1)優良的高頻電學特性。玻璃材料是一種絕緣體材料,介電常數只有硅材料的1/3左右,損耗因子比硅材料低2-3個數量級,使得襯底損耗和寄生效應大大減小,保證了傳輸信號的完整性;
2)大尺寸超薄玻璃襯底易于獲取。Corning、Asahi以及SCHOTT等玻璃廠商可以提供超大尺寸(>2m × 2m)和超薄(<50μm)的面板玻璃以及超薄柔性玻璃材料。
3)低成本。受益于大尺寸超薄面板玻璃易于獲取,以及不需要沉積絕緣層,玻璃轉接板的制作成本大約只有硅基轉接板的1/8;
4)工藝流程簡單。不需要在襯底表面及TGV內壁沉積絕緣層,且超薄轉接板中不需要減薄;
5)機械穩定性強。即便當轉接板厚度小于100μm時,翹曲依然較小;
6)應用領域廣泛,是一種應用于晶圓級封裝領域的新興縱向互連技術,為實現芯片-芯片之間距離最短、間距最小的互聯提供了一種新型技術途徑,具有優良的電學、熱學、力學性能,在射頻芯片、高端MEMS傳感器、高密度系統集成等領域具有獨特優勢,是下一代5G、6G高頻芯片3D封裝的首選之一。
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原文始發于微信公眾號(艾邦半導體網):2025年玻璃基板TGV產業鏈高峰論壇(2025年3月,蘇州)