在經過處理后的基板上濺射鍍膜作為制作薄膜電路的第一步，薄膜的特性直接影響著后續工藝以及制備出薄膜電路的各項特性。因此需要采用先進的濺射設備以及選擇合適的工藝參數。
而濺射鍍膜濺射后基板和金屬膜層間附著力高，成膜均勻性好，薄膜致密，可靠性有保證，可根據生產需要精確控制成膜厚度，生產效率高，對設備儀器、工作環境和操作人員無重大危害。沉積方向性一般，但可以通過增加靶基距來改善，且薄膜的金屬化工藝對沉積方向性的要求不高。綜合考慮，濺射鍍膜是一種優異的基板金屬化工藝，也是目前薄膜電路較普遍采用的成膜方法。
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2024年11月22-23日
地址：石家莊市鹿泉區迎賓館街8號
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會議簽到 |
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11月21日 |
14:00-18:00 |
會議簽到 |
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11月22日 |
07:30-08:45 |
會議簽到 |
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會議報告 |
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大會主席兼報告嘉賓主持人：周水杉 研究員 中國電子科技集團公司第13研究所 |
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11月22日 |
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時間 |
演講主題 |
演講嘉賓 |
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08:45-09:00 |
開場 |
艾邦創始人 江耀貴 |
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09:00-09:30 |
系統級封裝（SiP）用陶瓷基板技術研發與產業化 |
華中科技大學 教授/武漢利之達科技 創始人 陳明祥 |
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09:30-10:00 |
超快激光AOD技術顛覆HTCC/LTCC精密鉆孔 |
德中(天津)技術 戰略發展與市場總監 張卓 |
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10:00-10:30 |
茶歇 |
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10:30-11:00 |
厚薄膜混合型HTCC工藝技術的開發 |
六方鈺成 董事長 劉志輝 |
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11:00-11:30 |
高可靠封裝的機遇與挑戰 |
睿芯峰 副總經理 陳陶 |
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11:30-12:00 |
電子封裝陶瓷基板流延成型工藝及裝備 |
河北東方泰陽 總經理 吳昂 |
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12:00-13:30 |
午餐 |
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13:30-14:00 |
基于陶瓷材料在半導體器件封裝技術領域的應用 |
北京大學東莞光電研究院 鄭小平 研究員/項目總監 |
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14:00-14:30 |
B-Stage膠與芯片等溫空腔封裝工藝設備及其特點 |
佛大華康 高級工程師 劉榮富 |
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14:30-15:00 |
薄膜技術在電子封裝中的應用 |
七星華創微電子 工程師 任凱 |
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15:00-15:30 |
Ceramic seed layer metallization 陶瓷種子層金屬化工藝技術 |
友威科技 經理 林忠炫 |
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15:30-16:00 |
茶歇 |
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16:00-16:30 |
無鉛玻璃漿料在陶瓷和半導體封接中的應用 |
上海越融科技 總經理 崔煒 博士 |
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16:30-17:00 |
高性能氮化硅陶瓷產業技術和應用發展現狀 |
中材高新氮化物陶瓷 首席專家 張偉儒 |
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17:00-17:30 |
信諾超分散劑在粉體材料納米化及氮化硅陶瓷漿料中的應用 |
嘉智信諾 董事長 陳永康 |
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17:30-18:00 |
高品質氮化硅粉體燃燒合成技術新進展 |
中國科學院理化技術研究所/中科新瓷 高級工程師/總經理 楊增朝 |
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18:00-21:00 |
答謝晚宴 |
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11月23日 |
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時間 |
演講主題 |
演講嘉賓 |
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09:00-09:30 |
傳感器技術的發展及陶瓷封裝的應用趨勢 |
鄭州中科集成電路與系統應用研究院 先進封測中心主管 周繼瑞 |
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09:30-10:00 |
鈣鈦礦型鐵電介質陶瓷開發及應用 | 電子科技大學 唐斌 教授 |
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10:00-10:30 |
陶瓷材料的玻璃連接工藝及機理研究 | 長春工業大學 副院長 朱巍巍 |
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10:30-11:00 |
封接玻璃粉的開發與應用 | 天力創 項目經理 于洪林 |
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11:00-11:30 |
集成電路陶瓷封裝外殼仿真設計 | 電子科技大學 研究員 邢孟江 |
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11:30-13:30 |
午餐 |
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