，方便陶瓷基片進行脫模，最終燒結(jié)出質(zhì)量良好的陶瓷基片。

來源：王平,等:高純氧化鋁基板的制備要點與宇航應(yīng)用驗證實踐

敷粉工藝需進行精確控制，易控制敷粉量，均勻敷粉，避免細粉團聚的現(xiàn)象，以保證最終的生坯燒結(jié)后的表面質(zhì)量的作用。燒結(jié)后的陶瓷基片可通過拋刷及超聲波清洗將基板表面的隔離層去除。氧化鋁基板可采用氧化鋁粉作為隔粘粉，氮化鋁基板可采用氮化鋁粉/氮化硼粉作為隔粘粉，氮化硅陶瓷可采用氮化硼粉作為隔粘粉。

圖 ?陶瓷基片，來源：艾森達

陶瓷基板敷粉機廠商有：蘇州暾達、都勻雙成、東方泰陽、上海煊廷等。8月28-30日，東方泰陽、上海煊廷將參加艾邦深圳精密陶瓷展，歡迎蒞臨參觀交流。

2、陶瓷基片敷粉的方法

陶瓷基片敷粉方法有人工敷粉和敷粉機敷粉，敷粉機可分為干式敷粉機、濕式敷粉機。

①人工敷粉

人工敷粉方式是手持噴壺進行陶瓷坯片表面噴敷粉漿，或者用敷粉篩在坯片表面敷上一層隔粘粉，這種方法存在勞動強度高、效率低的問題。

②干式敷粉設(shè)備

干式敷粉將隔粘粉通過壓縮空氣霧化在陶瓷坯片表面形成一層隔粘粉層。這種方法主要存在以下不足：粉塵大，環(huán)境質(zhì)量不好；對敷粉工藝控制不利，敷粉量不容易控制，敷粉不太均勻，細粉也容易團聚，對生坯燒結(jié)后的表面質(zhì)量有不利影響；敷粉后生坯表面也容易掉粉；對隔粘粉的要求高；隔粘粉的使用量大，使用成本高。

1.加濕裝置；2.氣室；3.震動裝置；4.震動篩網(wǎng).

專利CN203664152U采用加濕裝置（水霧滾輪加濕裝置），通過對陶瓷坯片加濕，使干粉易粘附于陶瓷坯片上，通過采用多層高精度的震動篩網(wǎng)，并通過空氣在氣室內(nèi)產(chǎn)生懸浮，使其均勻分散。

③濕式敷粉設(shè)備

濕式敷粉在敷粉過程中首先制備隔粘粉漿，即隔粘粉與配制好的粘合劑液體（水）按一定比例混合，經(jīng)攪拌分散后形成均勻的隔粘粉懸浮液；然后將隔粘粉懸浮液通過壓縮空氣霧化均勻噴灑與陶瓷基板坯體表面經(jīng)過烘干形成一層均勻的隔粘粉層。敷粉時采用懸浮液，當(dāng)通過噴槍給生坯表面敷粉后，能使隔粘粉粘到生坯表面，不容易掉粉，無粉塵，對環(huán)境影響小，使用隔粘粉的量小。但坯片表面粉體的均勻性較差且未粘附于坯體表面的隔粘粉漿回收困難，回收利用率較低；此外由于粉漿內(nèi)粘結(jié)劑極易粘結(jié)在供漿管壁上造成供漿壓力波動，導(dǎo)致單位面積內(nèi)粉體數(shù)量(及粉體密度)的波動性較大。

1、進氣管I；2、膠體霧化箱；3、膠體霧化器；4、漏膠口；5、膠體回收槽；6、進膠管；7、進氣管II；8、粉體霧化器；9、粉體霧化箱；10、傳送帶；11、粉體回收口；12、進粉管；13、攪拌槳；14、膠體存儲箱；15、馬達；16、回流閥；17、動力泵；18、進氣管III.

專利CN108058264A提供了一種陶瓷基板坯體的敷粉工藝，將粘結(jié)劑和隔粘粉分為兩步單獨實施，①在陶瓷基板坯體的表面通過將粘結(jié)劑霧化形成一層均勻的粘結(jié)劑膜層，得具有粘結(jié)劑膜層的陶瓷基板坯體；②在具有粘結(jié)劑膜層的陶瓷基板坯體的表面通過將隔粘粉干式霧化形成一層隔粘粉層，即得敷粉后的陶瓷基板坯體。避免粘結(jié)劑供給的不穩(wěn)定導(dǎo)致的片與片之間隔粘粉密度的波動影響，以及還可使未霧化在坯體表面的干粉可直接回流入粉室內(nèi)重復(fù)使用，提高了隔粘粉的利用率。

圖?沖片+敷粉一體機，來源：蘇州暾達

原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦陶瓷展）：陶瓷基板多片燒結(jié)，敷粉工藝不可少