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陶瓷因其良好的耐高溫、耐腐蝕、熱導率高、機械強度高、熱膨脹系數(CTE)與芯片材料匹配等特性,在電子封裝中得到廣泛應用。隨著電子封裝技術發展,對器件的可靠性、氣密性和成本等提出了更高要求。目前市場上的三維陶瓷基板主要包括:

1)高溫/低溫共燒陶瓷基板(HTCC/LTCC),采用多層疊壓共燒工藝,可制備出含腔體的多層陶瓷基板。
2)多層電鍍增厚陶瓷基板。利用電鍍增厚技術制備含金屬圍壩的三維陶瓷基板;

3)采用有機膠將金屬鏤空板和陶瓷基板粘接,得到含金屬圍壩的三維陶瓷基板。

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激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝
打孔是激光在HTCC和LTCC以及DPC等三維封裝基板制作過程中應用最多的工藝加工方式。使用激光打孔機將上下兩面基板打通,作為上下板面連通的路徑,實現陶瓷基板上/下表面垂直互聯,可實現電子器件三維封裝與集成。
1.激光打孔的原理
激光打孔的原理是利用激光器發出具有聚集的激光束,沿著通孔邊緣將連續分布的光脈沖發射到生瓷帶上,激光能量將有機物及陶瓷材料進行汽化,從而形成一個通孔。激光打孔機鉆孔針對不同的陶瓷材料會使用紅外、綠光、紫外、CO2等不同波段激光束照射材料表面,每發出一次雷射脈沖就有一部分材料被燒灼掉。
激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝
圖 陶瓷基板激光高速鉆孔機,來源:德中技術
激光打孔的整個流程包括激光加工的四個關鍵階段:
①首先是光能轉換為熱能,實現對工件材料的無損加熱;
②其次是材料的熔化、蒸發和汽化;
③再次是濺射和去除過程;
④最后是激光作用的終止和加工區域的快速冷凝。
2.激光打孔的優勢
與機械打孔相比,激光鉆孔擁有很多優勢,可以實現更高的分辨率和更小的加工孔徑,擁有加工精度更高、打孔速度快、對多種材料的適用性、非接觸式操作、不存在刀具磨損,經濟效應更好、應用領域廣的優點。
激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝
隨著激光加工設備性能的提升和控制系統智能化的發展,激光打孔技術將向著更精細化、高效率和低成本的方向發展,預計其在微細加工領域的應用將會越來越廣泛。
11月22-23日,第二屆陶瓷封裝產業論壇將于石家莊舉辦,屆時,德中技術戰略發展與市場總監張卓將帶來《超快激光AOD技術顛覆HTCC/LTCC精密鉆孔》主題報告演講,歡迎各位行業朋友與會交流!
推薦活動:【邀請函】第二屆陶瓷封裝產業論壇(11月22-23日·石家莊)
第二屆陶瓷封裝產業論壇
The 2nd Ceramic Packages Industry Forum

2024年11月22-23日

河北·石家莊
河北翠屏山迎賓館
HeBei Cuipingshan Guesthouse

地址:石家莊市鹿泉區迎賓館街8號

一、會議議程

 

會議簽到

11月21日

14:00-18:00

會議簽到

11月22日

07:30-08:45

會議簽到

會議報告

會主席兼報告嘉賓主持人杉 研究員 中國電子科技集團公司第13研究所

11月22日

時間

演講主題

演講嘉賓

08:45-09:00

開場

艾邦創始人 江耀貴

09:00-09:30

系統級封裝(SiP)用陶瓷基板技術研發與產業化

華中科技大學 教授/武漢利之達科技 創始人 陳明祥

09:30-10:00

超快激光AOD技術顛覆HTCC/LTCC精密鉆孔

德中(天津)技術 戰略發展與市場總監 張卓

10:00-10:30

茶歇

10:30-11:00

厚薄膜混合型HTCC工藝技術的開發

六方鈺成 董事長 劉志輝

11:00-11:30

高可靠封裝的機遇與挑戰

睿芯峰 副總經理 陳陶

11:30-12:00

電子封裝陶瓷基板流延成型工藝及裝備

河北東方泰陽 總經理 吳昂

12:00-13:30

午餐

13:30-14:00

基于陶瓷材料在半導體器件封裝技術領域的應用

北京大學東莞光電研究院 鄭小平 研究員/項目總監

14:00-14:30

B-Stage膠與芯片等溫空腔封裝工藝設備及其特點

佛大華康 高級工程師 劉榮富

14:30-15:00

薄膜技術在電子封裝中的應用

七星華創微電子 工程師 任凱

15:00-15:30

Ceramic seed layer metallization 陶瓷種子層金屬化工藝技術

友威科技 經理 林忠炫

15:30-16:00

茶歇

16:00-16:30

無鉛玻璃漿料在陶瓷和半導體封接中的應用

上海越融科技 總經理 崔煒 博士

16:30-17:00

高性能氮化硅陶瓷產業技術和應用發展現狀

中材高新氮化物陶瓷 首席專家 張偉儒

17:00-17:30

信諾超分散劑在粉體材料納米化及氮化硅陶瓷漿料中的應用

嘉智信諾 董事長 陳永康

17:30-18:00

高品質氮化硅粉體燃燒合成技術新進展

中國科學院理化技術研究所/中科新瓷 高級工程師/總經理 楊增朝

18:00-21:00

答謝晚宴

11月23日

時間

演講主題

演講嘉賓

09:00-09:30

傳感器技術的發展及陶瓷封裝的應用趨勢

鄭州中科集成電路與系統應用研究院 先進封測中心主管 周繼瑞

09:30-10:00

鈣鈦礦型鐵電介質陶瓷開發及應用 電子科技大學 唐斌 教授

10:00-10:30

陶瓷材料的玻璃連接工藝及機理研究 長春工業大學 副院長 朱巍巍

10:30-11:00

封接玻璃粉的開發與應用 天力創 項目經理 于洪林

11:00-11:30

集成電路陶瓷封裝外殼仿真設計 電子科技大學 研究員 邢孟江

11:30-13:30

午餐

贊助&參會報名請聯系李小姐:18124643204(同微信)

激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝

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贊助及支持企業:

激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝

二、報名方式

方式一:加微信

李小姐:18124643204(同微信)

郵箱:lirongrong@aibang.com

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激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝

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激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝

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原文始發于微信公眾號(艾邦陶瓷展):激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關鍵工藝

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作者 gan, lanjie

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